检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2008年第1期14卷 236-240页

作者：崔峰肖奇军吴校生张卫平陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶... 详细信息

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。

关键词： Pyrex 湿法腐蚀掩膜凹坑电镀

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新型宽带圆极化毫米波平面缝隙天线

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微波学报 2009年第3期25卷 18-21页

作者：宿智娟丁桂甫程吉凤黎滨洪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种新型共面波导馈电的宽带圆极化毫米波平面缝隙天线。通过新型的短路微扰法实现了平面圆环形缝隙天线的单馈宽带圆极化,回波损耗(RL)≤-10dB时的实测阻抗带宽达到约20%,AR≤3时的实测轴比带宽约为21.2%,实测最大增益约为5.2dB... 详细信息

研究了一种新型共面波导馈电的宽带圆极化毫米波平面缝隙天线。通过新型的短路微扰法实现了平面圆环形缝隙天线的单馈宽带圆极化,回波损耗(RL)≤-10dB时的实测阻抗带宽达到约20%,AR≤3时的实测轴比带宽约为21.2%,实测最大增益约为5.2dB。实测结果与ANSOFTHFSS软件仿真结果基本吻合,表明了设计的合理性。

关键词：毫米波天线平面缝隙天线圆极化天线共面波导

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碳纳米管非对称接触结构制作及电学性能研究

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微纳电子技术 2010年第5期47卷 273-276页

作者：胡林陈长鑫张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室

实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法。先用介电泳方法(DEP)将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻(EBL)在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构。先用EBL... 详细信息

实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法。先用介电泳方法(DEP)将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻(EBL)在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构。先用EBL在Au电极对一端覆盖Al电极,再用DEP排列碳纳米管,实现单根碳管与金铝电极的非对称接触结构。非对称结构器件的电学测试研究表明,器件的I-V曲线不再对称,呈现出整流特性。

关键词：单壁碳纳米管介电泳电子束光刻非对称整流

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基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真

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微波学报 2008年第2期24卷 19-22页

作者：陈伟强丁桂甫黎滨洪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元... 详细信息

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元的阻抗匹配度与可调性,简化了天线结构。使用3dB电桥移相器实现圆极化,结构规范,圆极化效果好。使用有限元仿真软件AnsoftHFSS对其进行了仿真优化,得出了一组较优参数,此时天线中心频率为35GHz,增益为6.86dB,驻波比≤2时阻抗带宽为4GHz(约11.4%),轴比<3dB时带宽约为5.9GHz(约16.9%)。

关键词：微机电系统微带天线圆极化天线毫米波天线

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Y/Ni催化剂中FeS的添加对SWNTs制备的影响

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材料科学与工程学报 2006年第2期24卷 215-217,214页

作者：刘小康覃文张亚非上海交通大学DNA计算机交叉团队微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

Y/Ni是电弧放电法制备单壁碳纳米管(SWNTs)时常用的催化剂。本文研究了FeS在Y/Ni催化剂中的添加对SWNTs制备的影响。结果发现FeS的添加不仅能增加网状产物的百分比,还能使网状产物中SWNTs的含量明显增多。这表明Y/Ni中FeS的添加能使更... 详细信息

Y/Ni是电弧放电法制备单壁碳纳米管(SWNTs)时常用的催化剂。本文研究了FeS在Y/Ni催化剂中的添加对SWNTs制备的影响。结果发现FeS的添加不仅能增加网状产物的百分比,还能使网状产物中SWNTs的含量明显增多。这表明Y/Ni中FeS的添加能使更多的石墨转化为SWNTs。导致这一结果的原因可能有两个:(1)硫可能会扩大反应腔体中适合SWNTs生长的空间;(2)硫作为交联剂能促进碳元素的石墨化。

关键词： SWNTs 制备电弧放电法硫化物

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纳米压印中残余胶刻蚀工艺研究

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半导体技术 2010年第4期35卷 357-360页

作者：黄康李海华王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200240

压印光刻在图形转移之后,需要去除残留在凹槽底部的胶。采用RIE工艺对紫外压印胶的刻蚀速率进行了研究。结果表明,随着气压或气体流量增大,刻蚀速率均会先增加,达到一定值后又开始下降;在刻蚀气体中加入SF_6后,会减少钻蚀,但刻蚀速率会... 详细信息

压印光刻在图形转移之后,需要去除残留在凹槽底部的胶。采用RIE工艺对紫外压印胶的刻蚀速率进行了研究。结果表明,随着气压或气体流量增大,刻蚀速率均会先增加,达到一定值后又开始下降;在刻蚀气体中加入SF_6后,会减少钻蚀,但刻蚀速率会有少许下降;而在刻蚀气体中加入少量SF_6且压强及流量较大时,各部分的刻蚀速率一致性较好。由此得到了一个优化后的刻蚀条件,反应气体:O_2+SF_6,气体流量分别为40 cm^3/min和5 cm^3/min,压强9.31 Pa,RF功率20 W,此时刻胶速率可稳定在0.8μm/min左右,且均匀性较好。

关键词：纳米压印反应离子刻蚀去胶速率正交试验

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基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征

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传感器与微系统 2007年第10期26卷 101-102,113页

作者：李博惠春徐爱兰邢玉梅任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030

衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜... 详细信息

衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜和电化学表征技术对微电极的表面形貌和电学性能进行了研究。结果表明：在工作频率范围内（10^4-10^5Hz），柔性神经微电极的阻抗值低（400-1000Ω），相位延迟小（-20°），适于用作视网膜修复。

关键词：柔性基底神经微电极阵列聚对二甲苯微细加工

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柔性衬底微电极在视网膜修复上的应用

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生物医学工程学杂志 2008年第4期25卷 938-940页

作者：惠春李博徐爱兰邢玉梅李刚赵建龙任秋实上海交通大学生命科学技术学院上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了柔性神经微电极最新研究进展及其在视网膜修复上的应用价值。报道了目前柔性神经微电极主要采用的基底材料性能、微结构以及表征方法。

关键词：柔性神经微电极视网膜修复生物柔性材料

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Protein A磁性纳米颗粒载体的制备及应用

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中国生物工程杂志 2008年第1期28卷 13-17页

作者：卢瑛丁华平徐宏古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海奥润微纳新材料科技有限公司上海200233

采用合成的表面氨基化磁性纳米颗粒,通过化学共价交联制备了葡萄球菌ProteinA磁性纳米颗粒载体(SPA-MP),探讨了载体制备的优化条件,根据生物分子特异性亲合作用原理,在外加磁场的定向控制下,通过亲和吸附、清洗和解吸附等操作,探讨了SPA... 详细信息

采用合成的表面氨基化磁性纳米颗粒,通过化学共价交联制备了葡萄球菌ProteinA磁性纳米颗粒载体(SPA-MP),探讨了载体制备的优化条件,根据生物分子特异性亲合作用原理,在外加磁场的定向控制下,通过亲和吸附、清洗和解吸附等操作,探讨了SPA-MP载体在抗体分离纯化领域的应用可行性。载体制备优化实验结果显示,通过改变蛋白质浓度、交联剂浓度和交联剂活化时间可以制备不同表面密度的SPA-MP载体。300μgSPA,2.5%(V/V)戊二醛浓度和3h的活化时间可以获取表面密度高达35mgSPA/g磁性纳米颗粒的载体。此外,应用结果显示每克SPA-MP磁性微球载体可以结合约15～18mg的CD25抗体,同时可有效地分离纯化人抗血清样品中的IgG抗体。

关键词：磁性纳米颗粒 Protein A 抗体分离纯化

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一种快速提取基因组DNA的方法

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中国生物工程杂志 2008年第3期28卷 69-73页

作者：卢瑛刘照关徐宏古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海奥润微纳新材料科技有限公司上海200233

采用氧化硅超顺磁性纳米磁珠和自己设计的试剂体系及提取流程，建立了一种基因组DNA的快速提取方法，该方法以氧化硅磁珠为固相吸附载体，盐酸胍、β-巯基乙醇和SDS为主要裂解吸附试剂。以全血或培养细胞为实验材料进行基因组DNA的提取... 详细信息

采用氧化硅超顺磁性纳米磁珠和自己设计的试剂体系及提取流程，建立了一种基因组DNA的快速提取方法，该方法以氧化硅磁珠为固相吸附载体，盐酸胍、β-巯基乙醇和SDS为主要裂解吸附试剂。以全血或培养细胞为实验材料进行基因组DNA的提取结果显示建立的方法提取100μl小鼠抗凝血，可得2～3μg基因组DNA，OD260／OD280为1．8±0．05，其纯度可满足后续的酶切和PCR生物操作要求。该方法整个提取过程只需12分钟，不需特殊实验条件同时可省略蛋白酶K的消化过程和离心操作，适用于一般实验室的需求，是一种操作简便、快速高效的提取方法。

关键词：氧化硅超顺磁性纳米磁珠基因组DNA 全血培养细胞

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