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机构

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作者

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  • 291 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室"
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非硅表面微机械加工技术及其在微光机电系统中的应用
非硅表面微机械加工技术及其在微光机电系统中的应用
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中国光学学会2006年学术大会
作者： 戴旭涵 赵小林 丁桂甫 汪红 蔡炳初 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院
微光机电系统（MOEMS）技术的出现让人们看到了光学系统微型化的现实可行性。虽然硅为基础的MOEMS技术借助IC工业的技术积累而占据一定优势,但是,更多的器件需要基于非硅材料制造,并且材料的特性往往起决定性作用,非硅基表面微加工技术...
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金属基微型光纤定位夹及其在光电子器件封装耦合中的应用
金属基微型光纤定位夹及其在光电子器件封装耦合中的应用
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中国光学学会2006年学术大会
作者： 戴旭涵 赵小林 丁桂甫 汪红 蔡炳初 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院
目前,在光电子器件的封装耦合中,广泛运用了被动定位对准(passive alignment)技术,采用硅V型槽实现光纤与光纤、光纤与管芯的低成本、高精度对准。但如何在对准后将光纤固定在V型槽内仍然存在问题。
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阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究
阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究
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2006全国化工应用技术开发热点研讨会
作者： 杨卉 王庆康 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法.以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜.... 详细信息
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基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计
基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计
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2006年电子机械和微波结构工艺学术会议
作者： 左德参 冯敏华 彭松林 曹雯 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
介绍了一种基于8051内核的无线射频传输芯片nRF9E5,采用该芯片制作了扑翼微型飞行器的遥控系统,对遥控系统的收发装置进行了硬件设计,并对设计出的硬件系统进行了软件编程和系统的调试,实验表明,该系统具有成本少、功耗低、尺寸小的特点... 详细信息
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采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层
采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者： 顾盼 刘景全 陈迪 孙洪文 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.本文针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法... 详细信息
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三维微弹簧型MEMS探卡的设计和制备
三维微弹簧型MEMS探卡的设计和制备
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者： 靖向萌 陈迪 张晔 张保增 刘景全 陈翔 朱军 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
随着IC器件上的I/O尺寸减小和密度增加,与之通过接触来进行电性能测试的探卡密度也要相应增加,传统手工制作的环氧树脂针形探卡难以满足使用要求,使用MEMS技术制作探卡成为发展的趋势,但是当前MEMS探卡的主要问题是不能承受和产生破坏... 详细信息
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新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展
新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展
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2006年国防光学及光电子学学术研讨会暨中国兵工学会光学专业委员会成立25周年年会
作者： 刘汉玉 王庆康 上海交通大学 微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
介绍了新颖的纳米结构亚波长光学器件的特点,从器件的基本功能特性和工作机理两个方面详细讨论了其应用状况,并阐述了纳米制造技术对亚波长光学器件发展的重要推动作用及这一领域今后的研究热点。
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射频螺线管微电感的设计和仿真
射频螺线管微电感的设计和仿真
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者： 方东明 赵小林 王西宁 周勇 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
为了获得高性能MEMS螺线管微电感,本文考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.
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应用于集成光电子领域的先进散热器关键技术的研究
应用于集成光电子领域的先进散热器关键技术的研究
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第十届全国热管会议
作者： 戴旭涵 赵小林 丁桂甫 蔡炳初 薄膜与微细技术教育部重点实验室 微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030
本文将单晶硅片的湿法刻蚀工艺与微电铸掩膜制备技术及刻蚀液体系的研制相结合，为工业规模生产微通道散热器及微热管提供了一种实用的先进高技术工艺，所研制的样品，其肋片厚度、间隙均小于50微米，结构深宽比大于10;在硅硼玻璃上所... 详细信息
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适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备
适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备
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2006上海电子互联技术及材料国际论坛
作者： 汪红 丁桂甫 赵小林 姚锦元 朱军 王志民 上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030
以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 H... 详细信息
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