检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2010年第4期47卷 253-256页

作者：朱明轩李海华王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形... 详细信息

讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形底角角度变化对透射率和分辨率的影响。当角度在57°～64°之间变化时,得出三角形脊部有透射增强现象产生,最大透射振幅是入射光的4.2倍,分辨率为(30±5)nm。因为凹槽部分透射光强度很小,因此具有很好的分辨率。通过对比周期和非周期边界条件模拟,三角形脊的形状是产生透射增强现象的原因。

关键词：表面等离子体激元纳米光刻 FDTD方法光刻分辨率光栅

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微型压电振动能量采集器的研究进展

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机械设计与研究 2010年第4期26卷 61-64,70页

作者：唐刚刘景全马华安柳和生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械动力系南昌330099 南昌大学机电工程学院南昌330031

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,... 详细信息

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,以及未来的发展趋势。

关键词：压电振动能量采集器微机电系统

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新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究

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微纳电子技术 2010年第3期47卷 179-182,192页

作者：李中杰林宏姜学松王庆康印杰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 化学化工学院高分子材料研究所上海200240

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完... 详细信息

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完成。实验得到光刻胶掩膜膜厚为1.21μm,结构尺寸深246nm,周期937.5nm。实验结果表明,在没有对石英模板表面进行修饰的情况下,该光刻胶依然表现出高可靠性和高图形转移分辨率,有效减少了紫外纳米压印工艺中的模板抗粘修饰的工艺步骤。

关键词：紫外纳米压印微/纳米尺寸图形硅片衬底修饰抗粘连层图案复制

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基于射频CC2520实现的ZigBee通信设计

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微计算机信息 2010年第14期26卷 37-38,62页

作者：赵琦陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模... 详细信息

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模块,并通过ADS2005A仿真对整个射频模块与天线之间进行了最佳阻抗匹配。

关键词： ZigBee CC2520 ADS2005A

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基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低... 详细信息

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多，各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene薄膜，为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连

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真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： Parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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MEMS微陀螺仪研究进展

MEMS微陀螺仪研究进展

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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，... 详细信息

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，可以分为哥氏加速度效应微振动陀螺、流体陀螺、固体微陀螺、悬浮转子式微陀螺、微集成光学式陀螺以及原子陀螺。微振动陀螺仪是最早使用的微陀螺仪，也是目前市场上使用最多也相对比较成熟的陀螺仪。

关键词： MEMS 微陀螺仪零偏漂移角随机游走

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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院南昌330099 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌大学机电工程学院南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题，为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT厚膜湿法化学刻蚀振动

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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：邱可可刘景全芮岳峰杨春生王宇娟李克勇上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学附属第一人民医院上海200080

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激... 详细信息

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极，微加工工艺包括溅射金属层以及CVD(化学气相沉积)绝缘层parylene(聚对二甲苯).Parylene作为电极间的绝缘材料，具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度.通过连接电针灸仪，在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激.

关键词：电针灸异步多通路电针 CVD parylene

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利用声表面波实现液体的二维驱动(英文)

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光学精密工程 2009年第7期17卷 1548-1552页

作者：高阳李以贵张俊峰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400μm,宽度为100μm,孔径为12mm,整个器件的尺寸为26mm×26mm×0.45mm。... 详细信息

报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400μm,宽度为100μm,孔径为12mm,整个器件的尺寸为26mm×26mm×0.45mm。由于铌酸锂晶体的各向异性,叉指换能器沿Y、X方向的谐振频率不同,分别为9.3MHz和9.6MHz。基于铜材料相对于铝材料的优点,选用了铜材料并采用剥离工艺制作了电极,得到了优化的工艺参数。最后,用了超长时间超声波辅助方法彻底去除残胶,实现了对水滴的二维驱动,输入功率为9W,液滴运动的平均速率为5mm/s。利用ANSYS软件分析了声表面波在铌酸锂衬底内的传播,内部振动的模拟结果与理论分析一致。实验表明,利用声表面波实现液体的二维驱动是可行的,该液体驱动原型可用于片上系统和μ-TAS。

关键词：液体驱动声表面波剥离工艺有限元分析(FEA)

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