检索结果-内蒙古大学图书馆

AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： Parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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MEMS微陀螺仪研究进展

MEMS微陀螺仪研究进展

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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，... 详细信息

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，可以分为哥氏加速度效应微振动陀螺、流体陀螺、固体微陀螺、悬浮转子式微陀螺、微集成光学式陀螺以及原子陀螺。微振动陀螺仪是最早使用的微陀螺仪，也是目前市场上使用最多也相对比较成熟的陀螺仪。

关键词： MEMS 微陀螺仪零偏漂移角随机游走

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基于ARM和FPGA的微加速度计数据采集系统设计

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现代电子技术 2010年第2期33卷 25-27,30页

作者：秦奎张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

基于常用的MEMS惯性器件微型加速度计,介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的设计方案,微加速度计的模拟输出信号经A/D芯片转换后由FPGA进行处理和缓存,然后ARM接收FPGA的输出数据并对数据进行显示和存储,对如何用FPGA实现该数... 详细信息

基于常用的MEMS惯性器件微型加速度计,介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的设计方案,微加速度计的模拟输出信号经A/D芯片转换后由FPGA进行处理和缓存,然后ARM接收FPGA的输出数据并对数据进行显示和存储,对如何用FPGA实现该数据采集系统的传输控制和数据缓存,以及FPGA与A/D转换芯片和ARM的接口设计给出了说明,实现了加速度数值的采集、传输、显示和存储,该方法配置灵活、通用性强,可以较好地移植到相关器件的数据采集系统中。

关键词：数据采集微加速度计 FPGA ARM TLC0820

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静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计

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现代电子技术 2010年第18期33卷 110-113页

作者：覃贞妮刘武陈文元崔峰张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DD... 详细信息

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DDS信号发生器,并分别采用并行和串行2种方式加载芯片控制字,均可生成多路频率相位可调的信号发生器,具有频率稳定性好,频率准确度高及频率分辨率高,相位差精准的特点。

关键词：信号发生器 DDS 同步并行加载串行加载

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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院南昌330099 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌大学机电工程学院南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题，为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT厚膜湿法化学刻蚀振动

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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：邱可可刘景全芮岳峰杨春生王宇娟李克勇上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学附属第一人民医院上海200080

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激... 详细信息

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极，微加工工艺包括溅射金属层以及CVD(化学气相沉积)绝缘层parylene(聚对二甲苯).Parylene作为电极间的绝缘材料，具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度.通过连接电针灸仪，在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激.

关键词：电针灸异步多通路电针 CVD parylene

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利用声表面波实现液体的二维驱动(英文)

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光学精密工程 2009年第7期17卷 1548-1552页

作者：高阳李以贵张俊峰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400μm,宽度为100μm,孔径为12mm,整个器件的尺寸为26mm×26mm×0.45mm。... 详细信息

报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400μm,宽度为100μm,孔径为12mm,整个器件的尺寸为26mm×26mm×0.45mm。由于铌酸锂晶体的各向异性,叉指换能器沿Y、X方向的谐振频率不同,分别为9.3MHz和9.6MHz。基于铜材料相对于铝材料的优点,选用了铜材料并采用剥离工艺制作了电极,得到了优化的工艺参数。最后,用了超长时间超声波辅助方法彻底去除残胶,实现了对水滴的二维驱动,输入功率为9W,液滴运动的平均速率为5mm/s。利用ANSYS软件分析了声表面波在铌酸锂衬底内的传播,内部振动的模拟结果与理论分析一致。实验表明,利用声表面波实现液体的二维驱动是可行的,该液体驱动原型可用于片上系统和μ-TAS。

关键词：液体驱动声表面波剥离工艺有限元分析(FEA)

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用于微机电系统的微型带阻滤波器(英文)

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光学精密工程 2009年第6期17卷 1244-1250页

作者：黄闯陈迪陈翔刘景全朱军魏雯婕魏泽勇李宏强上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 同济大学物理系上海200092

为了实现微机电系统微波信号滤波,开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器,对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究。根据左手材料理论,介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构。以蛇形槽结构的一个单元为... 详细信息

为了实现微机电系统微波信号滤波,开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器,对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究。根据左手材料理论,介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构。以蛇形槽结构的一个单元为例,对比传统插指电容左手单元结构,提取了蛇形槽的等效电路,并分析了蛇形槽结构单元的优点,即在相同的面积内,可以获得更大的等效电路参数。最后,结合溅射、光刻、电铸、刻蚀等MEMS技术,设计了器件的加工工艺。使用MEMS工艺,加工了主体尺寸5mm×7mm的器件。相移常数的仿真和实验结果表明,在高频带部分(2.1～5.2GHz)的相移常数为负(左手区) ,相速度与群速度方向相反,左手区的相对带宽为82.7%。结果显示,与其他设计相比,本文设计的器件尺寸小,左手区的相对带宽大。

关键词：微机电系统左右手复合传输线带阻滤波器左手材料

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通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关

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振动与冲击 2009年第7期28卷 147-152页

作者：蔡豪刚丁桂甫杨卓青周镇威汪红上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进... 详细信息

基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进行模态分析,考察了器件的横向抗干扰能力;并提取了器件的物理参数(如弹簧弹性系数和系统有效质量),以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理,并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试,加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度,测得其阈值约为145g,并且接触时间可稳定在50μs以上。测试结果与仿真符合较好,证明了新型设计可以有效地增强接触效果,所建模型可以较准确地描述器件的动态响应。

关键词：微冲击开关微机电系统可动触点接触时间

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蓝钨与紫钨氢还原法生产超细钨粉的比较

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稀有金属材料与工程 2009年第A01期38卷 548-552页

作者：王岗李海华黄忠伟陈美华王庆康钟伟良上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海伟良企业发展有限公司上海201815

在相同的工艺条件下,比较了蓝钨与紫钨氢还原法生产的钨粉的性能差别。结果表明:与蓝钨相比,紫钨生产的钨粉粒度更细更均匀,并且钨粉粒度受装舟量和氢气流量的影响较小。并从原料的微观结构和氢还原机理两方面分析了造成不同原料生产的... 详细信息

在相同的工艺条件下,比较了蓝钨与紫钨氢还原法生产的钨粉的性能差别。结果表明:与蓝钨相比,紫钨生产的钨粉粒度更细更均匀,并且钨粉粒度受装舟量和氢气流量的影响较小。并从原料的微观结构和氢还原机理两方面分析了造成不同原料生产的钨粉粒度和均匀性差别的原因。

关键词：氧化钨氢还原超细钨粉

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