检索结果-内蒙古大学图书馆

微处理机 2007年第5期28卷 12-15页

作者：杨华峰陈文元黄得志张卫平吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯... 详细信息

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯片nRF2402和nRF2401实现无线收发以及采用带USB接口的单片机CY7C637xx搭建无线鼠标的原理和实现方案。

关键词： MEMS 加速度传感器单片机蓝牙 USB 鼠标

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Al_2O_3纳米线薄膜的制备及其生成机理研究

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电镀与精饰 2007年第5期29卷 1-5页

作者：杨卉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,... 详细信息

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。使用扫描电镜、高分辨透射电镜和X-射线能谱仪对纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析。并结合扫描电镜对不同反应时间长度的产物形貌来观察纳米线的生成过程。探讨了Al2O3纳米线薄膜的生成机理。

关键词：阳极氧化 Al2O3纳米线薄膜

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钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

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新技术新工艺 2007年第2期 74-76页

作者：姚锦元王裕超上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒... 详细信息

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒径金刚石薄膜细腻致密。硬度测试结果表明,金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1000以上,远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头。可纺性试验结果表明,其性能都达到或超过传统喷丝头,完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头。

关键词：金刚石薄膜热丝CVD 碳化钽喷丝头

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基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

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电子器件 2007年第5期30卷 1542-1546页

作者：王裕超丁桂甫吴惠箐汪红姚锦元杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电... 详细信息

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电接触性能,而利用MEMS工艺表面细微图形化加工后的微异型触点,比未经图形化加工的复合电镀层及纯铜触点具有更好耐电弧磨损性能.

关键词：电接触异型触点 MEMS 碳纳米管碳纳米纤维

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新型微通道散热器设计仿真

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电子器件 2007年第1期30卷 63-66,71页

作者：王艳丁桂甫张东梅顾东华上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 详细信息

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性.

关键词： MEMS器件微通道散热器有限元分析数值传热学

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一种新型的全局互连结构及其加工方法

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微细加工技术 2007年第6期 45-47页

作者：张丛春刘兴刚杨春生石金川上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

随着特征尺寸的缩小,互连成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素。为了降低互连延迟,提出了一种全新的全局互连结构,即利用掩膜电镀和CMP技术形成三维的铜互连结构,再利用牺牲层技术将三维结构镂空,得到悬空的全局互连结构。该... 详细信息

随着特征尺寸的缩小,互连成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素。为了降低互连延迟,提出了一种全新的全局互连结构,即利用掩膜电镀和CMP技术形成三维的铜互连结构,再利用牺牲层技术将三维结构镂空,得到悬空的全局互连结构。该结构可大大地降低全局互连对延迟的影响。

关键词：全局互连牺牲层镂空结构 CMP

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无线图像传输在微小系统中的应用

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微处理机 2007年第5期28卷 95-97页

作者：沈冲陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

给出了在一个微小系统中基于DMCU进行无线图像传输的方法。以DMCU芯片作为控制单元,由摄像头、LCD和无线收发模块三部分组成的无线图像传输系统。主要功能为摄像头采集图像,并通过无线模块传送到LCD上显示。着重对图像的传输进行了研究... 详细信息

给出了在一个微小系统中基于DMCU进行无线图像传输的方法。以DMCU芯片作为控制单元,由摄像头、LCD和无线收发模块三部分组成的无线图像传输系统。主要功能为摄像头采集图像,并通过无线模块传送到LCD上显示。着重对图像的传输进行了研究,设计了有效合理的编码方式,使得在传送大量数据时的误码率达到最小。给出了发送端和接收端的软件流程,实现了图像数据格式和无线传输数据格式之间的转换。

关键词： DMCU芯片无线图像传输微小系统 CMOS图像传感器

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波导型表面等离子体共振传感器传感特性计算

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微纳电子技术 2007年第12期44卷 1063-1067页

作者：吴斌王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长。通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体... 详细信息

介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长。通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体共振吸收峰的透射谱。通过比较不同折射率被测物的透射谱,粗略确定了集成波导型表面等离子体传感器的检测范围。

关键词：表面等离子体共振传感器理论模型共振波长透射谱

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PCR温度控制技术的研究进展

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测控技术 2007年第11期26卷 20-22,26页

作者：陈实张卫平陈文元邵诗逸牛志强上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统... 详细信息

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统,得到了令人满意的温度控制效果。

关键词：聚合酶链反应温度控制 PID 模糊逻辑

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碳纳米管在MEMS微电极中的应用研究

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微细加工技术 2007年第2期2卷 60-64页

作者：魏星侯中宇徐东张亚非蔡炳初上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空... 详细信息

采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空烘箱内加热至100℃,干燥1 h,最后350℃烧结40 min,所获得的碳纳米管薄膜具有较好的导电性和较平整的表面.根据测量结果,优化了工艺参数,并结合微细加工技术获得了碳纳米管MEMS微电极.

关键词：碳纳米管薄膜丝网印刷微电极 MEMS

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