咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 820 篇 期刊文献
  • 286 篇 会议

馆藏范围

  • 1,106 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 950 篇 工学
    • 462 篇 电子科学与技术(可...
    • 319 篇 材料科学与工程(可...
    • 208 篇 仪器科学与技术
    • 192 篇 光学工程
    • 157 篇 机械工程
    • 66 篇 化学工程与技术
    • 51 篇 电气工程
    • 50 篇 控制科学与工程
    • 24 篇 计算机科学与技术...
    • 23 篇 动力工程及工程热...
    • 16 篇 信息与通信工程
    • 11 篇 生物医学工程(可授...
    • 11 篇 生物工程
    • 9 篇 航空宇航科学与技...
    • 8 篇 农业工程
    • 6 篇 力学(可授工学、理...
    • 5 篇 地质资源与地质工...
    • 5 篇 环境科学与工程(可...
    • 5 篇 软件工程
    • 3 篇 食品科学与工程(可...
  • 201 篇 理学
    • 135 篇 物理学
    • 61 篇 化学
    • 9 篇 生物学
    • 4 篇 系统科学
  • 11 篇 农学
    • 5 篇 作物学
    • 5 篇 农业资源与环境
  • 11 篇 医学
    • 4 篇 公共卫生与预防医...
    • 3 篇 临床医学
  • 4 篇 管理学
    • 3 篇 管理科学与工程(可...
  • 3 篇 军事学
    • 3 篇 军队指挥学
  • 2 篇 经济学
  • 2 篇 艺术学
  • 1 篇 教育学

主题

  • 31 篇 相变存储器
  • 26 篇 微机电系统
  • 22 篇 分子束外延
  • 20 篇 ingaas
  • 20 篇 mems
  • 17 篇 石墨烯
  • 17 篇 量子级联激光器
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 17 篇 垂直腔面发射激光...
  • 16 篇 光电探测器
  • 16 篇 soi
  • 15 篇 气态源分子束外延
  • 15 篇 微电子机械系统
  • 14 篇 半导体激光器
  • 12 篇 化学机械抛光
  • 12 篇 化合物半导体
  • 12 篇 微流控芯片
  • 11 篇 红外探测器
  • 11 篇 太赫兹
  • 10 篇 传感器

机构

  • 373 篇 中国科学院上海微...
  • 263 篇 中国科学院上海微...
  • 184 篇 中国科学院大学
  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 107 篇 中国科学院研究生...
  • 44 篇 信息功能材料国家...
  • 43 篇 上海科技大学
  • 42 篇 中国科学院超导电...
  • 41 篇 浙江大学
  • 29 篇 上海大学
  • 20 篇 信息功能材料国家...
  • 19 篇 上海交通大学
  • 17 篇 曲阜师范大学
  • 16 篇 复旦大学
  • 16 篇 同济大学
  • 16 篇 中国科学院上海微...
  • 12 篇 中国科学院
  • 12 篇 宁波大学
  • 12 篇 中光华研电子科技...

作者

  • 121 篇 王跃林
  • 90 篇 张永刚
  • 82 篇 宋志棠
  • 70 篇 李昕欣
  • 63 篇 李爱珍
  • 63 篇 谢晓明
  • 55 篇 顾溢
  • 52 篇 金庆辉
  • 51 篇 龚谦
  • 50 篇 吴惠桢
  • 47 篇 赵建龙
  • 45 篇 孔祥燕
  • 43 篇 熊斌
  • 41 篇 王永良
  • 40 篇 车录锋
  • 40 篇 劳燕锋
  • 39 篇 尤立星
  • 37 篇 wang yue-lin
  • 37 篇 吴亚明
  • 36 篇 焦继伟

语言

  • 1,106 篇 中文
检索条件"机构=上海中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室"
1106 条 记 录,以下是261-270 订阅
排序:
静电力驱动的液滴数字传输芯片
收藏 引用
功能材料与器件学报 2010年 第2期16卷 131-136页
作者: 皋华敏 李铁 许磊 刘翔 王翊 周萍 王跃林 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,... 详细信息
来源: 评论
MEMS悬臂式开关的失效分析
收藏 引用
传感技术学报 2004年 第3期17卷 492-496页
作者: 徐欣 郭方敏 葛羽屏 李成诗 于绍欣 朱荣锦 赖宗声 朱自强 王跃林 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点开放实验室上海200050 中国科学院上海技术物理所 红外物理国家重点实验室上海200083
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法... 详细信息
来源: 评论
光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2004年 第5期25卷 552-556页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜... 详细信息
来源: 评论
温工作的AlGaAsSb/InGaAsSb 2μm多量子阱脊波导半导体激光器
收藏 引用
稀有金属 2004年 第3期28卷 574-576页
作者: 张雄 李爱珍 张永刚 郑燕兰 徐刚毅 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
报道了可在温下脉冲工作的AlGaAsSb/InGaAsSb 2 μm多量子阱脊波导半导体激光器。器件材料生长采用固态源分子束外延的方法 ,器件有源层采用应变补偿量子阱结构 ,激光器结构中引入了加宽波导的设计。制备的多量子阱激光器最高工作温... 详细信息
来源: 评论
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
收藏 引用
传感器与微系统 2014年 第5期33卷 59-61,65页
作者: 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM... 详细信息
来源: 评论
GSMBE InGaP/GaAs材料大面积均匀性研究
收藏 引用
稀有金属 2004年 第3期28卷 569-571页
作者: 李爱珍 李华 李存才 胡建 唐雄心 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
报道了气态源分子束外延 (GSMBE)技术生长的Φ5 0mm ,Φ75mmInGaP/GaAs材料的晶体完整性 ,组分均匀性和表面缺陷密度。用PhilipsX Pert′s四晶衍射仪沿Φ5 0mm ,Φ75mmInGaP/GaAs样品的x轴和y轴以 5mm间隔测量ω/2θ双晶摇摆曲线 ,获得... 详细信息
来源: 评论
基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2004年 第4期25卷 477-480页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计 ,其核心部分是一个 m× n的可动微镜阵列 ,可动微镜是由双材料弯折梁及其支撑的微镜面组成 .在红外辐射的作用下 ,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制 ... 详细信息
来源: 评论
外加太赫兹场与磁场作用下的高电子迁移率晶体管电流特性
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2008年 第7期29卷 1357-1359页
作者: 王立敏 曹俊诚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
外加太赫兹(THz)场垂直入射高电子迁移率晶体管(HEMT),使得HEMT中产生的载流子激发沟道内的等离子振荡,振荡频率处于太赫兹范围.论文研究了外加磁场对该器件电流特性的影响.结果表明,随着外加磁场强度的增加,HEMT的响应率峰值发生蓝移.... 详细信息
来源: 评论
基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导
收藏 引用
中国科学:物理学、力学、天文学 2016年 第4期46卷 92-98页
作者: 郭庆磊 张苗 狄增峰 黄高山 梅永丰 复旦大学材料科学系 上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
无机柔性光电子技术由于具有柔性、便携、大面积等优点而受到科研人员的广泛关注,并取得了长足的进展.制备无机柔性光电子器件的技术关键是将传统刚性衬底上的纳米"构筑单元"(Building Blocks)以一种可控的、精确的、具有超... 详细信息
来源: 评论
射频等离子体辅助MBE生长GaN及Mg掺杂的光致发光
收藏 引用
发光学报 2006年 第6期27卷 971-975页
作者: 隋妍萍 于广辉 孟胜 雷本亮 王笑龙 王新中 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用射频等离子体辅助分子束外延(RFplasma-assistedMBE)系统生长非故意掺杂GaN和p型GaN,并且通过温和低温光致发光(PL)谱测试研究了材料的发光特性及与杂质态的关系,对于GaN外延层出现的黄带发光进行分析。结果表明,富Ga条件下生长的... 详细信息
来源: 评论