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环境工程学报 2016年第4期10卷 2122-2126页

作者：孙浩郭慧赵辉王勤戚海燕金庆辉中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海市环境保护信息中心上海200030 上海市松江区环境保护局上海201600

基于紫外吸收原理,研制了一种新型硝酸盐在线监测传感器。通过对硝酸钾标准溶液的测试,绘制了该传感器的标准曲线,利用传感器对几种实际水体的硝酸盐含量进行了检测,并和国标法进行对比,同时通过加标回收率、稳定性、重复性及最低检出... 详细信息

基于紫外吸收原理,研制了一种新型硝酸盐在线监测传感器。通过对硝酸钾标准溶液的测试,绘制了该传感器的标准曲线,利用传感器对几种实际水体的硝酸盐含量进行了检测,并和国标法进行对比,同时通过加标回收率、稳定性、重复性及最低检出限等实验,对传感器的性能进行了评估。实验表明,传感器和国标法测量值的相对误差小于10.0%,加标回收率为91.8%～126%,传感器稳定性和重复性实验的CV值（变异系数）分别为3.364%和3.043%,最小检出限为0.074 mg/L。结果表明,该传感器基本满足水体硝酸盐在线监测的需求,并且具有无污染、工作稳定、测量快速和准确的优势。

关键词：硝酸盐水质在线监测紫外吸光度

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基于量子点荧光探针的高灵敏蛋白质检测方法

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华东师范大学学报（自然科学版） 2016年第2期 144-152页

作者：吴思敏贾春平刘莉芬郜晚蕾景奉香金庆辉张红锋赵建龙华东师范大学生命科学学院上海200241 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

通过制备量子点荧光检测探针，构建了一种基于量子点探针和免疫磁珠的蛋白质检测方法，实现了对蛋白肿瘤标志物癌胚抗原（carcinoembryonic antigen，cEA）的高灵敏定量检测．在该检测体系中，若存在有靶标蛋白，其与量子点检测探针以... 详细信息

通过制备量子点荧光检测探针，构建了一种基于量子点探针和免疫磁珠的蛋白质检测方法，实现了对蛋白肿瘤标志物癌胚抗原（carcinoembryonic antigen，cEA）的高灵敏定量检测．在该检测体系中，若存在有靶标蛋白，其与量子点检测探针以及捕获探针之间会发生免疫反应形成三明治结构，利用磁力分离器对免疫复合物进行富集后，通过检测富集在磁珠表面的量子点荧光信号，可实现对靶标蛋白的定量．该方法的检测灵敏度为38pg／mL，线性范围为0．39～50ng／mL，临床质控样本检验结果表明，该方法准确度高，可重复性好，可应用于临床样本检测．该量子点探针检测体系具有灵敏度高、特异性好、样品消耗量低等优点，在疾病早期诊断方面具有广阔的应用前景．

关键词：量子点免疫荧光分析免疫磁珠肿瘤标志物

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一种基于表面张力的硅通孔互连快速填充技术

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半导体技术 2016年第9期41卷 700-705页

作者：刘冰杰顾杰斌杨恒上海大学机电工程与自动化学院上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200000

硅通孔互连(TSV)技术是三维电子封装中主要的电互连技术之一。针对常用的电镀填充方式对于尺寸较大的TSV存在填充速度慢的问题,提出了一种基于表面张力的TSV快速填充技术。该技术利用毛细现象和液桥夹断现象通过喷嘴实现液态金属在TSV... 详细信息

硅通孔互连(TSV)技术是三维电子封装中主要的电互连技术之一。针对常用的电镀填充方式对于尺寸较大的TSV存在填充速度慢的问题,提出了一种基于表面张力的TSV快速填充技术。该技术利用毛细现象和液桥夹断现象通过喷嘴实现液态金属在TSV通孔及盲孔的填充。使用扫描电子显微镜(SEM)分别对直径为120μm、深度为420μm的通孔和直径为90μm、深度为350μm的盲孔填充后的表面形貌和剖面形貌进行了观测。测得填充TSV阻值约为10mΩ。该技术避免了常用的电镀填充方法所需要的种子层沉积以及化学机械研磨等工艺,可显著降低TSV的填充制造成本。

关键词：硅通孔互连(TSV) 封装毛细现象液桥电阻

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TiFe基储氢合金的BaZrO_3坩埚熔炼制备及其储氢性能

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重庆大学学报（自然科学版） 2016年第2期39卷 107-113页

作者：李重河周汉陈光耀胡仁民吴铸李志林省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海200072 上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室上海200072 上海大学材料科学与工程学院上海200072 上海特种铸造工程技术研究中心上海201605 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

利用自制25kg级BaZrO3坩埚,通过ZG-0.05型真空感应熔炼制备TiFe基储氢合金。熔炼条件为：0.6 MPa氩气保护气氛,精炼时间5~10min,精炼温度1 450℃左右。采用ICP原子发射光谱分析仪分析所熔合金的化学成分,利用金相显微镜、扫描电子显微镜... 详细信息

利用自制25kg级BaZrO3坩埚,通过ZG-0.05型真空感应熔炼制备TiFe基储氢合金。熔炼条件为：0.6 MPa氩气保护气氛,精炼时间5~10min,精炼温度1 450℃左右。采用ICP原子发射光谱分析仪分析所熔合金的化学成分,利用金相显微镜、扫描电子显微镜、XRD衍射仪研究了合金的金相组织、表面形貌、微区元素分布、物相结构,用气体反应控制器测定了合金的PCT曲线。研究表明：由BaZrO3坩埚熔炼的TiFe基储氢合金氧质量分数与石墨坩埚熔炼的合金氧质量分数均小于0.1%,而石墨坩埚熔炼的合金碳质量分数为0.417%。BaZrO3坩埚熔炼后的合金完全由等轴晶构成,而石墨坩埚熔炼后的合金则由等轴晶组织和在晶粒内或沿晶界分布的球形TiC颗粒组成。BaZrO3坩埚所熔炼的合金不仅最大吸氢量比石墨坩埚熔炼的合金的最大吸氢量大,而且吸放氢平台压力也低。

关键词： TiFe合金储氢性能 BaZrO3坩埚真空感应熔炼增碳

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基于单端QD-SOA波长转换增益恢复特性研究

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激光技术 2016年第5期40卷 742-745页

作者：崔乐乐王海龙李雯张国龚谦曲阜师范大学物理工程学院曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

为了对单端量子点半导体光放大器(QD-SOA)全光波长转换器的增益恢复特性进行系统分析,采用分段法和4阶龙格-库塔法,利用单端QD-SOA的交叉增益调制效应的全光波长转换原理分别求解速率方程和光场方程,分析了注入电流、后端面反射率以及... 详细信息

为了对单端量子点半导体光放大器(QD-SOA)全光波长转换器的增益恢复特性进行系统分析,采用分段法和4阶龙格-库塔法,利用单端QD-SOA的交叉增益调制效应的全光波长转换原理分别求解速率方程和光场方程,分析了注入电流、后端面反射率以及最大模式增益等变化时对单端QD-SOA全光波长转换器增益恢复时间的影响。结果表明,当增大注入电流和后端面反射率、减小最大模式增益时,均可以减小增益恢复时间,进而可以通过优化上述参量改善单端QD-SOA的增益恢复特性。

关键词：光通信量子点半导体光放大器波长转换交叉增益调制增益恢复时间

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基于量子点光放大器波长转换的啁啾特性研究

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激光技术 2016年第2期40卷 292-295页

作者：陈廷廷王海龙刘松龚谦曲阜师范大学物理工程学院曲阜273165 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

信号光的啁啾特性在很大程度上会影响量子点半导体光放大器(QD-SOA)的性能,引起传输信号的走离效应,使误比特率增高。为了改善这一特性,对QD-SOA全光波长转换器的啁啾特性进行了系统分析,基于QD-SOA的交叉增益调制效应的全光波长转换原... 详细信息

信号光的啁啾特性在很大程度上会影响量子点半导体光放大器(QD-SOA)的性能,引起传输信号的走离效应,使误比特率增高。为了改善这一特性,对QD-SOA全光波长转换器的啁啾特性进行了系统分析,基于QD-SOA的交叉增益调制效应的全光波长转换原理,采用牛顿法和4阶龙格-库塔法求解速率方程和光场传输方程,计算了注入电流、抽运光脉宽和抽运光消光比变化时QD-SOA全光波长转换器输出变换光的啁啾值。结果表明,增大抽运光脉宽、减小注入电流和抽运光消光比均可减小变换光的啁啾值,通过优化这些参量可以减小啁啾的影响,但在设计QD-SOA全光波长转换器时,要考虑抽运光消光比和变换光啁啾之间的均衡。

关键词：光通信量子点光放大器啁啾交叉增益调制

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单壁碳纳米管的肺毒性及氧化应激机制

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第二军医大学学报 2016年第7期37卷 815-820页

作者：吕高建汤莹沈亚峰雷长海赵文茹陈新杨勇骥华东理工大学材料科学与工程学院超细材料制备与应用教育部重点实验室上海200237 第二军医大学基础部生物物理学教研室上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

目的研究单壁碳纳米管(single-wall carbon nanotubes,SWCNTs)的肺毒性,并探讨其毒性机制,为安全生产和应用SWCNTs提供实验依据。方法 A549细胞用质量浓度为0、25、50、100、150、200μg/mL的SWCNTs溶液孵育24h,用CCK-8和乳酸脱氢酶(lac... 详细信息

目的研究单壁碳纳米管(single-wall carbon nanotubes,SWCNTs)的肺毒性,并探讨其毒性机制,为安全生产和应用SWCNTs提供实验依据。方法 A549细胞用质量浓度为0、25、50、100、150、200μg/mL的SWCNTs溶液孵育24h,用CCK-8和乳酸脱氢酶(lactate dehydrogenase,LDH)试剂盒分别检测SWCNTs对A549细胞活性和细胞膜的影响,Hoechst33342和PI荧光双染法检测细胞死亡情况,透射电镜(TEM)观察细胞超微结构变化,并检测细胞内活性氧(reactive oxygen species,ROS)水平、谷胱甘肽(glutathione,GSH)浓度和超氧化物歧化酶(superoxide dismutase,SOD)活力以评估氧化应激情况。分别将0.5mg/mL和1mg/mL的SWCNTs溶液通过气管灌流的方法使大鼠肺部染毒,3d后取大鼠肺脏,常规H-E染色,检测肺组织病理学变化。结果 SWCNTs对A549细胞表现出明显毒性,使细胞活性降低,死亡细胞增多,细胞膜和细胞结构损伤严重,细胞内ROS水平升高,GSH浓度和SOD活力降低。体内毒性检测结果表明SWCNTs在大鼠肺组织内积累,造成肺泡壁水肿增厚。结论体外细胞毒性检测和动物毒性检测结果表明SWCNTs具有较大的肺毒性,其主要毒性机制是氧化应激反应。

关键词：单壁碳纳米管肺毒性氧化性应激氧化还原平衡

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Sr掺杂的拓扑绝缘体Bi2Se3中超导与微观结构之间的关系研究

Sr掺杂的拓扑绝缘体Bi2Se3中超导与微观结构之间的关系研究

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第十四届全国超导学术研讨会

作者：王梦李卓君张德炯韩超群刘文晶乔山钱冬高春雷徐贲田鹤高波超导电子学卓越创新中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 硅材料国家重点实验室电镜中心浙江大学材料学院杭州310027 人工结构及量子调控重点实验室上海交通大学物理与天文系上海200240 复旦大学物理系上海清华大学北京

通过掺杂的方法在拓扑绝缘体中诱导出超导，是实现拓扑超导电性和寻找神秘的Majorana 费米子的一种重要可能途径，然而其超导机理目前尚无定论。我们试图通过对掺杂原子的占位分析，从微观机构上提供一个新的理解思路。

关键词：

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基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器

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光电子．激光 2015年第3期26卷 414-421页

作者：王小伟钟少龙徐静吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院上海200050

提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加... 详细信息

提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明,本光纤加速度传感器灵敏度为164mV/g,3dB带宽的截止频率为1 600Hz。

关键词：微机电系统(MEMS) 加速度传感器水平轴加速度传感器光纤加速度传感器

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ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响

ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响

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第十五届全国固体薄膜学术会议

作者：李静杰程新红郑理沈玲燕王谦张栋梁钱茹俞跃辉中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京 101407 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能国家重点实验室上海200050

本文采用SF6和O2两种不同的气体对SiC进行ICP沟槽刻蚀,当O2的流量增加时,O2和F离子会与C生成易挥发的CO,CO2和COF2,进而增加了SiC的刻蚀速率(如图1所示)。

关键词： SiC刻蚀表面粗糙度刻蚀选择比微沟槽效

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