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1 篇 coloring conflic...

机构

2 篇 globalfoundries ...

作者

2 篇 wang lynn t. -n.
2 篇 capodieci luigi
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2 篇 英文

检索条件"主题词=automated decomposition algorithm"

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详细简洁

排序：

Pattern matching for identifying and resolving non-decomposition-friendly designs for Double Patterning Technology (DPT)

Pattern matching for identifying and resolving non-decomposi...

引用

Conference on Design for Manufacturability through Design-Process Integration VII

作者： Wang, Lynn T. -N. Dai, Vito Capodieci, Luigi GLOBALFOUNDRIES Milpitas CA 95035 USA

ISBN: (纸本)9780819494665

A pattern matching methodology that identifies non-decomposition-friendly designs and provides localized guidance for layout-fixing is presented for double patterning lithography. This methodology uses a library of patterns in which each pattern has been pre-characterized as impossible-to-decompose and annotated with a design rule for guiding the layout fixes. A pattern matching engine identifies these problematic patterns in design, which allows the layout designers to anticipate and prevent decomposition errors, prior to layout decomposition. The methodology has been demonstrated on a 180 um(2) layout migrated from the previous 28nm technology node for the metal 1 layer. Using a small library of just 18 patterns, the pattern matching engine identified 119 out of 400 decomposition errors, which constituted coverage of 29.8%.

关键词： Pattern matching odd-cycles coloring conflicts double patterning decomposition design flow design rule DRC Plus automated decomposition algorithm DPT

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Pattern matching for double patterning technology-compliant physical design flows

Pattern matching for double patterning technology-compliant ...

引用

SPIE Conference on Design for Manufacturability through Design-Process Integration VI ((DfM-DPI)/Joint Conference of the Optical Lithography

作者： Wang, Lynn T. -N. Dai, Vito Capodieci, Luigi GLOBALFOUNDRIES Milpitas CA 95035 USA

ISBN: (纸本)9780819489838

A pattern-based methodology for guiding the generation of DPT-compliant layouts using a foundry-characterized library of "difficult to decompose" patterns with known corresponding solutions is presented. A pattern matching engine scans the drawn layout for patterns from the pattern library. If a match were found, one or more DPT-compliant solutions would be provided for guiding the layout modifications. This methodology is demonstrated on a sample 1.8 mm(2) layout migrated from a previous technology. A small library of 12 patterns is captured, which accounts for 59 out of the 194 DPT-compliance check violations examined. In addition, the methodology can be used to recommend specific changes to the original drawn design to improve manufacturability. This methodology is compatible with any physical design flows that use automated decomposition algorithms.

关键词： Pattern matching double patterning decomposition design flow design rule check DRC Plus automated decomposition algorithm DPT

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