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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 图形转移
  • 1 篇 标准cmos工艺
  • 1 篇 先进光刻
  • 1 篇 衍射光学元件
  • 1 篇 gdsii数据处理

机构

  • 1 篇 中国科学院微电子...

作者

  • 1 篇 谢常青
  • 1 篇 xie changqing

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GDSII数据处理"
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排序:
衍射光学元件成套制造技术研究进展
收藏 引用
光学精密工程 2022年 第15期30卷 1815-1827页
作者: 谢常青 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室 北京100029
从图形数据处理、先进光刻、图形转移和大面积高可靠集成4方面开展衍射光学元件关键制造技术研究。在兼容标准CMOS工艺的基础上,提出了高精度、多功能(高保真、高深宽比、高面形、多元化衬基等)、大面积衍射光学元件成套制造技术。研发... 详细信息
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