检索结果-内蒙古大学图书馆

计算机工程与设计 2008年第23期29卷 6136-6138页

作者：汤坚陈文元姜晓波钱莉上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可... 详细信息

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可通过人体任何部位进行控制。二维旋转角算法和按键模拟算法的提出,使该鼠标系统能达到比传统鼠标更高的控制精度、更高的DPI,实现无按键的操作。

关键词：微加速度计无线鼠标微加速度计二维旋转角按键模拟无按键操作

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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用

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微纳电子技术 2008年第7期45卷 403-410,415页

作者：王亚军刘景全杨春生沈修成郭忠元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 详细信息

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。

关键词：聚对二甲苯微阀微泵微通道人工耳蜗视网膜假体微机电系统

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片上多机系统动态总线仲裁器设计与应用

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微处理机 2008年第6期29卷 2-4,8页

作者：王志涛王森章杨李贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机... 详细信息

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机的带宽比率,满足设计要求。

关键词：仲裁策略动态优先级带宽主器件

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铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究

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微细加工技术 2008年第5期 21-23页

作者：高阳李以贵张俊峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的... 详细信息

本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的铜叉指换能器的原子力显微镜轮廓。制造了声表面波驱动装置并得到了优化的制造参数。

关键词：驱动剥离工艺离子铣工艺

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一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

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微细加工技术 2008年第4期 62-64页

作者：刘瑞汪红丁桂甫李雪萍杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性。

关键词：微弹簧电铸 MEMS UV—LIGA

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MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟

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微细加工技术 2008年第5期 45-49页

作者：汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性... 详细信息

利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。

关键词：微电铸厚度均匀性 MEMS 有限元

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亚波长结构的抗反射特性三维TLM方法模拟

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光电子技术 2008年第1期28卷 50-54页

作者：刘汉玉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

传输线矩阵(Transmission line matrix,以下简称TLM)方法,根据场方程和传输线方程之间的相似性,用等效分布传输线网络模拟给定结构,在时间和空间上进行离散化,是一种强有力的三维时域电磁场数值仿真算法。简要介绍三维扩展型结点TLM方... 详细信息

传输线矩阵(Transmission line matrix,以下简称TLM)方法,根据场方程和传输线方程之间的相似性,用等效分布传输线网络模拟给定结构,在时间和空间上进行离散化,是一种强有力的三维时域电磁场数值仿真算法。简要介绍三维扩展型结点TLM方法的模型、激励源和边界条件,并使用该方法对亚波长结构的抗反射特性进行模拟研究,为进一步深入探讨该结构的抗反射特性、进行优化设计提供依据。

关键词：亚波长结构传输线矩阵方法传输线矩阵方法抗反射

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CPW馈电缝隙耦合蝶形毫米波贴片天线

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电子与信息学报 2007年第10期29卷 2392-2395页

作者：顾东华丁桂甫陈伟强孙晓峰沈民谊黎滨洪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

该文研究了一种工作在Ka波段共面波导(CPW)馈电缝隙耦合的蝶形贴片天线。耦合缝隙位于接地板上,而不需要额外的缝隙耦合层,使天线更易与电路相集成。耦合缝隙的存在改变了接地板上原有表面电流的分布,使电流沿着缝隙边缘流动,因此馈线... 详细信息

该文研究了一种工作在Ka波段共面波导(CPW)馈电缝隙耦合的蝶形贴片天线。耦合缝隙位于接地板上,而不需要额外的缝隙耦合层,使天线更易与电路相集成。耦合缝隙的存在改变了接地板上原有表面电流的分布,使电流沿着缝隙边缘流动,因此馈线与辐射源的电磁耦合效率得到提高。用有限元分析软件(Ansoft HFSS)对衬底厚度、贴片角度、耦合缝隙大小等参数变化时的天线性能进行了仿真。比较并分析了S_(11),增益等天线性能参数的变化规律,并在带宽最优的条件下给出了一组参数值,此时天线的工作频率为35.5GHz,带宽为1.22GHz,增益为6.38dB。

关键词：共面波导蝶形天线贴片天线缝隙耦合

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磁芯螺线管微电感的计算机模拟

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上海交通大学学报 2007年第11期41卷 1867-1870页

作者：郭绍寅周勇周志敏曹莹丁文上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的... 详细信息

采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的电感量和品质因子.模拟结果与实验符合较好.

关键词：螺线管微电感磁芯物理模型

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基于加速度采集系统的无线输入设备的研究

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计算机应用研究 2007年第2期24卷 260-263页

作者：黄得志陈文元杨华峰钱莉张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

研究基于加速度采集系统的无线输入设备,介绍了硬件系统的组成和工作原理,重点讨论了有限状态机FSM和COM组件软件技术的应用,用C++语言给出了FSM的实现框架和COM接口函数的描述,并基于加速度信息采集平台用C#语言开发了一个测试程序,既... 详细信息

研究基于加速度采集系统的无线输入设备,介绍了硬件系统的组成和工作原理,重点讨论了有限状态机FSM和COM组件软件技术的应用,用C++语言给出了FSM的实现框架和COM接口函数的描述,并基于加速度信息采集平台用C#语言开发了一个测试程序,既充分展示了采用FSM和COM技术的优点,同时说明了基于该系统的虚拟键盘鼠标系统实现方案的可行性。

关键词：有限状态机 COM技术微加速度传感器虚拟键盘鼠标系统

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