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作者

  • 1 篇 pei sun
  • 1 篇 lei xie
  • 1 篇 junghui chen
  • 1 篇 shan lu
  • 1 篇 xing cai

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=LPCVD,Spatial Distribution,Gaussian Process Model,Optimal Design"
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spatial Batch optimal design Based on Self-Learning gaussian process models for lpcvd processes
Spatial Batch Optimal Design Based on Self-Learning Gaussian...
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第25届中国过程控制会议
作者： Pei Sun Junghui Chen Lei Xie Xing Cai Shan Lu State Laboratory of Industrial Control Technology Institute of Cyber-Systems and Control Zhejiang University Department of Chemical Engineering Chung-Yuan Christian University
Low pressure chemical vapor deposition(lpcvd)is one of the most important processes during semiconductor ***,experience based control is often used to design this *** few data of thin film thickness on wafers can be a... 详细信息
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