检索结果-内蒙古大学图书馆

中国光学学会2004年学术大会

作者：杨建义江晓清李锡华周强王明华王跃林浙江大学信息与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆... 详细信息

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆偏振调制器等的研制工作。

关键词：集成光学有机聚合物光波导电光效应电极化光调制器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

用于光传感器的光波导等离子体表面波效应分析

用于光传感器的光波导等离子体表面波效应分析

引用

中国光学学会2004年学术大会

作者：李广波杨建义江晓清李锡华王明华王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文针对基于光波导的金属等离子体表面波传感器的特征需要，分析了金属层与缓冲层的参数对灵敏度的影响，由此可以优化基于光波导的SPW 传感器的结构参数。分析表明，缓冲层的厚度值的选取对器件灵敏度有着大的影响。

关键词：传感器等离子体表面波光波导灵敏度

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

阵列波导光栅的研制及其发展

阵列波导光栅的研制及其发展

引用

第五届全国光子学大会

作者：杨建义江晓清贾科淼唐衍哲王跃林王明华浙江大学信息与电子工程学系杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系杭州210027

本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG，包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜，构成波导阵列，提出并研制了具有集成微镜的AWG，这种AWG可以具有紧凑的结构与灵活的设... 详细信息

本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG，包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜，构成波导阵列，提出并研制了具有集成微镜的AWG，这种AWG可以具有紧凑的结构与灵活的设计。进一步地，在一维AWG基础上，提出并设计了二维AWG，这为具有大规模通道数的光波分复用/解复用器的实现提供了一条思路。

关键词：集成光学光波导光波分复用阵列波导光栅

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

SOI材料和器件及其应用的新进展

引用

核技术 2003年第9期26卷 658-663页

作者：林成鲁张正选刘卫丽中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

综述了绝缘层上的硅(SOI)材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展,介绍了SOI器的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用,报道了国内在SOI技术的研发和产业化的最新动态。

关键词：绝缘层上的硅(SOI) 辐射 SOI产业化

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种栅型结构微机械陀螺的研究

引用

中国机械工程 2003年第3期14卷 184-186页

作者：熊斌车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作... 详细信息

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作特性 ,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响。实验结果表明 ,在大气状态下 ,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子 Q均可达到

关键词：栅型结构微机械陀螺动力学方程角速度传感器微机械加工技术

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟

引用

固体电子学研究与进展 2003年第4期23卷 496-499页

作者：车录锋熊斌黄小振王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型 ,并通过电路模拟工具 PSPICE对模型进行验证。利用该模型与接口电路的混合模拟 ,可以分析陀螺整个系统的工作性能。

关键词：微机械陀螺传感器接口电路振动特性工作性能优化设计

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

振动式微机械陀螺的等效电学模型

引用

机械工程学报 2003年第3期39卷 117-120,125页

作者：车录锋黄小振熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

根据振动式微机械陀螺的工作原理,建立了其机械特性的等效电路模型。陀螺差分检测电容模型和振动的等效电路模型构成了陀螺的等效电学模型,该模拟模型组合了传感器的机械特性和电学特性。陀螺等效电学模型通过电路模拟工具PSPICE实现,... 详细信息

根据振动式微机械陀螺的工作原理,建立了其机械特性的等效电路模型。陀螺差分检测电容模型和振动的等效电路模型构成了陀螺的等效电学模型,该模拟模型组合了传感器的机械特性和电学特性。陀螺等效电学模型通过电路模拟工具PSPICE实现,可用于分析陀螺的振动特性、对角速度的频响特性,优化陀螺的工作方式;还可以与接口电路混合模拟,分析陀螺和检测电路的整体性能,优化检测电路的设计。

关键词：微机械陀螺等效电学模型振动式

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

N^+、O^+共注入形成SOI绝缘埋层的计算机模拟

引用

核技术 2003年第3期26卷 212-216页

作者：林青刘相华朱鸣谢欣云林成鲁中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放实验室上海200050

将不同能量和注量的N+和O+离子依次注入于硅片并高温退火,形成具有SiO2/SiOxNy/Si3N4埋层的SOI结构。本文使用在TRIM的基础上发展起来的IRIS模拟程序,并对IRIS模型进行了改进,对N+、O+离子共注入形成的SIMON结构进行了计算机模拟,并与... 详细信息

将不同能量和注量的N+和O+离子依次注入于<100>硅片并高温退火,形成具有SiO2/SiOxNy/Si3N4埋层的SOI结构。本文使用在TRIM的基础上发展起来的IRIS模拟程序,并对IRIS模型进行了改进,对N+、O+离子共注入形成的SIMON结构进行了计算机模拟,并与实验制作的样品所做截面透射电镜(TEM)测试结果进行了比较,发现模拟结果与实验所得数据吻合。

关键词：氮离子氧离子离子注入硅片 SOI绝缘埋层计算机模拟

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种微机械陀螺自激驱动方式的电学模拟

引用

仪器仪表学报 2003年第2期24卷 190-192,200页

作者：熊斌车录锋黄小振王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

为提高微机械陀螺的检测精度 ,稳定驱动振动速度幅度 ,提出了微机械陀螺的自激驱动方式 ,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动 ,以及保持恒定的驱动振动速度幅度。根据自激驱动电路原理 ,建立了驱动动力学方程的等效电... 详细信息

为提高微机械陀螺的检测精度 ,稳定驱动振动速度幅度 ,提出了微机械陀螺的自激驱动方式 ,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动 ,以及保持恒定的驱动振动速度幅度。根据自激驱动电路原理 ,建立了驱动动力学方程的等效电路模型 ,用 PSPICE软件对电路的工作状况进行了模拟。

关键词：微机械陀螺自激驱动电学模拟固有频率等效电路模型 PSPICE软件

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究

引用

中国激光 2003年第4期30卷 345-348页

作者：章宁琳宋志棠邢溯万青林成鲁中国科学院上海微系统和信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ... 详细信息

采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了薄膜的表面粗糙度 ;讨论了薄膜结晶性能与其电学I V特性之间的关系。

关键词：准分子脉冲激光沉积法 ZrO2薄膜衬底温度结晶结构电学性能

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：