检索结果-内蒙古大学图书馆

核电子学与探测技术 2007年第1期27卷 57-61页

作者：龙沪强王芸徐东谢宽仲卞建江上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海大学材料科学与材料工程学院上海200072

详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或... 详细信息

详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或衍射实验,提供了一种潜在的辐射成像探测器。

关键词：辐射成像探测器同步光源微间歇室金刚石薄膜

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

曲折状CoFeSiB三明治薄膜及其巨磁阻抗效应

引用

电子元件与材料 2007年第8期26卷 16-19页

作者：张桂林周勇周志敏上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用射频磁控溅射技术及MEMS技术,制备了曲折状三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在l～40 MHz频率下,研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应以及相应的电阻、电抗变化率。结果表明:曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应,比单层膜... 详细信息

利用射频磁控溅射技术及MEMS技术,制备了曲折状三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在l～40 MHz频率下,研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应以及相应的电阻、电抗变化率。结果表明:曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应,比单层膜有较大的提高,纵向和横向最大GMI效应分别为12.2%和–18.6%。

关键词：电子技术 CoFeSiB/Cu/CoFeSiB 巨磁阻抗曲折状结构三明治薄膜 MEMS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征

引用

传感器与微系统 2007年第10期26卷 101-102,113页

作者：李博惠春徐爱兰邢玉梅任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030

衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜... 详细信息

衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜和电化学表征技术对微电极的表面形貌和电学性能进行了研究。结果表明：在工作频率范围内（10^4-10^5Hz），柔性神经微电极的阻抗值低（400-1000Ω），相位延迟小（-20°），适于用作视网膜修复。

关键词：柔性基底神经微电极阵列聚对二甲苯微细加工

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

SU-8胶模去除技术

引用

微细加工技术 2007年第1期 1-6页

作者：崔峰靖向萌赵小林丁桂甫张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去... 详细信息

对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去胶剥落的桩基形成技术。提出了一种与多层互连电路微制造兼容的金属桩基形成技术,并采用强酸氧化去胶方法在制作有互联电路及薄膜电极的基片上成功地集成了200μm厚的Ni结构。

关键词：微机电系统 SU-8 去胶高深宽比桩基

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

新型微通道散热器设计仿真

引用

电子器件 2007年第1期30卷 63-66,71页

作者：王艳丁桂甫张东梅顾东华上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 详细信息

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性.

关键词： MEMS器件微通道散热器有限元分析数值传热学

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

金纳米粒子作掩模的硅纳米柱阵列的加工

引用

微细加工技术 2007年第1期 24-27+31页

作者：赵保军王英张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海210030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的... 详细信息

利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的纳米加工方法。实验中发现,超过一定刻蚀时间时,有过刻蚀现象发生,在120 s刻蚀时间下,得到了直径小于20 nm,深宽比高达10∶1以上规则、致密、大面积分布的硅纳米柱或硅纳米锥状结构。

关键词：自组装金纳米粒子纳米柱阵列反应离子刻蚀

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

Ag基碳纳米管(碳纳米纤维)复合电镀

引用

新技术新工艺 2007年第4期 70-73页

作者：王裕超丁桂甫吴惠箐汪红姚锦元杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为获得电接触性能优越的复合电镀层,选用碳纳米管及碳纳米纤维作为增强相物质,在优化选择的镀液体系中,利用超声振荡辅助复合电镀制备Ag基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层。通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)进行观察,证明... 详细信息

为获得电接触性能优越的复合电镀层,选用碳纳米管及碳纳米纤维作为增强相物质,在优化选择的镀液体系中,利用超声振荡辅助复合电镀制备Ag基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层。通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)进行观察,证明碳纳米管及碳纳米纤维能够均匀分散到Ag基体中并实现良好结合,其中,Ag更在碳纳米管表面外延生长,形成了有效的界面结合。

关键词：碳纳米管碳纳米纤维银电接触复合电镀

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于MEMS技术的无线USB鼠标研究

引用

微处理机 2007年第5期28卷 12-15页

作者：杨华峰陈文元黄得志张卫平吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯... 详细信息

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯片nRF2402和nRF2401实现无线收发以及采用带USB接口的单片机CY7C637xx搭建无线鼠标的原理和实现方案。

关键词： MEMS 加速度传感器单片机蓝牙 USB 鼠标

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

Al_2O_3纳米线薄膜的制备及其生成机理研究

引用

电镀与精饰 2007年第5期29卷 1-5页

作者：杨卉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,... 详细信息

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。使用扫描电镜、高分辨透射电镜和X-射线能谱仪对纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析。并结合扫描电镜对不同反应时间长度的产物形貌来观察纳米线的生成过程。探讨了Al2O3纳米线薄膜的生成机理。

关键词：阳极氧化 Al2O3纳米线薄膜

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

引用

新技术新工艺 2007年第2期 74-76页

作者：姚锦元王裕超上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒... 详细信息

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒径金刚石薄膜细腻致密。硬度测试结果表明,金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1000以上,远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头。可纺性试验结果表明,其性能都达到或超过传统喷丝头,完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头。

关键词：金刚石薄膜热丝CVD 碳化钽喷丝头

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：