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Geometrical library recognition for mask data compression  3
Geometrical library recognition for mask data compression
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Conference on Photomask and X-Ray Mask Technology III
作者： Veltman, R Ashida, I SONY SEMICOND AMER DESIGN ENGN SAN JOSECA 95134
Recent developments in LSI mask data processing show a tendency towards unpreceded data volume increases. This paper introduces a data compression technique designed to reduce mask data volumes and is based on geometr... 详细信息
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High speed mask eb graphical image browser  2
High speed mask EB graphical image browser
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Photomask and X-Ray Mask Technology II Conference
作者： VELTMAN, R ASHIDA, I TSUBOI, K SONY SEMICOND CO DIV MASK TECHNOLATSUGIKANAGAWA 243JAPAN
With mask data processing becoming increasingly complex, there is a growing need for mask data verification. An eb graphical image browser was developed to support mask data verification and was designed to allow high... 详细信息
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