检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2008年第7期45卷 403-410,415页

作者：王亚军刘景全杨春生沈修成郭忠元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 详细信息

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。

关键词：聚对二甲苯微阀微泵微通道人工耳蜗视网膜假体微机电系统

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MHT算法及其在条件接收系统中的应用

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微处理机 2008年第5期29卷 118-121页

作者：郑妍芳上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

条件接收系统是一种通过对视频数据加扰以及对加扰算法所使用的密钥进行多重加密的综合性系统,可以满足视频数据的高安全性要求。但如今普遍采用的通用加扰算法结构复杂,成本较大。引入了一种全新的MHT(Multiple Huffman Tables)算法作... 详细信息

条件接收系统是一种通过对视频数据加扰以及对加扰算法所使用的密钥进行多重加密的综合性系统,可以满足视频数据的高安全性要求。但如今普遍采用的通用加扰算法结构复杂,成本较大。引入了一种全新的MHT(Multiple Huffman Tables)算法作为条件接收系统中的加扰算法,并研究了该算法的加密原理及实现方法。

关键词：条件接收系统霍夫曼编码多重霍夫曼编码表

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聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究

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微细加工技术 2008年第6期 19-21页

作者：王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工教育部重点实验室上海200240

首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适... 详细信息

首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变。

关键词：生物MEMS 微流体系统反应离子刻蚀 ParyleneC

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片上多机系统动态总线仲裁器设计与应用

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微处理机 2008年第6期29卷 2-4,8页

作者：王志涛王森章杨李贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机... 详细信息

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机的带宽比率,满足设计要求。

关键词：仲裁策略动态优先级带宽主器件

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一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

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微细加工技术 2008年第4期 62-64页

作者：刘瑞汪红丁桂甫李雪萍杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性。

关键词：微弹簧电铸 MEMS UV—LIGA

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铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究

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微细加工技术 2008年第5期 21-23页

作者：高阳李以贵张俊峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的... 详细信息

本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的铜叉指换能器的原子力显微镜轮廓。制造了声表面波驱动装置并得到了优化的制造参数。

关键词：驱动剥离工艺离子铣工艺

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MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟

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微细加工技术 2008年第5期 45-49页

作者：汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性... 详细信息

利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。

关键词：微电铸厚度均匀性 MEMS 有限元

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亚波长结构的抗反射特性三维TLM方法模拟

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光电子技术 2008年第1期28卷 50-54页

作者：刘汉玉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

传输线矩阵(Transmission line matrix,以下简称TLM)方法,根据场方程和传输线方程之间的相似性,用等效分布传输线网络模拟给定结构,在时间和空间上进行离散化,是一种强有力的三维时域电磁场数值仿真算法。简要介绍三维扩展型结点TLM方... 详细信息

传输线矩阵(Transmission line matrix,以下简称TLM)方法,根据场方程和传输线方程之间的相似性,用等效分布传输线网络模拟给定结构,在时间和空间上进行离散化,是一种强有力的三维时域电磁场数值仿真算法。简要介绍三维扩展型结点TLM方法的模型、激励源和边界条件,并使用该方法对亚波长结构的抗反射特性进行模拟研究,为进一步深入探讨该结构的抗反射特性、进行优化设计提供依据。

关键词：亚波长结构传输线矩阵方法传输线矩阵方法抗反射

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柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

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微纳电子技术 2008年第6期45卷 356-360页

作者：苏宇锋杨杰伟赵江铭刘武发陈文元郑州大学机电一体化研究所郑州450001 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家重点实验室上海200030

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采... 详细信息

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化,制作内嵌磁体阵列的硅橡胶膜,对磁体磁化后可作为双向驱动器。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,采用有限元分析工具ANSYS对微驱动器的电磁驱动力及其挠度进行分析,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%,其一阶固有频率的分析误差为16.1%。

关键词：微型驱动器电磁驱动硅橡胶数值模拟电镀

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柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

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微细加工技术 2008年第2期 43-47页

作者：吴义伯邢玉梅倪鹤南徐爱兰惠春任秋实李刚上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室上海200050

采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。

关键词：微电极阵列聚对二甲苯微加工工艺柔性基底视网膜修复

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