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机构

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作者

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溅射深度剖析的定量分析及其应用
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真空 2012年 第2期49卷 71-76页
作者： 刘毅 王江涌 汕头大学理学院物理系 广东汕头515063 深圳大学深圳市特种功能材料重点实验室 广东深圳518060
本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的mri模型及其应用作了一个综述。mri模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(I)。通过... 详细信息
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近表层元素成分分布的溅射深度剖析的定量分析
近表层元素成分分布的溅射深度剖析的定量分析
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2012年广东省真空学会学术年会
作者： 刘毅 王江涌 汕头大学理学院物理系非晶半导体实验室 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的mri模型基础上,首先引入了一个考虑择优溅射效应的参量。再假设原子混合长度和粗糙度同溅射深度相关,就可实现对近表层深度剖析中存在的原子间混合长度和粗糙化的非稳态效应的定量表征。在此基础上,... 详细信息
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择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响
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引用
真空 2013年 第1期50卷 15-19页
作者： 刘毅 王江涌 汕头大学理学院物理系 非晶半导体实验室 广东汕头515063
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的mri模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,... 详细信息
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