检索结果-内蒙古大学图书馆

微计算机信息 2008年第31期24卷 224-226页

作者：黄一杰陈佳品李振波上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现... 详细信息

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现了一种采用以ARM7为控制平台,以Zigbee无线网络为通讯平台,基于GPS位置差分定位的相对定位技术。并成功地运用在了机器人群组在较广范围内的定位。

关键词：机器人 GPS位置差分定位 Zigbee传感器网络 ARM7

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纳米晶磁芯螺线管微电感的模拟研究

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电子元件与材料 2008年第9期27卷 14-17页

作者：周庆华周勇周志敏曹莹丁文上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频... 详细信息

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频率范围内，所设计的微电感的电感量L在2～12μH，品质因数Q值在1．3－2.3，非常适用于DC－DC变换器等功率电子器件。

关键词：电子技术螺线管微电感非晶/纳米晶带退火模拟

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悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展

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功能材料与器件学报 2008年第3期14卷 721-728页

作者：张卫平陈文元赵小林吴校生崔峰刘武黄晓刚肖奇军马高印张忠榕上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。

关键词：悬浮转子微陀螺技术关键方案最新进展

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基于微加速度计的AIR-MOUSE的研究

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微计算机信息 2008年第22期24卷 113-115页

作者：姜晓波陈文元汤坚钱莉凌灵上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学

本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线... 详细信息

本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线传输模块的软硬件做了详细阐述。

关键词：微加速度计无线射频 USB接口空中鼠标

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磁控溅射的TaN薄膜的扩散阻挡性能

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半导体技术 2008年第1期33卷 73-76页

作者：张丛春刘兴刚石金川杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

用反应磁控溅射方法在SiO2/Si(100)衬底和Cu薄膜间溅射一层TaN阻挡层,测试不同N气分压及热处理温度下Cu/TaN/SiO2/Si薄膜的显微结构和电阻特性。同时利用微细加工技术加工了镂空的Cu互连叉指测试结构,研究了TaN薄膜在镂空的铜互连结构... 详细信息

用反应磁控溅射方法在SiO2/Si(100)衬底和Cu薄膜间溅射一层TaN阻挡层,测试不同N气分压及热处理温度下Cu/TaN/SiO2/Si薄膜的显微结构和电阻特性。同时利用微细加工技术加工了镂空的Cu互连叉指测试结构,研究了TaN薄膜在镂空的铜互连结构中的扩散阻挡性能。结果发现,在退火温度不超过400℃时,薄膜电阻率均低于80μΩ.cm,而当溅射N分压超过10%,退火温度超过400℃时,薄膜电阻率很快上升。低N气分压下(≤10%)溅射时,即使退火温度达到600℃,薄膜电阻基本不变。

关键词：铜互连 TaN阻挡层磁控溅射热稳定性

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基于MEMS&FPGA的USB移动硬盘加解密系统

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微计算机信息 2008年第26期24卷 154-156页

作者：张晶陈文元张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学

随着信息量的急剧增长,信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统,采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂... 详细信息

随着信息量的急剧增长,信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统,采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂接该系统后成为安全性极高的加密USB移动硬盘,其平均数据吞吐率接近普通U盘,达到10MB/s。

关键词： MEMS AES USB FPGA IDE

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基于微加速度计的鼠标系统设计

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计算机工程与设计 2008年第23期29卷 6136-6138页

作者：汤坚陈文元姜晓波钱莉上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可... 详细信息

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可通过人体任何部位进行控制。二维旋转角算法和按键模拟算法的提出,使该鼠标系统能达到比传统鼠标更高的控制精度、更高的DPI,实现无按键的操作。

关键词：微加速度计无线鼠标微加速度计二维旋转角按键模拟无按键操作

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Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀

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功能材料与器件学报 2008年第1期14卷 236-240页

作者：崔峰肖奇军吴校生张卫平陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶... 详细信息

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。

关键词： Pyrex 湿法腐蚀掩膜凹坑电镀

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基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真

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微波学报 2008年第2期24卷 19-22页

作者：陈伟强丁桂甫黎滨洪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元... 详细信息

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元的阻抗匹配度与可调性,简化了天线结构。使用3dB电桥移相器实现圆极化,结构规范,圆极化效果好。使用有限元仿真软件AnsoftHFSS对其进行了仿真优化,得出了一组较优参数,此时天线中心频率为35GHz,增益为6.86dB,驻波比≤2时阻抗带宽为4GHz(约11.4%),轴比<3dB时带宽约为5.9GHz(约16.9%)。

关键词：微机电系统微带天线圆极化天线毫米波天线

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柔性衬底微电极在视网膜修复上的应用

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生物医学工程学杂志 2008年第4期25卷 938-940页

作者：惠春李博徐爱兰邢玉梅李刚赵建龙任秋实上海交通大学生命科学技术学院上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了柔性神经微电极最新研究进展及其在视网膜修复上的应用价值。报道了目前柔性神经微电极主要采用的基底材料性能、微结构以及表征方法。

关键词：柔性神经微电极视网膜修复生物柔性材料

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