检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：成家柏浙江大学

学位级别：硕士

在摩尔定律的指导下,集成电路的制造工艺一直在往前演进,从微米进入到现在的纳米级时代,特别是在最近几年得到快速发展。制造工艺的精细化使得每一道工艺步骤上的偏差都会对成品率造成影响,在先进工艺节点(14 nm以下)显得尤为突出。为... 详细信息

在摩尔定律的指导下,集成电路的制造工艺一直在往前演进,从微米进入到现在的纳米级时代,特别是在最近几年得到快速发展。制造工艺的精细化使得每一道工艺步骤上的偏差都会对成品率造成影响,在先进工艺节点(14 nm以下)显得尤为突出。为了提高合格率,就必须增加大量测试结构来监控每道工序,从而使测试项快速增长,对测试机速度要求越来越高。目前市场上主流晶圆允收测试(wat)设备无法满足集成电路快速发展对测试速度的强劲需求。针对设备测试速度无法满足行业发展的问题,本文对wat测试系统进行设计与研究,通过如下创新来提高测试速度:1、根据wat测试特征,对测试流程进行优化,降低因测试硬件频繁启动消耗的时间,使测试速度提高20%左右,在某些特殊应用中可达88%。同时引入自动化测试技术(GEM),尽量减少测试过程中因人工干预消耗的时间。2、系统采用高速源测单元和数据传输技术,在提升测量模块采样速率同时,提高测试数据传输速率。采样速率最高达1.8 MS/s,是传统3倍以上。数据传输速度由传统的1.4 MB/s提高到500 MB/s,使测试过程中数据传输时间可以忽略不计。3、在测试系统中引入并行测试和多通道测试针卡技术。并行测试可以控制测试模块同一时间工作,在满足高精度要求下,节省因传统顺序测试等待过程消耗的时间,最大并发数可达到25个,测试速度可提高到原来的20至25倍之间。为了实现最大并发数,设计4通道测试针卡,移动时间减少为原来的1/4。本论文设计实现了wat快速测试系统样机,在满足wat测试高精度要求下,测试速度提高了2到5倍,甚至在某些特殊应用场合可达到10倍以上。

关键词：测试速度 wat测试顺序测试并行测试源测单元

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根据wat数据特性自动设置管控模式的方法

根据WAT数据特性自动设置管控模式的方法

引用

作者：姜颖洁上海交通大学

学位级别：硕士

在半导体制造中,wat(Wafer Acceptance Test)是在半导体硅片完成所有制程工艺之后,针对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。通过wat测试可以监测工艺的稳定性,发现半导体制程工艺中的问题,帮助工程师进行制程工艺调整,最终提高产品... 详细信息

在半导体制造中,wat(Wafer Acceptance Test)是在半导体硅片完成所有制程工艺之后,针对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。通过wat测试可以监测工艺的稳定性,发现半导体制程工艺中的问题,帮助工程师进行制程工艺调整,最终提高产品的良率。鉴于wat数据的重要性,我们需要一套科学有效的品质管控方法帮助工程师准确快捷的判断wat数据是否异常。本研究从wat管控的现状入手,针对现有管控方法的不足,研究探索一种更科学有效的针对wat参数的管控方法,并开发系统投入实际生产使用。主要工作分为以下三部分:第一部分是控制方法理论的推导的仿真。用实际生产过去3年的数据,针对190多个wat参数数据建立数学模型,进行控制方法的推导和仿真,设计适合wat的SPC(Statistical Process Control)控制图。第二部分主要是控制方法的验证。分析不同wat参数数据类型,运用新设计的SPC控制图对近半年的数据进行管控,跟踪记录有效性。第三部分是BWS(Best wat Set)系统开发。利用以上数据类型分析方法及针对不同数据类型的SPC控制图,开发针对wat参数智能管控的BWS系统。实现wat参数数据类型的自动识别,管控图的自动选择,并进行相应的结果模拟。BWS系统已于2016年正式投入使用,根据2013～2016的数据估算系统上线的效益:每年可防止晶元报废1825片,每月可减少用于常规检测审查的人力52个。

关键词：半导体 wat测试质量管控系统 SPC控制图数据类型分析

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集成电路晶圆探针测试综述

引用

中文科技期刊数据库（全文版）工程技术 2016年第9期 236-236,238页

作者：卓红标上海交通大学微电子学院上海中国200240

介绍了集成电路制造的测试的重要性,对晶圆探针测试的意义进行了进一步的分析,对晶圆探针测试的典型项目进行了简述,列出了测试分析过程、测试目的及测试方法。并对集成电路测试的发展进行了展望。

关键词：集成电路测试 wat测试阀值电压饱和电流

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