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检索条件"机构=上海中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室"
1106 条 记 录,以下是21-30 订阅
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InAs/InGaAs数字合金应变补偿量子阱激光器(英文)
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红外与毫米波学报 2014年 第3期33卷 213-217页
作者: 曹远迎 顾溢 张永刚 李耀耀 方祥 李爱珍 周立 李好斯白音 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用气态源分子束外延在InP衬底上生长InAs/InGaAs数字合金应变补偿量子阱激光器.有源区的多量子阱结构由压应变的InAs/In_(0.53)Ga_(0.47)As数字合金三角形势阱和张应变的In_(0.43)Ga_(0.57)As势垒构成.X射线衍射测试表明赝晶生长的量... 详细信息
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FTIR测量的宽波数范围发射光谱强度校正
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红外与毫米波学报 2016年 第1期35卷 63-67页
作者: 张永刚 奚苏萍 周立 顾溢 陈星佑 马英杰 杜奔 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
针对采用FTIR方法在宽波数范围内测得不同样品的发射光谱在强度上难以做定量比较的困难,提出了一种简便可行的校正方案,即通过计算发射谱仪器函数来进行强度校正;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详细讨论.以一组覆盖宽波数范围的... 详细信息
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气态源分子束外延Al_xGa_(1-x)As(x=0~1)材料中Si的掺杂行为研究(英文)
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红外与毫米波学报 2007年 第1期26卷 1-4,9页
作者: 李华 李爱珍 张永刚 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
研究了Si在AlxGa1-xAs(0≤x≤1)中的掺杂行为.为比较Al組份对Si掺杂浓度的影响,在用气态源分子束外延生长(GSMBE)掺Si n型AlxGa1-xAs(0≤x≤1)的有样品时,n型掺杂剂Si炉的温度恒定不变.用Hall效应测量外延层的自由载流子浓度和迁移率,... 详细信息
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短波红外InGaAs/InP光伏探测器系列的研制
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红外与毫米波学报 2006年 第1期25卷 6-9页
作者: 张永刚 顾溢 朱诚 郝国强 李爱珍 刘天东 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用气态源分子束外延方法及应用有源区同质结构及较薄的组分渐变InxGa1-xAs缓冲层,研制了波长扩展的InGaAs/InP光伏探测器系列,其温下的截止波长分别约为1.9μm,2.2μm.和2.5μm.对此探测器系列在较宽温度范围内的性能进行了细致表征... 详细信息
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气态源分子束外延生长扩展波长InGaAs探测器性能分析(英文)
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红外与毫米波学报 2006年 第4期25卷 241-245页
作者: 郝国强 张永刚 顾溢 李爱珍 朱诚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
从理论与实验两方面对截止波长为1.7μm(x=0.53),1.9μm(x=0.6)和2.2μm(x=0.7)p in InxGa1-xAs探测器性能进行了研究.对探测器暗电流的研究结果表明,扩展波长In0.6Ga0.4As,In0.7Ga0.3As探测器在反向偏置低压区,欧姆电流占据主导地位;... 详细信息
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全息光刻和二次显影法制备柱形二维光子晶体(英文)
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红外与毫米波学报 2014年 第1期33卷 45-49页
作者: 曹远迎 张永刚 李耀耀 顾溢 李爱珍 李好斯白音 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用全息光刻和二次显影的方法制备了柱形二维光子晶体.在此过程中,二维点状的周期结构首先在正性光刻胶上直接形成,然后经由Si3N4硬掩模转移到衬底材料上.利用二次显影的方法,曝光强度最强和曝光强度中等区域的光刻胶能够被同时充分显... 详细信息
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基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器
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光电子.激光 2015年 第3期26卷 414-421页
作者: 王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加... 详细信息
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单片集成微型气相色谱芯片研究
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分析化学 2018年 第9期46卷 1363-1371页
作者: 田博文 冯飞 赵斌 罗凡 杨雪蕾 周海梅 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院大学
基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术制备了一种由微色谱柱和微热导检测器构成的单片集成微型气相色谱(Micro gas chromatography,μGC)芯片。与现有集成芯片相比,在高深宽比的微沟道内构筑了一层高比表面积的... 详细信息
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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜
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光学精密工程 2013年 第2期21卷 400-407页
作者: 刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100039
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜... 详细信息
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一种用于核酸高灵敏检测的液滴式数字聚合酶链式反应芯片
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高等学校化学学报 2017年 第7期38卷 1140-1147页
作者: 袁浩钧 郜晚蕾 景奉香 刘松生 周洪波 贾春平 金庆辉 赵建龙 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院大学 北京100049
为了实现对核酸的高灵敏度检测,构建了一种新型的液滴式数字聚合酶链式反应(dd PCR)芯片.该芯片由产生液滴的聚二甲基硅氧烷(PDMS)模块和储存液滴的玻璃腔构成.实验结果表明,该芯片可以在25 min内产生2×106个直径为20μm的微液滴... 详细信息
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