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主题

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  • 1 篇 灌封
  • 1 篇 有限元
  • 1 篇 封装
  • 1 篇 高量程微机械加速...

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 蒋玉齐
  • 1 篇 杜茂华
  • 1 篇 罗乐

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高量程微机械加速度计"
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灌封对高量程微机械加速度计封装的影响
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机械强度 2004年 第2期26卷 149-153页
作者: 蒋玉齐 杜茂华 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式量程micro electro me chanicalsystem(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构 ,对其有限元模型进行模态分析和g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的... 详细信息
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