咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 ebl
  • 1 篇 fabrication and ...
  • 1 篇 soi
  • 1 篇 si

机构

  • 1 篇 key laboratory o...
  • 1 篇 key laboratory o...

作者

  • 1 篇 苏丽娜
  • 1 篇 秦华
  • 1 篇 李欣幸
  • 1 篇 顾晓峰
  • 1 篇 吕利

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=Fabrication and Characterization of a Single Electron Transistor Based on a Silicon-on-Insulator"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
fabrication and characterization of a single electron transistor based on a silicon-on-insulator
收藏 引用
Chinese Physics Letters 2015年 第4期32卷 94-96页
作者: 苏丽娜 吕利 李欣幸 秦华 顾晓峰 Key Laboratory of Advanced Process Control for Light Industry (Ministry of Education) Department of Electronic Engineering Jiangnan University Wuxi 214122 Key Laboratory of Nanodevices and Applications Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics Chinese Academy of Sciences Suzhou 215123
A single electron transistor based on a silicon-on-insulator is successfully fabricated with electron-beam nano- lithography, inductively coupled plasma etching, thermal oxidation and other techniques. The unique desi... 详细信息
来源: 评论