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语言

  • 131 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室"
131 条 记 录,以下是81-90 订阅
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
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传感器与系统 2011年 第5期30卷 1-4,7页
作者: 陶凯 丁桂甫 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240 安徽大学物理与材料科学学院 安徽合肥230039
概述了永磁材料在机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
来源: 评论
NiTi形状记忆合金薄膜的制备及形变特性
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功能材料与器件学报 2006年 第3期12卷 229-232页
作者: 袁振宇 徐东 刘毓舒 蔡炳初 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030 上海交通大学材料科学与工程学院 上海200030
研究了适用于器件的溅射态N iTi形状记忆合金薄膜。讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响。利用薄膜热相变特性制成了驱动器,观察并分析了该器件的形变特性。结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜... 详细信息
来源: 评论
汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理
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电镀与涂饰 2011年 第1期30卷 10-13页
作者: 苏永其 刘瑞 姚锦元 汪红 蒋为桥 丁桂甫 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室 上海200240 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室 江苏苏州215125
将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀,制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显镜(FE—SEM)观察镀锌层在3.5%NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌,以能谱仪(EDS)研究腐蚀产物组成,运用塔菲尔(Tafel)曲线和电化学阻抗谱(EIS)考... 详细信息
来源: 评论
MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
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传感技术学报 2020年 第6期33卷 825-829页
作者: 侯晓伟 刘莉娜 吕阳 郑良广 张丛春 宁波中车时代传感技术有限公司 中国中车传感测量技术研发中心浙江宁波315021 湖南汽车工程职业学院车辆工程学院 湖南株洲412000 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 上海200240
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的... 详细信息
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静电悬浮转子陀螺及其关键技术
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中国惯性技术学报 2005年 第6期13卷 61-67页
作者: 崔峰 苏宇锋 张卫平 吴校生 陈文元 赵小林 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 上海200030
静电悬浮转子陀螺具有比振动式陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子陀螺... 详细信息
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UV-LIGA双层齿轮加工工艺研究
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微细加工技术 2005年 第4期 69-75页
作者: 张晔 陈迪 潘欣欣 方华斌 朱军 刘景全 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺... 详细信息
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纳米粒子作掩模的硅纳米柱阵列的加工
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微细加工技术 2007年 第1期 24-27+31页
作者: 赵保军 王英 张亚非 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海210030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的... 详细信息
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纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究
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光电子技术 2006年 第1期26卷 26-29页
作者: 金文豪 徐东 杨莺歌 张亚非 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层T iO2、A u纳米薄膜和双层T iO2/A u纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱。通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度。这种... 详细信息
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SU-8胶模去除技术
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微细加工技术 2007年 第1期 1-6页
作者: 崔峰 靖向萌 赵小林 丁桂甫 张卫平 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海200030
对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去... 详细信息
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工艺中防粘连自组装薄膜技术研究
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微细加工技术 2006年 第6期 36-39页
作者: 顾盼 刘景全 孙洪文 陈迪 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
研究在硅基表面形成1,1,2,2 H过氟癸基三氯硅烷防粘自组装膜的方法和特性。成功地在硅基表面形成了防粘连自组装薄膜,从浸润角、表面能、薄膜成分和表面粗糙度几个角度对该薄膜进行了分析,证实薄膜可将硅基表面能降低47.35%,可满足半导... 详细信息
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