检索结果-内蒙古大学图书馆

电化学 2015年第2期21卷 167-171页

作者：杜晓薇成霁郭慧金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

本文使用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)石墨烯制作了高灵敏度、低噪声的液栅型石墨烯场效应管(Solution-Gated Graphene Field Effect Transistors,SGFETs),并测试了该器件对磷酸盐缓冲液(Phosphate Buffered Saline,PBS)浓度和p H的响应特性.随缓冲液浓度的增大,SGFETs转移特性曲线的最小电导点向左偏移,偏移量与溶液浓度的自然对数呈线性关系.随p H的增大,其最小电导点向右偏移,偏移量与溶液p H呈线性关系.该响应特性对石墨烯生化传感器排除外界影响因素有一定的指导作用.

关键词：化学气相沉积石墨烯液栅型石墨烯场效应管缓冲液浓度和pH

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低温超导全张量磁梯度计不平衡度补偿研究

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低温物理学报 2015年第3期37卷 169-173页

作者：汪瀛邱隆清侍文蒋坤荣亮亮孔祥燕中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

超导全张量磁梯度仪因其信息量丰富、磁场灵敏度高、体积小等特点,被认为是第三代航磁探测的发展方向.全张量梯度仪可由多个不共面的平面一阶超导量子干涉器件（SQUID）梯度计构成.目前,采用微纳加工工艺制备的超导平面梯度计能获得最... 详细信息

超导全张量磁梯度仪因其信息量丰富、磁场灵敏度高、体积小等特点,被认为是第三代航磁探测的发展方向.全张量梯度仪可由多个不共面的平面一阶超导量子干涉器件（SQUID）梯度计构成.目前,采用微纳加工工艺制备的超导平面梯度计能获得最好的平衡度,其共模抑制比可达103;04,但仍然不能满足运动条件下的应用需求.在实际应用中,可采用三轴SQUID磁强计对梯度计进行补偿,达到抑制运动噪声的目的.本文基于最小二乘（LMS）自适应滤波算法,通过数值仿真分析了平面梯度计的不平衡度、环境磁场大小以及环境剩余磁梯度对补偿效果的影响.同时,我们构建了六棱锥构型的全张量超导梯度仪,并采用三轴磁强计作为补偿通道,在野外均匀地球磁场下进行了测试.结果表明,该补偿方法能够大幅减小均匀磁场下的梯度计的不平衡输出,可以将梯度值补偿约2个数量级,极大提高了超导全张量磁梯度仪在运动状态下的实用性.

关键词： SQUID平面梯度计全张量磁梯度不平衡度补偿

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化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

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中国化学会第30届学术年会

作者：王丽丽庄新港陈琦吴雪原方家熊山东大学光学高等研究中心山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 山东大学光学高等研究中心山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 山东大学信息科学与工程学院山东济南250100 国家茶叶及农产品检测重点实验室(黄山) 安徽黄山245000

基于化学计量学方法和新型探测器的快速发展，近红外光谱分析技术被广泛的应用工农业生产、环境保护及安全等领域，为物体成分的快速无损检测提供了基础。

关键词：化学计量学近红外光谱

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基于(111)硅单片集成三轴加速度计的工艺研究

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微纳电子技术 2015年第6期52卷 390-395页

作者：赵忆王家畴陈方李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而且成本低廉,成品率高,适用于批量生产,可替代传统的SOI工艺。该方法主要利用硅深度反应离子刻蚀(DRIE)技... 详细信息

介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而且成本低廉,成品率高,适用于批量生产,可替代传统的SOI工艺。该方法主要利用硅深度反应离子刻蚀(DRIE)技术结合普通(111)单晶硅片内部可选择性横向自停止腐蚀技术制作并释放得到悬浮可动的敏感结构。此外,创新的锚点设计不仅使检测电极之间相互电学隔离,而且便于引线键合与封装。最后基于开环接口电路对加工制造的三轴加速度计进行了测试,验证了该工艺的可行性。

关键词：微机电系统(MEMS) (111)硅单硅片单面加工三轴加速度计单片集成

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超短沟道绝缘层上硅平面场效应晶体管中热载流子注入应力导致的退化对沟道长度的依赖性

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物理学报 2015年第16期64卷 384-390页

作者：刘畅卢继武吴汪然唐晓雨张睿俞文杰王曦赵毅南京大学电子科学与工程学院南京210093 浙江大学信息与电子工程学系杭州310027 中国科学院上海信息技术与微系统研究所上海200050 浙江大学硅材料国家重点实验室杭州310027

随着场效应晶体管(MOSFET)器件尺寸的进一步缩小和器件新结构的引入,学术界和工业界对器件中热载流子注入(hot carrier injections,HCI)所引起的可靠性问题日益关注.本文研究了超短沟道长度(L=30—150 nm)绝缘层上硅(silicon on insulat... 详细信息

随着场效应晶体管(MOSFET)器件尺寸的进一步缩小和器件新结构的引入,学术界和工业界对器件中热载流子注入(hot carrier injections,HCI)所引起的可靠性问题日益关注.本文研究了超短沟道长度(L=30—150 nm)绝缘层上硅(silicon on insulator,SOI)场效应晶体管在HCI应力下的电学性能退化机理.研究结果表明,在超短沟道情况下,HCI应力导致的退化随着沟道长度变小而减轻.通过研究不同栅长器件的恢复特性可以看出,该现象是由于随着沟道长度的减小,HCI应力下偏压温度不稳定性效应所占比例变大而导致的.此外,本文关于SOI器件中HCI应力导致的退化和器件栅长关系的结果与最近报道的鳍式场效晶体管(Fin FET)中的结果相反.因此,在超短沟道情况下,SOI平面MOSFET器件有可能具有比Fin FET器件更好的HCI可靠性.

关键词：绝缘层上硅场效应晶体管热载流子注入沟道长度

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基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统

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仪表技术与传感器 2015年第12期 11-14页

作者：任艳波于海涛赵伟刘民李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过... 详细信息

为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过在软件部分设计的锁相跟踪算法,使锁相更具针对性,锁相过程更快更准。采用该系统制作了便携式气体传感器样机,并对二氧化碳气体进行了实测,验证了该系统具有快速的频率跟踪能力和良好的频率稳定性。

关键词：谐振式微悬臂梁传感器接口电路 LabVIEW 自适应软件锁相环扫频锁相跟踪

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化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

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中国化学会第30届学术年会-第二十五分会：化学信息学与化学计量学

作者：王丽丽庄新港陈琦吴雪原方家熊山东大学光学高等研究中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室山东大学信息科学与工程学院国家茶叶及农产品检测重点实验室(黄山)

基于化学计量学方法和新型探测器的快速发展,近红外光谱分析技术被广泛的应用工农业生产、环境保护及安全等领域,为物体成分的快速无损检测提供了基础。本文采用化学计量学算法结合近红外光谱分析实验,深入开展了近红外光谱检测技术的... 详细信息

基于化学计量学方法和新型探测器的快速发展,近红外光谱分析技术被广泛的应用工农业生产、环境保护及安全等领域,为物体成分的快速无损检测提供了基础。本文采用化学计量学算法结合近红外光谱分析实验,深入开展了近红外光谱检测技术的基础研究,建立定性及定量模型来确定检测对象的近红外光谱特征波段,找出以无损方式实时、快速检测的优选方法,从而避免使用复杂的宽光谱感知功能,为发展新型的专用近红外光谱检测设备提供一定的设计基础。对平滑处理、一阶微分和二阶微分等光谱预处理方法进行了系统的比较研究,并采用BP神经网络(BP-ANN)及偏最小二乘(PLS)等算法进行特征变量提取,模型的鉴别准确率达到了98%以上。

关键词：化学计量学近红外光谱

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石墨烯异质结构中莫尔超晶格对摩擦行为的调控

石墨烯异质结构中莫尔超晶格对摩擦行为的调控

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第十四届全国物理力学学术会议

作者：姚泉舟张帅郑晓虎高磊狄增峰马天宝李群仰清华大学航天航空学院应用力学教育部重点实验室微纳米力学与多学科交叉创新研究中心清华大学摩擦学国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

对于厚度仅有若干个原子层的二维材料,如石墨烯、MoS、h-BN等,其表面的摩擦行为容易受到基底的影响,从而展现出许多与块体材料不同的特性。我们对石墨烯/Ge（111）异质结构进行了研究,发现:通过改变石墨烯与Ge（111）基底的品格匹配角度... 详细信息

对于厚度仅有若干个原子层的二维材料,如石墨烯、MoS、h-BN等,其表面的摩擦行为容易受到基底的影响,从而展现出许多与块体材料不同的特性。我们对石墨烯/Ge（111）异质结构进行了研究,发现:通过改变石墨烯与Ge（111）基底的品格匹配角度,可以形成不同的莫尔云纹超品格结构,从而实现调控石墨烯表面摩擦过程中的能量耗散行为。实验结果还显示,莫尔云纹超

关键词：异质结构石墨烯摩擦行为

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无人机平台航空超导磁测系统与室内测试

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低温物理学报 2015年第4期37卷 267-270页

作者：常凯伍俊蒋坤侍文王会武荣亮亮孔祥燕谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中科院上海微系统所-吉林大学“地球物理探测技术”联合实验室中国科学院大学

基于无人机平台的超导航磁测量安全高效,灵敏度高且信息量丰富,探测优势明显.本文研发了一种基于低温超导的固定翼无人机平台的磁测系统,该系统可实现地磁场的垂直三分量磁场同步测量.系统磁场测量噪声水平0.3pT/Hz@1kHz,量程>60μT... 详细信息

基于无人机平台的超导航磁测量安全高效,灵敏度高且信息量丰富,探测优势明显.本文研发了一种基于低温超导的固定翼无人机平台的磁测系统,该系统可实现地磁场的垂直三分量磁场同步测量.系统磁场测量噪声水平0.3pT/Hz@1kHz,量程>60μT,采样率为1024Hz,重15kg.基于该系统初步开展了室内运动测试,实验结果表明该系统可实现运动平台三轴磁测量,适用于无人机航磁平台.

关键词：低温SQUID 物探应用固定翼无人机动态范围

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灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计

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激光与红外 2015年第2期45卷 158-162页

作者：周玉修程融刘坚强曾玮孙光厚李铁九江学院理学院江西九江332005 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏... 详细信息

设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度,使其可在2.36×10-6rad·m2·W-1和9.21×10-6rad·m2·W-1之间变化。ANSYS仿真结果和理论结果吻合较好,验证了设计的正确性。

关键词：成像系统非制冷红外热像元光学读出灵敏度响应时间

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