检索结果-内蒙古大学图书馆

电镀与涂饰 2007年第8期26卷 7-9页

作者：汪红姚锦元戴旭涵王志民朱军赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

采用UV-LIGA技术和Ni–W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni–W沉积层。研究了热处理条件对低应力Ni–W电沉积层硬度的影响。考察了沉积态及热处理态的Ni–W层、Ni层的耐磨性。结果发现,热处理后Ni–W/Ni叠层微模具界面结合... 详细信息

采用UV-LIGA技术和Ni–W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni–W沉积层。研究了热处理条件对低应力Ni–W电沉积层硬度的影响。考察了沉积态及热处理态的Ni–W层、Ni层的耐磨性。结果发现,热处理后Ni–W/Ni叠层微模具界面结合良好,在干摩擦条件下,经过热处理的Ni–W层的耐磨性是Ni层的6倍;在550°C、2h真空热处理条件下,Ni–W电沉积层应力最低,为230MPa,硬度大于950HV。

关键词：微模具喷嘴电沉积 Ni-W合金 UV-LIGA(紫外-光刻、电铸、复写技术) 低应力耐磨性

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移动网格路由协议MMRP的研究与模拟

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微处理机 2007年第5期28卷 38-40,44页

作者：于慰李振波唐晓宁陈佳品薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验... 详细信息

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验结果表明:MMRP是一种健壮的、有效的移动Ad Hoc路由协议。

关键词： Ad Hoc网络 MMRP协议 UDP套接字周期性 LSP数据报

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NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会

作者：牛永波冯洁上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待... 详细信息

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待测生物分子的标记物,借助 GMR 传感器来检测磁微球发出的微小磁场,以此达到定性及定量检测被标记生物分子的目的。要在生物传感器中得到应用,对 GMR 材料通常有如下的特性要求：低场下取得大的 GMR 效应, 饱和场低,磁滞小等。针对以上的要求,我们采用直流磁控溅射法,制备了 NiFeCo/Cu 多层膜,其具体结构如下：NiFeCo（缓冲层）/[NiFeCo/Cu]× /NiFeCo/Ta。研究了室温下 NiFeCo/Cu 多层膜的 GMR 效应对缓冲层（NiFeCo）厚度、间隔层（Cu）厚度、以及铁磁层（NiFeCo）厚度等三个参数的依赖关系。通过优化制备条件,得到了最大 GMR 值为8．8％,且饱和场较低、磁滞小的多层膜样品,其各结构参数为：缓冲层（NiFeCo）5nm,间隔层（Cu）2．4nm,铁磁层（NiFeCo）1．6nm。本研究还对部分多层膜样品进行了真空下的磁场退火处理, 并对比了退火前后的 GMR 特性,结果表明：一定条件下的退火处理可以降低磁滞,改善多层膜样品的特性,但是退火后样品的饱和场增大,而且部分样品在退火后,磁场灵敏度也会降低。因此我们认为：对于本研究所制备的多层膜,可以不进行退火处理。本研究所制备的沉积态 NiFeCo/Cu多层膜的 GMR 特性符合磁性生物传感器的应用要求。

关键词：多层膜 GMR 生物分子巨磁电阻 NiFeCo/Cu

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一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

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2007两岸三地博士生NBIC学术论坛

作者：吴义伯倪鹤南卢蔚君徐爱兰惠春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率... 详细信息

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率变化成正比。这种检测方法操作简单、快速,具有明显的灵敏性和选择性。

关键词：生物传感器磁微球谐振式癌细胞检测

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PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

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第六届中国纳米科技西安研讨会

作者：倪鹤南惠春徐爱兰李敏上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄... 详细信息

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,具有较好的表面质量;电学性能测试结果表明,520nm的PZT薄膜的漏电流为0.64nA,是670nm的PZT薄膜的1/1000,且铁电性能优良.

关键词：纳米材料 PZT压电薄膜溶胶-凝胶法微观结构表面形貌电学性能

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基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

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2007年上海市电子电镀学术年会

作者：杨卓青丁(火圭)甫蔡豪刚赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后... 详细信息

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后发现,封装壳内没有任何灌封聚合物残留,证实了设计并制作的封装壳完全满足器件实际工作要求。

关键词： UV-LIGA 工艺封装落锤实验

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基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

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微细加工技术 2007年第1期 46-50页

作者：潘欣欣陈翔陈迪庄贵生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙... 详细信息

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。

关键词： PDMS 模具热模压微流控

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人造视网膜生物电极阵列研究

人造视网膜生物电极阵列研究

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2007中国生物医学工程联合学术年会

作者：刘舒维陈迪张保增陈翔刘景全朱军柴新禹任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而... 详细信息

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而且无毒,对器件也无损害。

关键词：生物电极生物兼容性 MEMS技术

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六棱柱单元周期纳米结构OLED光提取效率研究

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光电子．激光 2006年第2期17卷 165-170页

作者：阎荣金王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶... 详细信息

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶体平板(PCS)的OLED结构进行了数值模拟,并对提高束缚于高折射率材料中的光提取效率效果进行了分析,给出了优化的几何参数及最合理的基本结构,为高性能OLED结构的设计提供设计依据。

关键词：有机发光二极管(OLED) 光提取效率二维光子晶体平板(PCS)亚波长结构时域有限差分(FDTD)法

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SU-8光刻胶氧刻蚀的研究

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压电与声光 2006年第5期28卷 591-593页

作者：段炼朱军陈迪刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8微结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,... 详细信息

采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8微结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,在此基础上可进一步优化刻蚀工艺以获得更高的刻蚀速率。

关键词： SU-8光刻胶反应离子刻蚀(RIE) 氧气

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