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语言

  • 131 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室"
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新型通道散热器设计仿真
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电子器件 2007年 第1期30卷 63-66,71页
作者: 王艳 丁桂甫 张东梅 顾东华 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海200030
在传统的硅基通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面通道阵列,实现型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 详细信息
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一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制
一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制
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2007两岸三地博士生NBIC学术论坛
作者: 吴义伯 倪鹤南 卢蔚君 徐爱兰 惠春 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
设计了一种新型利用磁技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率... 详细信息
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PZT压电薄膜纳米结构特征与性能
PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能
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第六届中国纳米科技西安研讨会
作者: 倪鹤南 惠春 徐爱兰 李敏 上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄... 详细信息
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基于PDMS模具热模压制备流控通道结构的方法
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微细加工技术 2007年 第1期 46-50页
作者: 潘欣欣 陈翔 陈迪 庄贵生 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙... 详细信息
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六棱柱单元周期纳米结构OLED光提取效率研究
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光电子.激光 2006年 第2期17卷 165-170页
作者: 阎荣金 王庆康 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶... 详细信息
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SU-8光刻胶氧刻蚀的研究
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压电与声光 2006年 第5期28卷 591-593页
作者: 段炼 朱军 陈迪 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,... 详细信息
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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究
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压电与声光 2006年 第3期28卷 321-324页
作者: 余慧春 惠春 徐爱兰 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
考察了在溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中化学添加剂对钛酸锶钡(BST)溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选,制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射(XRD)表明在Pt/Cr/SiO2/Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 详细信息
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新型水基磁流体的制备及其生物磁热效应研究
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功能材料 2006年 第4期37卷 555-558页
作者: 童乃虎 徐宏 古宏晨 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛酸分子的增加,磁流体分散状况显著... 详细信息
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超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺
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复合材料学报 2006年 第5期23卷 29-33页
作者: 王裕超 丁桂甫 吴惠箐 汪红 姚锦元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好。依据实验结果对超声振... 详细信息
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MEMS器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究
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功能材料 2006年 第11期37卷 1719-1722页
作者: 汪红 丁桂甫 戴旭涵 苏宇锋 张永华 王志民 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030
研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82.4) Ni_(11.9)Mn_(0.4)P_(5.3)永磁体薄膜具有... 详细信息
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