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语言

  • 131 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室"
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曲折形三层等宽FeCuNbSiB/Cu/FeCuNbSiB多层膜巨磁阻抗效应研究
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电子元件与材料 2006年 第1期25卷 23-26页
作者: 余先育 曹莹 周勇 丁文 商干兵 周志敏 高孝裕 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了曲折形三层等宽FeCuNbSiB/Cu/FeCuNbSiB多层膜。在1.40MHz下,研究了多层膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系。结果表明:在频率为5MHz、磁场强度为12kA/m下,横向和纵向GMI效... 详细信息
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曲折状CoFeSiB三明治薄膜及其巨磁阻抗效应
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电子元件与材料 2007年 第8期26卷 16-19页
作者: 张桂林 周勇 周志敏 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
利用射频磁控溅射技术及MEMS技术,制备了曲折状三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在l~40 MHz频率下,研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应以及相应的电阻、电抗变化率。结果表明:曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应,比单层膜... 详细信息
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基于Sn/Bi合金的低温气密性封装工艺研究
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功能材料与器件学报 2006年 第3期12卷 211-214页
作者: 张东梅 丁桂甫 汪红 姜政 姚锦元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
研究了采用Sn/B i合金作为中间层的键合封装技术。通过电镀的方法在基片上形成Cr/N i/Cu/Sn、芯片上形成Cr/N i/Cu/B i多金属层,在513K、150Pa的真空环境中进行共晶键合,键合过程不需使用助焊剂,避免了助焊剂对器件的污染。实验表明:... 详细信息
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基于章鱼吸盘柔性干电极的可穿戴脑电采集系统
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传感器与系统 2022年 第9期41卷 69-72页
作者: 宋振宇 申跟财 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的... 详细信息
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环保型纳米晶镀锌层/电泳漆复合镀层
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腐蚀与防护 2011年 第6期32卷 463-466,469页
作者: 苏永其 张振杰 汪红 姚锦元 蒋为桥 丁桂甫 微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240
为了实现汽车零件环境友好型镀锌防腐蚀处理,利用纳米镀锌和电泳涂装技术的有机结合,分别对酸性和碱性镀液电镀锌进行纳米改性研究。采用金相显镜和场发射扫描电子显镜(FE-SEM)研究镀锌层的表面形貌以及复合镀层的断面形貌;测量... 详细信息
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集成PVB修饰Ag/AgCl参比电极的pH传感硅探针阵列
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传感器与系统 2024年 第9期43卷 68-70页
作者: 王卓 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.... 详细信息
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应用于音频放大器的多位Σ-Δ调制器的设计
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型机与应用 2005年 第9期24卷 24-26页
作者: 张冲 王森章 王振林 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
为在低过采样率下设计出高性能的调制器,通过采用级间反馈和1位AD/DAC与多位AD/DAC的混合设计,降低多位DAC非线性化而带来的噪声,进一步改善输出信号的信噪比。提出了一种应用于数字音频放大器中的多位Σ-Δ调制器结构。
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磁悬浮转子陀螺虚拟仪器测试系统
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电测与仪表 2006年 第5期43卷 18-21页
作者: 黄晓刚 刘武 陈文元 张卫平 吴校生 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030
针对悬浮转子陀螺的静态角度测试和漂移度测试任务,对陀螺信号拾取电路的输出进行了分析,使用虚拟仪器技术研制了基于LabVIEW的测试软件。使用图形控件实现了实时线性度计算和漂移曲线的计算及绘制。该系统简化了悬浮转子陀螺的... 详细信息
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Evanohm合金的双环线型加热器特性研究
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传感器与系统 2022年 第1期41卷 7-9,14页
作者: 仲逸飞 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用机电系统(MEMS)加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 详细信息
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硅阵列探针上基于IrO_(x)的pH传感器和电生理信号传感器
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传感器与系统 2022年 第4期41卷 70-72,85页
作者: 王琛 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz... 详细信息
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