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检索条件"机构=上海中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室"
1107 条 记 录,以下是241-250 订阅
排序:
以金属有机框架材料HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱
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分析化学 2023年 第3期51卷 429-435页
作者: 张娣 张海燕 陈泊鑫 祝雨晨 赵斌 李磊 郑丹 冯飞 上海应用技术大学化学与环境工程学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
气相色谱柱微型化有利于气相色谱系统的小型化,然而对微型气相色谱柱而言,轻烃的分离是一个挑战。本研究基于微机电系统(MEMS)技术制备了微型气相色谱柱,在温下合成了一种金属有机框架材料HKUST-1,采用动态涂敷法将HKUST-1涂敷... 详细信息
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基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作
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纳米技术与精密工程 2013年 第3期11卷 222-230页
作者: 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部... 详细信息
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偏置电压极性对差分电容微传感器可靠工作条件的影响分析
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机械强度 2005年 第4期27卷 465-469页
作者: 董林玺 孙玲玲 王跃林 杭州电子科技大学微电子CAD研究所 杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为了测得电容式传感器的电容变化,一般需要有直流偏置电压的交流驱动信号加到传感器上,然而驱动信号产生的静电力会干扰传感器的测量和可靠工作条件。文中分析差分电容传感器受到阶跃加速度信号作用时,不同偏置电压极性对可靠工作条件... 详细信息
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基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器
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光电子.激光 2004年 第9期15卷 1031-1034,1041页
作者: 杨建义 江晓清 贾科淼 李锡华 王明华 吴亚明 王跃林 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
基于二维分布衍射光栅与平面波导概念,提出了基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器。光波分复用器/解复用器利用二维衍射光栅的波长变化下光波的衍射路径由两个方向的色散值矢量合成决定这一特性,同时适当地控制其自由谱范... 详细信息
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基于新型非易失内存的远程零拷贝文件系统
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国防科技大学学报 2020年 第3期42卷 9-16页
作者: 韩文炳 陈小刚 李顺芬 李大刚 陈诗雁 段有康 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 北京大学深圳研究生院信息工程学院 广东深圳518055
为提升物联网与边缘计算应用中前端节点间的数据访问效率,提出了一种新型远程零拷贝文件系统。该文件系统无须借助特殊硬件,可直接基于通用网卡设备实现零拷贝的数据传输框架;充分利用新型非易失内存的随机访问特性,尽可能减少数据缓存... 详细信息
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基于Android的便携式水质检测仪器的研制
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环境工程学报 2016年 第7期10卷 3973-3976页
作者: 李宫 郭慧 赵辉 赵建龙 贾春平 金庆辉 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
针对水质检测的发展以及水资源保护的需求,提出了基于Android设备的便携式水质检测仪器,仪器主要由传感器探头、下位数据采集、存储、处理设备和Android智能设备端组成。结果表明,该仪器对COD和DO的线性检测范围分别为0~60 mg·L^(... 详细信息
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重碳掺杂p型GaAsSb的GSMBE生长及其特性
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Journal of Semiconductors 2007年 第11期28卷 1765-1768页
作者: 孙浩 齐鸣 徐安怀 艾立鹍 朱福英 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
以四溴化碳(CBr4)作为碳掺杂源,采用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长了InP衬底上晶格匹配的重碳掺杂p型GaAsSb材料.通过改变CBr4压力,研究了掺杂浓度在(1~20)×1019cm-3范围内的掺杂特性,得到的最大掺杂浓度为2.025×1020cm-3... 详细信息
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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究
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物理学报 2009年 第4期58卷 2518-2522页
作者: 薛伟 郑蓓蓉 张淼 解国新 王权 温州大学机电工程学院 温州323035 清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
对微机电系统(MEMS)中几种常用构件材料的表面能及其主要影响因素进行了探讨,并与材料表面的纳观黏附性能进行了分析比较.用Owens二液法计算出硅基材料的表面能在60—75mJ/m2之间,它们之间总表面能的差异主要归结为表面能极性分量的差异... 详细信息
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离子注入方法形成电流限制孔径及其对器件光电特性的影响
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Journal of Semiconductors 2008年 第4期29卷 765-769页
作者: 刘成 曹春芳 劳燕锋 曹萌 吴惠桢 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
采用离子注入方法和后续的退火工艺制作了1.3μm面发射电致发光(EL)器件结构的电流限制孔径,通过对此结构的电学和光学特性进行测试分析,获得了离子注入和退火温度的优化参数,工艺参数为离子注入剂量5×1014cm-2和450℃退火1min.结... 详细信息
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一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计
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Journal of Semiconductors 2007年 第5期28卷 783-788页
作者: 王育才 焦继伟 段飞 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(1... 详细信息
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