检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器技术 2005年第11期24卷 86-88页

作者：何志斌惠春徐爱兰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

为提高气体环境监测的可靠性和实时性,介绍了一种基于通用无线分组业务(GPRS)的远程气体环境参数监测系统。它由传感器模块、89C51为核心的信号处理模块以及GPRS模块组成。分析及试验结果表明:该系统的年发送成功率达到99.6%,相对误差小... 详细信息

为提高气体环境监测的可靠性和实时性,介绍了一种基于通用无线分组业务(GPRS)的远程气体环境参数监测系统。它由传感器模块、89C51为核心的信号处理模块以及GPRS模块组成。分析及试验结果表明:该系统的年发送成功率达到99.6%,相对误差小于2%。

关键词：气体环境监测系统通用无线分组业务气体传感器信号处理

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紫外光照下ZnO基薄膜的光电和气敏特性研究

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电子元件与材料 2005年第4期24卷 13-15页

作者：刘宏伟孙建平惠春徐爱兰薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米技术研究院上海200030

用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜... 详细信息

用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜在不同浓度的CO气体下的敏感特性进行了研究,随着气体浓度的增加,薄膜电阻值逐渐减小;随着掺Al量的增大,气敏灵敏性先逐渐增大后减小,发现当铝含量为r(Al:ZnO)=0.5%时,对CO气体的灵敏度最大,并对紫外光照射下气敏半导体薄膜的气敏机理进行了简单分析。

关键词：电子技术氧化锌基薄膜溶胶-凝胶法紫外光气敏性能

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应用于音频放大器的多位Σ-Δ调制器的设计

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微型机与应用 2005年第9期24卷 24-26页

作者：张冲王森章王振林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为在低过采样率下设计出高性能的调制器,通过采用级间反馈和1位AD/DAC与多位AD/DAC的混合设计,降低多位DAC非线性化而带来的噪声,进一步改善输出信号的信噪比。提出了一种应用于数字音频放大器中的多位Σ-Δ调制器结构。

关键词： ∑-△调制器数模转换器信噪比过采样率数字音频放大器混合设计应用 DAC 非线性化输出信号

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一种新型的基于隧穿效应的表面传导电子发射显示器

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核技术 2005年第6期28卷 463-468页

作者：鲁扬张亚非何智慧练文柳上海交通大学微纳米研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳米研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030 湖南常徳卷烟厂技术中心常德415000

基于隧穿效应的表面传导电子发射显示器(SED,Surface-conduction electron-emitter display)是由佳能和松下公司最近开发出来的一种颇具发展潜力的新型显示器技术。本文介绍了SED的基本工作原理,讨论了涉及SED中电子行为的多重散射和惯... 详细信息

基于隧穿效应的表面传导电子发射显示器(SED,Surface-conduction electron-emitter display)是由佳能和松下公司最近开发出来的一种颇具发展潜力的新型显示器技术。本文介绍了SED的基本工作原理,讨论了涉及SED中电子行为的多重散射和惯性离心机理,简要回顾了显示器技术的现状,并将现存的几种主要的显示器技术同SED作了比较。

关键词：表面传导电子发射显示器(SED) 隧穿效应多重散射惯性离心力

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RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

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电子元件与材料 2005年第3期24卷 47-50页

作者：邵雯雯惠春徐爱兰薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后... 详细信息

桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压。

关键词：电子技术 RFMEMS开关桥膜驱动电压弹性系数

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BST薄膜铁电移相器研究进展

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电子元件与材料 2005年第3期24卷 59-62页

作者：余慧春徐爱兰惠春上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势。介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及BST薄膜铁电移相器的结构类型和研究进展。

关键词：微波技术钛酸锶钡薄膜铁电移相器综述介电性能

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UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

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中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：张晔陈迪张金娅朱军刘景全上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1。研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律。从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给... 详细信息

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1。研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律。从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶高深宽比微结构倒角

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细胞内磁热疗研究概述

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上海师范大学学报（自然科学版） 2005年第4期34卷 65-69页

作者：马勇杰古宏晨上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

热疗即加热疗法,是指通过升高肿瘤温度,利用热能杀灭癌细胞和肿瘤组织的一种物理疗法。通过在磁性纳米粒子表面进行各种修饰,提高磁性纳米粒子进入肿瘤细胞的效率及选择性,在体外交变磁场的作用下促使进入细胞内的纳米磁性粒子产热而杀... 详细信息

热疗即加热疗法,是指通过升高肿瘤温度,利用热能杀灭癌细胞和肿瘤组织的一种物理疗法。通过在磁性纳米粒子表面进行各种修饰,提高磁性纳米粒子进入肿瘤细胞的效率及选择性,在体外交变磁场的作用下促使进入细胞内的纳米磁性粒子产热而杀伤肿瘤细胞,这种方法称为细胞内磁热疗。作者就肿瘤细胞内磁热疗的研究进展作一综述。

关键词：细胞内磁热疗内吞作用纳米磁性粒子磁流体磁性脂质体

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曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构应力阻抗效应研究

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功能材料与器件学报 2005年第4期11卷 419-422页

作者：陈吉安茅昕辉赵晓昱丁文曹莹周勇上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海工程技术大学汽车工程学院上海200336

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1～40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm... 详细信息

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1～40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm、外加电场频率为25MHz时,应力阻抗效应达到-18.3%,在力敏传感器方面具有广阔的应用前景.

关键词：应力阻抗 FeSiB/Cu/FeSiB三层膜磁控溅射曲折状

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毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

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中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：陈佳品李振波唐晓宁薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微... 详细信息

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩。由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件。通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°。微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0～0.3mm。微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm。

关键词：毫米级全方位移动机器人微装配

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