检索结果-内蒙古大学图书馆

2007年上海市电子电镀学术年会

作者：杨卓青丁(火圭)甫蔡豪刚赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后... 详细信息

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后发现,封装壳内没有任何灌封聚合物残留,证实了设计并制作的封装壳完全满足器件实际工作要求。

关键词： UV-LIGA 工艺封装落锤实验

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新型微通道散热器设计仿真

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电子器件 2007年第1期30卷 63-66,71页

作者：王艳丁桂甫张东梅顾东华上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 详细信息

在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性.

关键词： MEMS器件微通道散热器有限元分析数值传热学

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一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

一种新型检测癌细胞谐振式生物传感器的研制

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2007两岸三地博士生NBIC学术论坛

作者：吴义伯倪鹤南卢蔚君徐爱兰惠春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率... 详细信息

设计了一种新型利用磁微球技术的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球可成功分离癌细胞,并将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有制作敏感膜方法的步骤。结果表明,阳性细胞的检测下限为106个/ml,阳性细胞溶液浓度与石英晶振频率变化成正比。这种检测方法操作简单、快速,具有明显的灵敏性和选择性。

关键词：生物传感器磁微球谐振式癌细胞检测

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PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

PZT压电薄膜的纳米结构特征与性能

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第六届中国纳米科技西安研讨会

作者：倪鹤南惠春徐爱兰李敏上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄... 详细信息

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能。实验结果表明:厚度为670nm的压电薄膜,其(110)面的择优取向性更强;520nm的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,具有较好的表面质量;电学性能测试结果表明,520nm的PZT薄膜的漏电流为0.64nA,是670nm的PZT薄膜的1/1000,且铁电性能优良.

关键词：纳米材料 PZT压电薄膜溶胶-凝胶法微观结构表面形貌电学性能

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基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

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微细加工技术 2007年第1期 46-50页

作者：潘欣欣陈翔陈迪庄贵生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙... 详细信息

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。

关键词： PDMS 模具热模压微流控

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人造视网膜生物电极阵列研究

人造视网膜生物电极阵列研究

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2007中国生物医学工程联合学术年会

作者：刘舒维陈迪张保增陈翔刘景全朱军柴新禹任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而... 详细信息

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而且无毒,对器件也无损害。

关键词：生物电极生物兼容性 MEMS技术

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夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究

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功能材料 2006年第2期37卷 194-196,199页

作者：商干兵周勇余先育丁文周志敏曹莹上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hex... 详细信息

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hext为0．8kA／m时巨磁阻抗效应最大值达到32．06％。另外，夹心结构多层膜表现出较大的负巨磁阻抗效应，在频率5MHz，Hext=9．6kA／m时，负最大巨磁阻抗效应可达-24．50％。

关键词：巨磁阻抗效应夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术

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基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析

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传感技术学报 2006年第3期19卷 637-641页

作者：董明惠春徐爱兰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理,耦合场分析原理以及ANSYS软件在压电分析中的具体应用。以压电式四臂加速度计为例,使用ANSYS软件对其进行了静态,模态等分析,得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的影响。在模态分... 详细信息

介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理,耦合场分析原理以及ANSYS软件在压电分析中的具体应用。以压电式四臂加速度计为例,使用ANSYS软件对其进行了静态,模态等分析,得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的影响。在模态分析中得出了加速度计的前三阶固有频率和与之对应的振动形态。本文的结果可以直接应用到加速度计结构的优化设计。

关键词： MEMS 微加速度计耦合场 ANSYS

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六棱柱单元周期纳米结构OLED光提取效率研究

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光电子．激光 2006年第2期17卷 165-170页

作者：阎荣金王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶... 详细信息

有机发光二极管(OLED)的发光效率很大程度上受到器件中高折射率材料(ITO/有机物)对导波光能量的制约。通过使用时域有限差分(FDTD)法,对在OLED中的氧化铟与氧化锡复合透明阳极ITO结构上覆盖3种基本结构的三角排列SINX六棱柱柱状光子晶体平板(PCS)的OLED结构进行了数值模拟,并对提高束缚于高折射率材料中的光提取效率效果进行了分析,给出了优化的几何参数及最合理的基本结构,为高性能OLED结构的设计提供设计依据。

关键词：有机发光二极管(OLED) 光提取效率二维光子晶体平板(PCS)亚波长结构时域有限差分(FDTD)法

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一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器

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光子学报 2006年第12期35卷 1888-1891页

作者：邵国成戴旭涵杨昊宇赵小林丁桂甫微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细加工教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线... 详细信息

针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5ms),动态范围(约35dB),波长相关损耗(<0.4dB),偏振相关损耗(<0.1dB)等关键性能参量.

关键词：微机电系统(MEMS) 可调光衰减器闭环线性度

来源：评论

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