检索结果-内蒙古大学图书馆

2007两岸三地博士生NBIC学术论坛

作者：吴义伯倪鹤南卢蔚君徐爱兰惠春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率... 详细信息

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率变化成正比。这种检测方法操作简单、快速,具有明显的灵敏性和选择性。

关键词：生物传感器磁微球谐振式癌细胞检测

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PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

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第六届中国纳米科技西安研讨会

作者：倪鹤南惠春徐爱兰李敏上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄... 详细信息

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,具有较好的表面质量;电学性能测试结果表明,520nm的PZT薄膜的漏电流为0.64nA,是670nm的PZT薄膜的1/1000,且铁电性能优良.

关键词：纳米材料 PZT压电薄膜溶胶-凝胶法微观结构表面形貌电学性能

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NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会

作者：牛永波冯洁上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待... 详细信息

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待测生物分子的标记物,借助 GMR 传感器来检测磁微球发出的微小磁场,以此达到定性及定量检测被标记生物分子的目的。要在生物传感器中得到应用,对 GMR 材料通常有如下的特性要求：低场下取得大的 GMR 效应, 饱和场低,磁滞小等。针对以上的要求,我们采用直流磁控溅射法,制备了 NiFeCo/Cu 多层膜,其具体结构如下：NiFeCo（缓冲层）/[NiFeCo/Cu]× /NiFeCo/Ta。研究了室温下 NiFeCo/Cu 多层膜的 GMR 效应对缓冲层（NiFeCo）厚度、间隔层（Cu）厚度、以及铁磁层（NiFeCo）厚度等三个参数的依赖关系。通过优化制备条件,得到了最大 GMR 值为8．8％,且饱和场较低、磁滞小的多层膜样品,其各结构参数为：缓冲层（NiFeCo）5nm,间隔层（Cu）2．4nm,铁磁层（NiFeCo）1．6nm。本研究还对部分多层膜样品进行了真空下的磁场退火处理, 并对比了退火前后的 GMR 特性,结果表明：一定条件下的退火处理可以降低磁滞,改善多层膜样品的特性,但是退火后样品的饱和场增大,而且部分样品在退火后,磁场灵敏度也会降低。因此我们认为：对于本研究所制备的多层膜,可以不进行退火处理。本研究所制备的沉积态 NiFeCo/Cu多层膜的 GMR 特性符合磁性生物传感器的应用要求。

关键词：多层膜 GMR 生物分子巨磁电阻 NiFeCo/Cu

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基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

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2007年上海市电子电镀学术年会

作者：杨卓青丁(火圭)甫蔡豪刚赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后... 详细信息

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后发现,封装壳内没有任何灌封聚合物残留,证实了设计并制作的封装壳完全满足器件实际工作要求。

关键词： UV-LIGA 工艺封装落锤实验

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基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

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微细加工技术 2007年第1期 46-50页

作者：潘欣欣陈翔陈迪庄贵生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙... 详细信息

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。

关键词： PDMS 模具热模压微流控

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人造视网膜生物电极阵列研究

人造视网膜生物电极阵列研究

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2007中国生物医学工程联合学术年会

作者：刘舒维陈迪张保增陈翔刘景全朱军柴新禹任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而... 详细信息

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而且无毒,对器件也无损害。

关键词：生物电极生物兼容性 MEMS技术

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一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制

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上海交通大学学报 2006年第11期40卷 1947-1950,1954页

作者：付世丁桂甫王艳上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器... 详细信息

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.

关键词：微机电系统电磁微继电器双稳态

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胶体金标记免疫凝集光度法检测癌胚抗原

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上海交通大学学报 2006年第8期40卷 1448-1451页

作者：敖丽梅高峰潘碧峰崔大祥贺蓉上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而... 详细信息

利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系光学性质的改变.随着癌胚抗原量的增加,抗原与胶体金粒子标记抗体的反应量不断增加,网络结构也越来越大,使得胶体金粒子在646 nm处的吸收值不断增加.根据胶体金吸光值的变化,检测溶液中癌胚抗原的浓度,最低检测极限为15μg/L.该方法只需要测量胶体金光吸收值的变化,就可以检测癌胚抗原在溶液中的浓度,快速、简便,不需要昂贵的仪器设备,易于推广使用.

关键词：胶体金免疫分析癌胚抗原

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量子点标记链霉亲和素及其生物活性检测

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分析化学 2006年第11期34卷 1625-1628页

作者：邵君尤晓刚高峰贺蓉崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

选用无机盐为前驱体,在水相中合成CdTe量子点,并用此量子点标记链霉亲和素,通过SephadexG-100层析分离纯化量子点标记的链霉亲和素,采用磁颗粒标记的链霉亲和素与量子点标记的链霉亲和素竞争结合辣根过氧化酶标记的生物素,即酶联免疫竞... 详细信息

选用无机盐为前驱体,在水相中合成CdTe量子点,并用此量子点标记链霉亲和素,通过SephadexG-100层析分离纯化量子点标记的链霉亲和素,采用磁颗粒标记的链霉亲和素与量子点标记的链霉亲和素竞争结合辣根过氧化酶标记的生物素,即酶联免疫竞争抑制分析法检测链霉亲和素标记量子点后的生物活性,计算约70.3%的链霉亲和素标记到量子点上,且具有生物活性。每毫克量子点大约可偶联0.14 mg的链霉亲和素。采用荧光光谱研究量子点标记前后的荧光变化,标记后量子点的最大发射波长蓝移了8 nm,而发射光谱的半峰宽基本不变,说明量子点与链霉亲和素结合后粒子没有团聚,分散性好。

关键词：量子点标记链霉亲和素竞争抑制反应

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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究

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压电与声光 2006年第3期28卷 321-324页

作者：余慧春惠春徐爱兰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 详细信息

考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构，AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹，平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0～9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流，在外加偏压为8．8V时，漏电流密度为2．9×10^-6A／cm^2。

关键词：溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺钛酸锶钡(BST)薄膜粒度分布漏电流铁电体

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