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Temperature compensation in integrated CMOS-MEMS scanning probe microscopes
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MICRO & NANO LETTERS 2012年 第4期7卷 297-300页
作者: Sarkar, N. Trainor, K. Mansour, R. R. Univ Waterloo Waterloo ON N2L 3G1 Canada
The authors report on the operation of complementary metal-oxide semiconductor microelectromechanical system (MEMS) scanning probe microscope (SPM) with integrated three-dimensional electrothermal actuation and three-... 详细信息
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