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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
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主题

  • 1 篇 图形化衬底
  • 1 篇 粗糙度
  • 1 篇 应力
  • 1 篇 gaas/inp异质外延
  • 1 篇 表面形貌

机构

  • 1 篇 中国科学院苏州纳...
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 朱健
  • 1 篇 孙玉润
  • 1 篇 王庶民
  • 1 篇 戚永乐
  • 1 篇 赵勇明
  • 1 篇 张瑞英
  • 1 篇 董建荣
  • 1 篇 张震
  • 1 篇 王岩岩

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=GaAs/InP异质外延"
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排序:
图案化gaas衬底外延inp局域表面成核层生长
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半导体技术 2015年 第6期40卷 448-454页
作者: 戚永乐 张瑞英 张震 王岩岩 朱健 孙玉润 赵勇明 董建荣 王庶民 中国科学技术大学纳米学院 江苏苏州215123 中国科学院苏州纳米技术-9纳米仿生研究所 江苏苏州215123 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
使用光学显微镜、原子力显微镜和微区喇曼光谱对在纳球光刻图案化gaas衬底的孔洞区进行金属有机化学气相沉积(MOCVD)进而对inp成核层进行了研究。实验结果表明,该局域表面inp的成核层生长和孔洞的大小、方向、位置关系不大,与MOCVD的生... 详细信息
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