检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2010年第2期47卷 105-109页

作者：徐旻陈迪周然陈翔朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金... 详细信息

介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金属作为电极保护层材料,通过电铸、牺牲层和抛光打磨工艺,制备出可以自释放的柔性视网膜电极;随后,对器件进行封装,并对器件的表面形貌和电学性能进行了表征。视网膜电极器件厚度50μm,电路线宽50μm,阻抗104～105Ω。通过该工艺制得的人造视网膜电极具有柔软无伤害、生物相容以及低成本的优点。

关键词： MEMS 生物电极牺牲层聚酰亚胺光刻

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基于GP4020的GPS接收平台的设计及实现

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微电子学与计算机 2010年第6期27卷 212-215页

作者：陈凯陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

介绍了一种基于GP4020的GPS信号处理平台的具体实现.该平台采用GP2015芯片作为GPS接收机的射频前端,使用ZARLINK公司推出的GP4020芯片进行GPS信号的基带处理,该芯片内嵌ARM7核作为微处理器,在上位机显示处理结果.具体包括了接收机外围... 详细信息

介绍了一种基于GP4020的GPS信号处理平台的具体实现.该平台采用GP2015芯片作为GPS接收机的射频前端,使用ZARLINK公司推出的GP4020芯片进行GPS信号的基带处理,该芯片内嵌ARM7核作为微处理器,在上位机显示处理结果.具体包括了接收机外围扩展电路的设计以及软件开发环境的建立和软件开发过程.该平台可用以测试不同的GPS算法,扩展性强,应用前景广泛.

关键词： GPS接收机 G94020 ARM 基带信号处理

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表面等离子体透射增强提高光刻分辨率的模拟

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微纳电子技术 2010年第4期47卷 253-256页

作者：朱明轩李海华王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形... 详细信息

讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形底角角度变化对透射率和分辨率的影响。当角度在57°～64°之间变化时,得出三角形脊部有透射增强现象产生,最大透射振幅是入射光的4.2倍,分辨率为(30±5)nm。因为凹槽部分透射光强度很小,因此具有很好的分辨率。通过对比周期和非周期边界条件模拟,三角形脊的形状是产生透射增强现象的原因。

关键词：表面等离子体激元纳米光刻 FDTD方法光刻分辨率光栅

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提高微结构表面在镀液中的润湿性

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微纳电子技术 2010年第11期47卷 708-712,717页

作者：李光杨汪红谭姣姣杨卓青姚锦元丁桂甫上海交通大学微纳米科学技术研究院微/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室上海200240 江南大学信息工程学院江苏无锡214122

为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FT... 详细信息

为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。

关键词：光刻胶表面改性接触角润湿性微结构

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微型压电振动能量采集器的研究进展

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机械设计与研究 2010年第4期26卷 61-64,70页

作者：唐刚刘景全马华安柳和生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械动力系南昌330099 南昌大学机电工程学院南昌330031

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,... 详细信息

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,以及未来的发展趋势。

关键词：压电振动能量采集器微机电系统

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新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究

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微纳电子技术 2010年第3期47卷 179-182,192页

作者：李中杰林宏姜学松王庆康印杰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 化学化工学院高分子材料研究所上海200240

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完... 详细信息

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完成。实验得到光刻胶掩膜膜厚为1.21μm,结构尺寸深246nm,周期937.5nm。实验结果表明,在没有对石英模板表面进行修饰的情况下,该光刻胶依然表现出高可靠性和高图形转移分辨率,有效减少了紫外纳米压印工艺中的模板抗粘修饰的工艺步骤。

关键词：紫外纳米压印微/纳米尺寸图形硅片衬底修饰抗粘连层图案复制

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基于射频CC2520实现的ZigBee通信设计

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微计算机信息 2010年第14期26卷 37-38,62页

作者：赵琦陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模... 详细信息

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模块,并通过ADS2005A仿真对整个射频模块与天线之间进行了最佳阻抗匹配。

关键词： ZigBee CC2520 ADS2005A

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基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低... 详细信息

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多，各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene薄膜，为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连

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真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： Parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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MEMS微陀螺仪研究进展

MEMS微陀螺仪研究进展

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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，... 详细信息

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，可以分为哥氏加速度效应微振动陀螺、流体陀螺、固体微陀螺、悬浮转子式微陀螺、微集成光学式陀螺以及原子陀螺。微振动陀螺仪是最早使用的微陀螺仪，也是目前市场上使用最多也相对比较成熟的陀螺仪。

关键词： MEMS 微陀螺仪零偏漂移角随机游走

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