检索结果-内蒙古大学图书馆

电子器件 2007年第1期30卷 63-66,71页

作者：王艳丁桂甫张东梅顾东华上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 详细信息

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性.

关键词： MEMS器件微通道散热器有限元分析数值传热学

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一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

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2007两岸三地博士生NBIC学术论坛

作者：吴义伯倪鹤南卢蔚君徐爱兰惠春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率... 详细信息

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率变化成正比。这种检测方法操作简单、快速,具有明显的灵敏性和选择性。

关键词：生物传感器磁微球谐振式癌细胞检测

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PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

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第六届中国纳米科技西安研讨会

作者：倪鹤南惠春徐爱兰李敏上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄... 详细信息

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,具有较好的表面质量;电学性能测试结果表明,520nm的PZT薄膜的漏电流为0.64nA,是670nm的PZT薄膜的1/1000,且铁电性能优良.

关键词：纳米材料 PZT压电薄膜溶胶-凝胶法微观结构表面形貌电学性能

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基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

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微细加工技术 2007年第1期 46-50页

作者：潘欣欣陈翔陈迪庄贵生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙... 详细信息

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。

关键词： PDMS 模具热模压微流控

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六棱柱单元周期纳米结构OLED光提取效率研究

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光电子．激光 2006年第2期17卷 165-170页

作者：阎荣金王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶... 详细信息

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶体平板(PCS)的OLED结构进行了数值模拟,并对提高束缚于高折射率材料中的光提取效率效果进行了分析,给出了优化的几何参数及最合理的基本结构,为高性能OLED结构的设计提供设计依据。

关键词：有机发光二极管(OLED) 光提取效率二维光子晶体平板(PCS)亚波长结构时域有限差分(FDTD)法

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SU-8光刻胶氧刻蚀的研究

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压电与声光 2006年第5期28卷 591-593页

作者：段炼朱军陈迪刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8微结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,... 详细信息

采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8微结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,在此基础上可进一步优化刻蚀工艺以获得更高的刻蚀速率。

关键词： SU-8光刻胶反应离子刻蚀(RIE) 氧气

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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究

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压电与声光 2006年第3期28卷 321-324页

作者：余慧春惠春徐爱兰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 详细信息

考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构，AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹，平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0～9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流，在外加偏压为8．8V时，漏电流密度为2．9×10^-6A／cm^2。

关键词：溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺钛酸锶钡(BST)薄膜粒度分布漏电流铁电体

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新型水基磁流体的制备及其生物磁热效应研究

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功能材料 2006年第4期37卷 555-558页

作者：童乃虎徐宏古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛酸分子的增加,磁流体分散状况显著... 详细信息

以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛酸分子的增加,磁流体分散状况显著改善。FT-IR光谱表明泛酸分子与纳米Fe3O4表面羟基发生化学键合;并分别用XRD、TG对水基磁流体进行表征,同时对其在交变磁场中的热效应进行了研究,产热比功率高达146.64W/g,在肿瘤磁热疗方面具有较大应用前景。

关键词：纳米Fe3O4 泛酸表面修饰磁流体热效应

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超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺

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复合材料学报 2006年第5期23卷 29-33页

作者：王裕超丁桂甫吴惠箐汪红姚锦元上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好。依据实验结果对超声振... 详细信息

为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好。依据实验结果对超声振荡在复合电镀过程中发挥作用的机制给出了初步的解释。

关键词：碳纳米管复合电镀铜基复合镀层超声振荡

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MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究

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功能材料 2006年第11期37卷 1719-1722页

作者：汪红丁桂甫戴旭涵苏宇锋张永华王志民上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有... 详细信息

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有最好的磁性能：H_c= 208790A/m,B_r=0．2T,(BH)_(max)=10．15kJ/m^3,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。

关键词： MEMS器件 CoNiMnP永磁体薄膜磁性能掩膜电沉积

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