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机构

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  • 2 篇 薄膜与微细技术教...
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作者

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语言

  • 175 篇 中文
检索条件"机构=上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室"
175 条 记 录,以下是171-180 订阅
排序:
基于旋涂的纳米压印技术研究
收藏 引用
微细加工技术 2005年 第4期 21-24,36页
作者: 顾盼 刘景全 孙洪文 陈迪 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
尝试使用一种新的工艺———旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷。得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋涂方法得到高品质纳米图案... 详细信息
来源: 评论
基于MEMS技术的无线鼠标
收藏 引用
北京电子科技学学报 2005年 第4期13卷 76-78页
作者: 钱莉 陈文元 黄得志 杨华峰 张卫平 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030
本文介绍了一种新型的基于MEMS技术的无线鼠标。分析了构成系统的MEMS加速度计、处理器和射频收发器三个硬件组成模块,并对软件设计方法进行了介绍。
来源: 评论
电沉积在MEMS加工技术中的应用
电沉积在MEMS加工技术中的应用
收藏 引用
2005年上海市电镀与表面精饰学术年会
作者: 丁桂甫 汪红 戴旭涵 赵小林 姚锦元 张丛春 微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海交通大学微纳科学技术研究院
在非硅材料三维加工技术中,基于电化学原理的加工工艺发挥着关键作用,高深宽比结构一次性电铸成型和复杂金属结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加... 详细信息
来源: 评论
夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应的研究
收藏 引用
信息记录材料 2005年 第4期6卷 37-40页
作者: 商干兵 高孝裕 余先育 曹莹 丁文 周志敏 周勇 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030
采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁... 详细信息
来源: 评论
PZT厚膜拾振器图形化工艺研究
收藏 引用
微细加工技术 2005年 第4期 48-51页
作者: 方华斌 刘景全 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030 美国Honeywell公司上海传感器实验室 上海200030
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ... 详细信息
来源: 评论