检索结果-内蒙古大学图书馆

微细加工技术 2005年第4期 69-75页

作者：张晔陈迪潘欣欣方华斌朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺... 详细信息

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺路线适用于对机械强度要求不高的各类多层微结构器件,一次电铸工艺路线适用于对机械强度要求较高的结构,其中溅射种子层工艺适用于深宽比较小的多层微结构模具,而直接电铸工艺适用于深宽比较大且层间直径相差较小的多层微结构器件。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶双层微齿轮

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FX2N可编程控制器温度检测与控制系统的设计

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微计算机信息 2005年第9S期21卷 61-63页

作者：陈远琪李胜勇赵堂忠张卫平广州白云山中药厂上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室中国网络通信集团公司湖北省分公司

本文介绍采用了一种FX2N可编程控制器对自动高速吸塑机发热砖模块进行温度检测与控制系统实现功能的设计。在温度控制输出过程中,采用PID控制器,对温度的采集数据进行计算,然后通过可编程控制器输出对发热砖模块间接控制,同时实现数字... 详细信息

本文介绍采用了一种FX2N可编程控制器对自动高速吸塑机发热砖模块进行温度检测与控制系统实现功能的设计。在温度控制输出过程中,采用PID控制器,对温度的采集数据进行计算,然后通过可编程控制器输出对发热砖模块间接控制,同时实现数字滤波、触发脉冲等功能。

关键词：可编程控制器温度检测控制 PID

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SU-8胶光刻工艺参数优化研究

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微细加工技术 2005年第3期 36-41,80页

作者：张晔陈迪张金娅倪智萍朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及... 详细信息

对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶高深宽比微结构

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不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响

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纳米科技 2005年第6期2卷 35-38页

作者：李敏惠春汪静上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对... 详细信息

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对于常规晶化处理方式，快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀，排布有序，可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明，这种表面形貌可以有效地降低漏电流。

关键词： PZT薄膜 XRD AFM 漏电流溶胶-凝胶

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碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试

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微细加工技术 2005年第2期 69-72页

作者：钱开友王芸叶枝灿颜丙勇徐东蔡炳初上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依... 详细信息

研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依据。最后对这种新型传感器的性能进行了测试,表明传感器的灵敏度为0.22μA/kPa(5kPa^101kPa)。

关键词：碳纳米管场发射压力传感器阳极变形膜计算机模拟

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RF溅射制备Ta_2O_5薄膜及其电学性能的研究

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真空电子技术 2005年第5期18卷 51-54页

作者：曹莹丁文毛海平周勇薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

高介电常数薄膜广泛应用于动态随机存储器中.本文主要采用反应溅射在Si基体上制备Ta2O5薄膜,研究了在25～100nm厚度范围内薄膜的电学性能.讨论了不同退火时间对Ta2O5薄膜结构和性能的影响,测量了退火后薄膜的漏电流,并计算出其介电常数.

关键词：高介电常数薄膜 Ta2O5 电学性能漏电流随机存储器

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基于MEMS技术的无线鼠标

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北京电子科技学院学报 2005年第4期13卷 76-78页

作者：钱莉陈文元黄得志杨华峰张卫平薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

本文介绍了一种新型的基于MEMS技术的无线鼠标。分析了构成系统的MEMS加速度计、微处理器和射频收发器三个硬件组成模块,并对软件设计方法进行了介绍。

关键词： MEMS 无线鼠标微加速度计微处理器射频

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基于旋涂的纳米压印技术研究

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微细加工技术 2005年第4期 21-24,36页

作者：顾盼刘景全孙洪文陈迪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

尝试使用一种新的工艺———旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷。得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋涂方法得到高品质微纳米级图案... 详细信息

尝试使用一种新的工艺———旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷。得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋涂方法得到高品质微纳米级图案的结论。

关键词：纳米压印微复制旋涂技术 PDMS印章

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反应离子刻蚀中的边缘效应及其补偿办法

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真空电子技术 2005年第2期18卷 41-44页

作者：谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

在反应离子刻蚀中,可以通过提高刻蚀功率来提高反应离子刻蚀速率,但此时由于反应气体浓度分布的影响,Si片中央和边缘的刻蚀速率存在着明显的差异,刻蚀量偏差最多可达±15%以上。本文分析了反应离子刻蚀中不均匀性的产生机理,并通过... 详细信息

在反应离子刻蚀中,可以通过提高刻蚀功率来提高反应离子刻蚀速率,但此时由于反应气体浓度分布的影响,Si片中央和边缘的刻蚀速率存在着明显的差异,刻蚀量偏差最多可达±15%以上。本文分析了反应离子刻蚀中不均匀性的产生机理,并通过实验予以验证。进而提出了通过合理设计掩模图形,以减少边缘效应,从而得到均匀刻蚀结果的补偿方法。实验表明,这种补偿方法在刻蚀速率提高近3倍的同时,可以将不均匀性降至±5%以下,适用于对微结构的均匀性要求较高的场所。

关键词：反应离子刻蚀边缘效应补偿办法刻蚀速率不均匀性补偿方法浓度分布反应气体产生机理合理设计微结构实验 Si 掩模

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钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

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2005年上海市颗粒学会年会

作者：徐宏黄伟程存康古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯... 详细信息

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯缩聚的催化作用,结果发现相比传统的锑系催化剂,乙二醇钛催化活性高且无环境污染.最后,以乙二醇钛作为原位生成纳米TiO2的前驱体并将其与聚酯进行原位功能复合,成功制备了真正纳米尺度分散与复合的纳米TiO2/PET复合材料,复合材料的力学性能与抗紫外线性能卓越.

关键词：纳米材料乙二醇钛化学合成

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