一直以来,爆炸、冲击等恶劣环境中的高g值加速度测量备受人们关注,高g值加速度计的需求不断增多,其中,压阻式高g值加速度计凭借其体积小、重量轻、读出电路简单、工艺成熟等优势,成为高g值加速度计的研究热点。然而,由于高g值加速度计受到横轴串扰、振动冲击等测量因素的影响,同时压阻机制的传感器存在温度依赖性这一固有弊端,因此,压阻式高g值加速度计在复杂环境中的应用存在诸多限制。在此背景下,本文设计了一种新型压阻式高g值加速度计敏感结构并对其进行理论分析及有限元仿真,并设计热应力隔离结构抑制其温度漂移。该加速度计的理论及设计为进一步优化单轴压阻式高g值加速度计的性能奠定了基础。本文的主要研究内容和成果如下:1.提出了一种具有敏感微梁及十字间隙的单轴压阻式高g值加速度计敏感结构,敏感微梁用于分离固有频率和灵敏度的耦合关系,十字间隙的存在可以抑制横轴串扰;根据力学理论建立了敏感结构的形变模型、固有频率模型和阻尼模型对结构的特性进行分析;根据理论分析结果优化结构的尺寸参数。2.针对压阻式高g值加速度计敏感结构,利用有限元仿真对压敏电阻的位置进行设计,验证加速度计敏感结构的理论分析结果,得到敏感结构的性能。有限元仿真结果表明,加速度计的量程可达到20万g,灵敏度为0.883μV/g/5V,固有频率为453.6 k Hz,X轴和Y轴的横轴串扰分别为0.248%和0.106%;谐响应和冲击响应结果表明,该敏感结构在振动和冲击环境中性能良好。3.设计了一种热应力隔离结构,提出了热应力隔离结构的四种锚点粘接方案,使用有限元仿真确定了优化方案,并优化了热应力隔离结构的尺寸参数。有限元仿真结果表明,在环境温度为-40℃和125℃时,带有热应力隔离结构的加速度计中的最大热应力分别减小为无热应力隔离结构时的39.9%和11.1%,在-40℃至125℃温度范围内,带有热应力隔离结构的加速度计的零点漂移平均减小为无热应力隔离时的7.7%。
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