检索结果-内蒙古大学图书馆

机器人 2011年第3期33卷 366-370页

作者：迟鹏程张卫平陈文元李洪谊孟坤崔峰刘武吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室辽宁沈阳110016

为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,... 详细信息

为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.

关键词：微扑翼飞行器 SU-8 MEMS 仿生机器人

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环保型纳米晶镀锌层／电泳漆复合镀层

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腐蚀与防护 2011年第6期32卷 463-466,469页

作者：苏永其张振杰汪红姚锦元蒋为桥丁桂甫微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

为了实现汽车零部件环境友好型镀锌防腐蚀处理,利用纳米镀锌和电泳涂装技术的有机结合,分别对酸性和碱性镀液电镀锌进行纳米改性研究。采用金相显微镜和场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)研究镀锌层的表面形貌以及复合镀层的断面形貌;测量... 详细信息

为了实现汽车零部件环境友好型镀锌防腐蚀处理,利用纳米镀锌和电泳涂装技术的有机结合,分别对酸性和碱性镀液电镀锌进行纳米改性研究。采用金相显微镜和场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)研究镀锌层的表面形貌以及复合镀层的断面形貌;测量了镀锌层的塔菲尔(Tafel)曲线;采用百格刀法测试层间结合力并对复合镀层进行中性盐雾试验。结果表明,两种镀锌层均出现纳米晶;随着镀锌电流密度的增大两种镀锌层的腐蚀电位均增大,同时腐蚀电流密度降低;复合镀层中性盐雾试验耐腐蚀时间达到1000 h且结合力达到5B水平,这表明纳米晶镀锌层和电泳漆层具有良好的结合力和耐腐蚀性能。

关键词：纳米锌电泳涂装耐蚀性复合镀层

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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展

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传感器与微系统 2011年第5期30卷 1-4,7页

作者：陶凯丁桂甫杨卓青王佩红吴义伯汪红王艳上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 安徽大学物理与材料科学学院安徽合肥230039

概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。

关键词：微机电系统永磁材料永磁薄膜微细加工

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汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理

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电镀与涂饰 2011年第1期30卷 10-13页

作者：苏永其刘瑞姚锦元汪红蒋为桥丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室上海200240 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室江苏苏州215125

将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀，制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显微镜（FE—SEM）观察镀锌层在3．5％NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌，以能谱仪（EDS）研究腐蚀产物组成，运用塔菲尔（Tafel）曲线和电化学阻抗谱（EIS）考... 详细信息

将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀，制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显微镜（FE—SEM）观察镀锌层在3．5％NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌，以能谱仪（EDS）研究腐蚀产物组成，运用塔菲尔（Tafel）曲线和电化学阻抗谱（EIS）考察纳米晶镀锌层的电化学腐蚀行为。结果表明，镀锌层由直径为80～100nm的针状结构的纳米晶组成；在3．5％NaCl溶液中，经24h和48h腐蚀后，腐蚀电流密度明显增大：经过48h腐蚀后，有腐蚀团聚物出现；随着腐蚀时间的延长，腐蚀产物的电阻减小而电容增大。

关键词：镀锌纳米晶镀层钢板腐蚀机理腐蚀电流密度电化学阻抗谱

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基于FPGA的激光笔辅助教学系统设计与实现

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现代电子技术 2011年第2期34卷 1-4页

作者：刘钢秦奎陈刚上海交通大学继续教育学院E-Learning实验室上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现激光笔与大屏幕的互动,基于常用的OV9650摄像头模块和315 MHz无线收发模块,采用了一种FPGA架构实现激光笔与大屏幕互动的设计方案。OV9650摄像头模块的采集信号由FPGA进行缓存和处理,由它计算出激光点的坐标,之后计算机接收激... 详细信息

为了实现激光笔与大屏幕的互动,基于常用的OV9650摄像头模块和315 MHz无线收发模块,采用了一种FPGA架构实现激光笔与大屏幕互动的设计方案。OV9650摄像头模块的采集信号由FPGA进行缓存和处理,由它计算出激光点的坐标,之后计算机接收激光点的坐标及激光笔发出的无线控制信号,通过授课主机端的软件实现激光笔与大屏幕的互动。目前该系统已应用于上海交通大学部分智能教室中,效果明显。

关键词：激光笔互动亮点识别 FPGA OV9650 无线收发

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单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成

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光学精密工程 2010年第5期18卷 1204-1211页

作者：汪红汤俊刘瑞陈晖丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室上海200240

为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技... 详细信息

为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。

关键词：材料力学测试微机电系统单轴微拉伸有限元模拟 UV-LIGA 杨氏模量镍

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Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究

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功能材料 2010年第7期41卷 1205-1207页

作者：侯捷张丛春杨春生丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用射频磁控溅射(rf magnetron sputte-ring)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜。将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压... 详细信息

采用射频磁控溅射(rf magnetron sputte-ring)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜。将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压和Ar分压可以控制MgO薄膜的晶格取向,Si衬底取向也对薄膜的择优取向产生影响。通过扫描电子显微镜(SEM)分析发现,MgO薄膜经过高温退火形成结晶并产生了表面裂纹。

关键词：射频磁控溅射 MgO XRD SEM

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静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性

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中国惯性技术学报 2010年第2期18卷 219-224页

作者：应法明肖奇军崔峰陈文元张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030

空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学,构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将微陀螺内部气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数。根据微陀... 详细信息

空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学,构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将微陀螺内部气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数。根据微陀螺的结构参数进行仿真,结果表明:轴向压膜阻尼系数对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,而压膜阻尼系数与气体的温度,压强呈线性关系,与振动幅值呈抛物线型关系;在低频段系统呈现阻尼力,而到高频段,系统呈现弹性力。利用Simulink进行了微陀螺的系统建模,得出压膜阻尼系数Cz对PID参数的选取,尤其是Kd参数,起着重要作用,同时对系统的稳定性也有一定的影响。

关键词：微陀螺压膜阻尼 PID参数稳定性

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微型压电能量采集器的仿真、制造与测试

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压电与声光 2010年第6期32卷 981-984页

作者：孙健李以贵刘景全杨春生何丹农上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241

理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和... 详细信息

理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和电压输出的频率响应。设计一套振动能量采集器测试装置,并对器件进行测试。测试结果表明,所制得的器件固有频率为2 580 Hz,在10 m/s2的正弦加速度激励下,其输出峰-峰值电压达1.58 V,测试结果与仿真分析基本吻合。

关键词：悬臂梁压电能量采集器键合固有频率

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柔顺双稳态机构的研究现状与进展

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传感器与微系统 2010年第7期29卷 1-3,7页

作者：王娟吴义伯张丛春丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点。综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定... 详细信息

由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点。综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定型、多耦合场锁定型等柔顺双稳态机构,针对其原理、性能及应用等各个方面进行了综合比较。最后展望了柔顺双稳态机构的研究前景和可能遇到的问题与挑战。

关键词：柔顺机构双稳态锁定机构微机电系统

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