检索结果-内蒙古大学图书馆

新技术新工艺 2005年第5期 20-22页

作者：姜勇陈文元张卫平李胜勇上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室 200030

姜勇陈文元张卫平李胜勇微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置,其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发,研究了UQS的特性,得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码,使用MEMS加工技术,“一体化”加工完成了基于UQS技... 详细信息

姜勇陈文元张卫平李胜勇微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置,其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发,研究了UQS的特性,得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码,使用MEMS加工技术,“一体化”加工完成了基于UQS技术的齿轮鉴码机构。此齿轮鉴码机构对微机械密码锁的推广应用具有重要的意义。

关键词： UQS 微机械密码锁鉴码机构 MEMS

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不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响

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纳米科技 2005年第6期2卷 35-38页

作者：李敏惠春汪静上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对... 详细信息

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对于常规晶化处理方式，快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀，排布有序，可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明，这种表面形貌可以有效地降低漏电流。

关键词： PZT薄膜 XRD AFM 漏电流溶胶-凝胶

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夹心结构FeNi/Cu／FeNi多层膜巨磁阻抗效应的研究

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信息记录材料 2005年第4期6卷 37-40页

作者：商干兵高孝裕余先育曹莹丁文周志敏周勇上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁... 详细信息

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁场的增加而下降到负的巨磁阻抗效应。在频率为5MHz时,巨磁阻抗效应在磁场Hext=800A/m时达到最大值25．2％;在磁场Hext=9600A／m时,巨磁阻抗效应为-7．3％。巨磁阻抗效应的最大值及负的巨磁阻抗效应与多层膜中磁各向异性轴的取向及发散有关。另外,当磁场施加在薄膜的短方向时,薄膜表现出负的巨磁阻抗效应,在频率5MHz、磁场Hext=9600A/m时,巨磁阻抗效应可达-19．3％。

关键词：巨磁阻抗效应夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术.

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电沉积在MEMS加工技术中的应用

电沉积在MEMS加工技术中的应用

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2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

作者：丁桂甫汪红戴旭涵赵小林姚锦元张丛春微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

在非硅材料三维微加工技术中,基于电化学原理的微加工工艺发挥着关键作用,高深宽比微结构一次性微电铸成型和复杂金属微结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维微结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加... 详细信息

在非硅材料三维微加工技术中,基于电化学原理的微加工工艺发挥着关键作用,高深宽比微结构一次性微电铸成型和复杂金属微结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维微结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加工的目的。

关键词：微加工技术电沉积微电铸技术高深宽比电化学微加工微加工工艺复制工艺金属微结构硅基表面硅基薄膜

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PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究

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微细加工技术 2005年第4期 48-51页

作者：方华斌刘景全徐峥谊王莉陈迪蔡炳初刘悦上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 美国Honeywell公司上海传感器实验室上海200030

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ... 详细信息

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础。

关键词：拾振器 PZT厚膜 Pt/Ti电极湿法化学刻蚀干法刻蚀

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钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

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2005年上海市颗粒学会年会

作者：徐宏黄伟程存康古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯... 详细信息

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯缩聚的催化作用,结果发现相比传统的锑系催化剂,乙二醇钛催化活性高且无环境污染.最后,以乙二醇钛作为原位生成纳米TiO2的前驱体并将其与聚酯进行原位功能复合,成功制备了真正纳米尺度分散与复合的纳米TiO2/PET复合材料,复合材料的力学性能与抗紫外线性能卓越.

关键词：纳米材料乙二醇钛化学合成

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MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

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2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

作者：汪红丁桂甫苏宇锋上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及... 详细信息

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及应力等性能的研究对比表明:从稀氯化物体系（200mT）中获得的 CoNiMnP永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=26230e,Br=0.2 T,（BH）max=10.15kJ/m,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的 Co（110）面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜一电镀技术已成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。

关键词： MEMS 微器件 CONiMnP 永磁体薄膜掩膜微电铸(镀) 磁性能

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基于声悬浮的非接触超声波电机

基于声悬浮的非接触超声波电机

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全国第三届超声波电机理论和应用技术研讨会

作者：杨斌刘景全陈迪蔡炳初微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院(上海)

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相... 详细信息

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相位呈正弦规律变化,改变相位差能够改变转子的转动方向,正反转时输出性能一致.

关键词：超声波电机非接触声悬浮声辐射压力

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射频磁控溅射法制备BST薄膜

射频磁控溅射法制备BST薄膜

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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会

作者：唐逸杨春生张丛春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

本文应用平板式射频磁控溅射设备制备出了良好介电性能的BST纳米薄膜,系统地研究了溅射过程中不同氧分压对沉积薄膜的化学成份、结晶性的影响。

关键词：纳米薄膜钛酸锶钡磁控溅射

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基于光刻胶回流特性的平面化工艺

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微细加工技术 2005年第4期 12-15,30页

作者：叶枝灿徐东王芸王莉吴茂松上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 霍尼韦尔上海传感器实验室上海200030

研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较... 详细信息

研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较好的回流工艺,即光刻胶90℃下60 min前烘后,并在90℃下回流60 min,不但能通过机械抛光准确控制减薄厚度,而且还可以完全除去其表面的磨痕,获得平滑的表面结构。

关键词：光刻胶回流平面化牺牲层

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