检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2024年第9期43卷 68-70页

作者：王卓刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.... 详细信息

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.44 mm^(2)。最终硅记录探针的pH灵敏度为53.13 mV/pH,电位漂移为8 000 s下20 mV,并且探针工艺与硅基探针高度融合。总之,集成参比电极并且提高其稳定性对于生物传感器以及脑疾病诊断生物标志物的电化学检测具有重要意义。

关键词： Ag/AgCl参比电极 pH传感器生物稳定性

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于章鱼吸盘柔性干电极的可穿戴脑电采集系统

引用

传感器与微系统 2022年第9期41卷 69-72页

作者：宋振宇申跟财刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的... 详细信息

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的数据处理与控制模块和基于WiFi协议的无线传输模块,整体尺寸为52 mm×35 mm×12 mm,使用锂电池供电,PC端通过Python编写接收程序实时显示存储EEG信号。系统使用章鱼吸盘电极得到的EEG信号质量和传统湿电极相当。

关键词：章鱼吸盘柔性电极可穿戴脑电信号采集

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究

引用

传感器与微系统 2022年第1期41卷 7-9,14页

作者：仲逸飞刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 详细信息

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。

关键词：微型加热器微机电系统 Evanohm合金低温

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅阵列探针上基于IrO_(x)的pH传感器和电生理信号传感器

引用

传感器与微系统 2022年第4期41卷 70-72,85页

作者：王琛刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz... 详细信息

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗,而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度。此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制。

关键词： pH传感器微机电系统多功能密歇根探针

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

引用

传感技术学报 2020年第6期33卷 825-829页

作者：侯晓伟刘莉娜吕阳郑良广张丛春宁波中车时代传感技术有限公司中国中车传感测量技术研发中心浙江宁波315021 湖南汽车工程职业学院车辆工程学院湖南株洲412000 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的... 详细信息

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。

关键词：铂电阻温度传感器微机电系统热处理电阻温度系数

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

内部梳齿状pn结结构对单晶硅太阳电池电学特性的影响

引用

太阳能学报 2015年第1期36卷 96-101页

作者：余孟尧王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上... 详细信息

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上的优化,但同时也带来电流集边等非理想效应。在模拟范围内,梳齿宽度为1μm,深度为30μm的梳齿状pn结单晶硅电池拥有更理想的电池效率。

关键词：单晶硅太阳电池电学结构 TCAD模拟 pn结梳齿

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

铁硅铝/锰锌铁氧体复合软磁薄膜成型工艺及磁性能研究

引用

功能材料 2014年第10期45卷 109-112,118页

作者：谢辅强丁桂甫汪红程萍王艳上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加... 详细信息

研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加工工艺兼容。应用该工艺制作了软磁薄膜,采用超景深三维显微系统VHX-2000观测复合材料的微观结构;运用振动样品磁强计测试薄膜的静态磁性能参数;使用交流磁化率测量仪测试薄膜动态磁性能参数。针对软磁磁粉颗粒度、绝缘包覆、粘结成型等不同工艺因素,制作了薄膜样品,总结了不同工艺因素对薄膜综合磁性能的影响。

关键词：复合软磁材料薄膜综合磁性能绝缘剂粘结剂低温成型

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究

引用

传感器与微系统 2014年第9期33卷 38-41页

作者：吴婷婷刘景全江水东徐斌郭杰杨斌上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 详细信息

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。

关键词：微型加热器 MEMS 镍铬合金深低温退火处理

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

三维紧凑型半球凹坑阵列玻璃基在非晶硅薄膜电池中的应用

引用

半导体光电 2013年第1期34卷 69-73,78页

作者：钟建平王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研究了一种紧密型半球凹坑阵列光子晶体玻璃基,并将其运用在非晶硅薄膜太阳电池结构。用FDTD方法对玻璃基进行了透射衍射场分布计算,用RCWA方法对基于此基底的非晶硅薄膜结构进行仿真优化,得到了0.6μm周期、最小基底厚度0.6μm的优化结... 详细信息

研究了一种紧密型半球凹坑阵列光子晶体玻璃基,并将其运用在非晶硅薄膜太阳电池结构。用FDTD方法对玻璃基进行了透射衍射场分布计算,用RCWA方法对基于此基底的非晶硅薄膜结构进行仿真优化,得到了0.6μm周期、最小基底厚度0.6μm的优化结构,与平板结构相比较0.3～0.8μm波段平均反射率降低了51.5%,平均吸收率增加了18.6%。薄膜电池结构随入射角度的增大,反射率峰值发生蓝移且明显降低,在50°～65°入射角范围内全波段具有约6%的平均反射率。

关键词：光子晶体透射衍射薄膜太阳电池陷光

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种新型电流控制CMOS振荡器电路设计

引用

电源技术 2012年第11期36卷 1697-1699页

作者：徐慧敏戴庆元罗超上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

设计了一种基于华虹0.35 mm BCD工艺的新型电流控制CMOS振荡器电路,中心频率为1 MHz,宽温度范围内具有占空比高稳定性。不同于传统电流控制CMOS振荡器拓扑,结构简单,通过反相器阈值电压控制电流对电容的充放电状态切换,消除了延迟时间... 详细信息

设计了一种基于华虹0.35 mm BCD工艺的新型电流控制CMOS振荡器电路,中心频率为1 MHz,宽温度范围内具有占空比高稳定性。不同于传统电流控制CMOS振荡器拓扑,结构简单,通过反相器阈值电压控制电流对电容的充放电状态切换,消除了延迟时间引起的上冲、下冲问题,具有良好的可移植性。Cadence Spectre仿真结果表明:-45～125℃范围内,振荡频率和占空比相对中心值的上下偏差分别为5.01%(-)到3.31%(+)、1.95%(-)到1.84%(+);方差分别为0.000 9、0.000 1。

关键词：振荡器电流控制占空比延迟时间开关电源

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：