检索结果-内蒙古大学图书馆

真空 2011年第2期48卷 60-62页

作者：芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小。相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材... 详细信息

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小。相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料,大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多,各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene(聚对亚苯基二甲基)薄膜,为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连 PDMS

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基于CC2430的无线可植入微刺激器电路研究

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计算机测量与控制 2011年第4期19卷 898-901页

作者：邱可可刘景全郭忠元朱正罕王龙飞杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

功能性电刺激在神经功能失调治疗和神经损伤功能重建中具有重要的作用,植入式神经肌肉电刺激疗法已被证实对20余种神经功能失调疾病具有确切的疗效;基于这种疗法,介绍一种基于ZigBee协议的无线可植入微刺激器的电路设计,其刺激效果与微... 详细信息

功能性电刺激在神经功能失调治疗和神经损伤功能重建中具有重要的作用,植入式神经肌肉电刺激疗法已被证实对20余种神经功能失调疾病具有确切的疗效;基于这种疗法,介绍一种基于ZigBee协议的无线可植入微刺激器的电路设计,其刺激效果与微刺激器所释放电流的参数有密切关系;为了能够在生物实验中寻找到刺激效果最佳的电流参数,设计论述了一种以低功耗CC2430微控制器为核心的微刺激器方案;低功耗CC2430的ZigBee无线通信协议是无线微刺激器电路系统的关键技术,结合双相恒流源能够对特定肌肉释放不同的刺激波形、幅度与频率的刺激电流;通过调节各种关键参数,应用这种微刺激器能够生成生物实验中所需要的双相脉冲波形。

关键词：可植入神经肌肉电刺激低功耗 ZigBee协议 DDS技术双脉冲刺激

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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展

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传感器与微系统 2011年第5期30卷 1-4,7页

作者：陶凯丁桂甫杨卓青王佩红吴义伯汪红王艳上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 安徽大学物理与材料科学学院安徽合肥230039

概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。

关键词：微机电系统永磁材料永磁薄膜微细加工

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汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理

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电镀与涂饰 2011年第1期30卷 10-13页

作者：苏永其刘瑞姚锦元汪红蒋为桥丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室上海200240 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室江苏苏州215125

将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀，制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显微镜（FE—SEM）观察镀锌层在3．5％NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌，以能谱仪（EDS）研究腐蚀产物组成，运用塔菲尔（Tafel）曲线和电化学阻抗谱（EIS）考... 详细信息

将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀，制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显微镜（FE—SEM）观察镀锌层在3．5％NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌，以能谱仪（EDS）研究腐蚀产物组成，运用塔菲尔（Tafel）曲线和电化学阻抗谱（EIS）考察纳米晶镀锌层的电化学腐蚀行为。结果表明，镀锌层由直径为80～100nm的针状结构的纳米晶组成；在3．5％NaCl溶液中，经24h和48h腐蚀后，腐蚀电流密度明显增大：经过48h腐蚀后，有腐蚀团聚物出现；随着腐蚀时间的延长，腐蚀产物的电阻减小而电容增大。

关键词：镀锌纳米晶镀层钢板腐蚀机理腐蚀电流密度电化学阻抗谱

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利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究

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压电与声光 2011年第3期33卷 418-421页

作者：郑慈航唐刚刘景全李以贵余震何丹农杨春生上海交通大学材料科学与工程学院上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院江西南昌330099

采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤... 详细信息

采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。

关键词：压电发电能量采集 PZT块材微机电系统

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一种MEMS结肠癌细胞捕获芯片研究

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功能材料与器件学报 2011年第2期17卷 227-232页

作者：胡锐军陈迪陈翔陈景东吴澄杜航向杨治力王志刚夏骏微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海市第六人民医院上海200233 上海市第一人民医院上海200080

癌症是影响人类健康的重大疾病之一,如何快速、方便地分离癌细胞已经成为制约临床医学和科学研究的重要问题。本文将磁珠技术与MEMS技术相结合,提出了一种等边三角排列的Ni微磁柱结构,在磁场作用下使用CD326免疫磁珠捕获结肠癌细胞。本... 详细信息

癌症是影响人类健康的重大疾病之一,如何快速、方便地分离癌细胞已经成为制约临床医学和科学研究的重要问题。本文将磁珠技术与MEMS技术相结合,提出了一种等边三角排列的Ni微磁柱结构,在磁场作用下使用CD326免疫磁珠捕获结肠癌细胞。本文对MEMS细胞捕获芯片进行了设计、加工和封装,采用该芯片对与磁珠结合的结肠癌细胞进行了捕获,0.1ml/h流速下捕获效率达92%,证明该芯片具有对结肠癌细胞的捕获能力。

关键词：结肠癌细胞捕获免疫磁珠

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图像处理方法在焊缝自动跟踪系统中的应用研究

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机械设计与制造 2011年第12期 87-89页

作者：唐刚王龙飞王璐南昌工程学院机械与电气学院南昌330099 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 利渤海尔机械(大连)有限公司大连116000

以基于视觉传感器的焊缝自动跟踪系统为研究对象,论述了相应的焊缝图像处理方法,有效地消除了焊接过程中的飞溅和弧光对焊缝图像的干扰。主要包括转灰度图、图像滤波、图像分割、图像边缘检测、图像细化以及HOUGH变换等。其中采用卷积... 详细信息

以基于视觉传感器的焊缝自动跟踪系统为研究对象,论述了相应的焊缝图像处理方法,有效地消除了焊接过程中的飞溅和弧光对焊缝图像的干扰。主要包括转灰度图、图像滤波、图像分割、图像边缘检测、图像细化以及HOUGH变换等。其中采用卷积滤波和中值滤波相结合的方法,提高了中值滤波能力和处理速度;采用Sobel算子,较好地保留了焊缝图像的边缘。并将这些方法综合应用成功地识别出焊缝的两条边缘,进而提取出焊缝中心,并仿真出焊枪在纠偏过程中的运动轨迹。试验表明方法处理效果好,处理速度快,能够满足跟踪系统的实时性要求。

关键词：视觉传感器图像处理方法焊枪纠偏仿真

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超声液体环境下压电式振动能量采集的研究

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传感器与微系统 2011年第3期30卷 46-49页

作者：郑慈航唐刚刘景全尹桂林余震何丹农上海交通大学材料科学与工程学院上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院江西南昌330099

针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁... 详细信息

针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数,发现能量采集器在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小;在当悬臂梁与超声换能器平面的夹角为45°~60°时,能量采集器的发电效率最高。

关键词：能量采集器压电悬臂梁超声波振动液体环境

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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

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真空 2011年第2期48卷 19-21页

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院江西南昌330099 南昌大学机电工程学院江西南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT(锆钛酸铅)厚膜湿法化学刻蚀振动

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基于FPGA的激光笔辅助教学系统设计与实现

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现代电子技术 2011年第2期34卷 1-4页

作者：刘钢秦奎陈刚上海交通大学继续教育学院E-Learning实验室上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现激光笔与大屏幕的互动,基于常用的OV9650摄像头模块和315 MHz无线收发模块,采用了一种FPGA架构实现激光笔与大屏幕互动的设计方案。OV9650摄像头模块的采集信号由FPGA进行缓存和处理,由它计算出激光点的坐标,之后计算机接收激... 详细信息

为了实现激光笔与大屏幕的互动,基于常用的OV9650摄像头模块和315 MHz无线收发模块,采用了一种FPGA架构实现激光笔与大屏幕互动的设计方案。OV9650摄像头模块的采集信号由FPGA进行缓存和处理,由它计算出激光点的坐标,之后计算机接收激光点的坐标及激光笔发出的无线控制信号,通过授课主机端的软件实现激光笔与大屏幕的互动。目前该系统已应用于上海交通大学部分智能教室中,效果明显。

关键词：激光笔互动亮点识别 FPGA OV9650 无线收发

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