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语言

  • 131 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室"
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排序:
CIGS太阳能电池中薄膜材料电阻率的研究
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传感器与系统 2011年 第4期30卷 22-24页
作者: 钱群 张丛春 杨春生 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的。改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、衬底温度、退火工艺对电阻率和薄膜观形貌的影响。证明了采用... 详细信息
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环保型纳米晶镀锌层/电泳漆复合镀层
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腐蚀与防护 2011年 第6期32卷 463-466,469页
作者: 苏永其 张振杰 汪红 姚锦元 蒋为桥 丁桂甫 微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240
为了实现汽车零件环境友好型镀锌防腐蚀处理,利用纳米镀锌和电泳涂装技术的有机结合,分别对酸性和碱性镀液电镀锌进行纳米改性研究。采用金相显镜和场发射扫描电子显镜(FE-SEM)研究镀锌层的表面形貌以及复合镀层的断面形貌;测量... 详细信息
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
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传感器与系统 2011年 第5期30卷 1-4,7页
作者: 陶凯 丁桂甫 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240 安徽大学物理与材料科学学院 安徽合肥230039
概述了永磁材料在机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
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汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理
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电镀与涂饰 2011年 第1期30卷 10-13页
作者: 苏永其 刘瑞 姚锦元 汪红 蒋为桥 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室 上海200240 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室 江苏苏州215125
将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀,制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显镜(FE—SEM)观察镀锌层在3.5%NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌,以能谱仪(EDS)研究腐蚀产物组成,运用塔菲尔(Tafel)曲线和电化学阻抗谱(EIS)考... 详细信息
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基于FPGA的激光笔辅助教学系统设计与实现
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现代电子技术 2011年 第2期34卷 1-4页
作者: 刘钢 秦奎 陈刚 上海交通大学继续教育学院E-Learning实验室 上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
为了实现激光笔与大屏幕的互动,基于常用的OV9650摄像头模块和315 MHz无线收发模块,采用了一种FPGA架构实现激光笔与大屏幕互动的设计方案。OV9650摄像头模块的采集信号由FPGA进行缓存和处理,由它计算出激光点的坐标,之后计算机接收激... 详细信息
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单轴拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成
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光学精密工程 2010年 第5期18卷 1204-1211页
作者: 汪红 汤俊 刘瑞 陈晖 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室 上海200240
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA加工技... 详细信息
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Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜研究
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功能材料 2010年 第7期41卷 1205-1207页
作者: 侯捷 张丛春 杨春生 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240
采用射频磁控溅射(rf magnetron sputte-ring)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜。将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压... 详细信息
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静电悬浮陀螺的压膜阻尼特性
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中国惯性技术学报 2010年 第2期18卷 219-224页
作者: 应法明 肖奇军 崔峰 陈文元 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 上海200030
空气阻尼对静电陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学,构建了描述陀螺内气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将陀螺内气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数。根据陀... 详细信息
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柔顺双稳态机构的研究现状与进展
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传感器与系统 2010年 第7期29卷 1-3,7页
作者: 王娟 吴义伯 张丛春 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240
由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点。综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定... 详细信息
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对流—扩散传质对电铸镀层均匀性的影响
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传感器与系统 2010年 第8期29卷 41-43,47页
作者: 陈晖 李光杨 汪红 王艳 丁桂甫 赵小林 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,... 详细信息
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