检索结果-内蒙古大学图书馆

微电子学与计算机 2010年第7期27卷 250-252页

作者：王祺皓陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

多径问题是影响GPS信号接收的主要干扰问题.通过研究GPS接收机的基本原理和实现方式,利用Xilinx公司的xc3s1000型号FPGA,设计一个仿真实验平台.针对多径处理的需要,使用Verilog HDL语言设计了运用反馈移位寄存器产生的C/A码序列及起始... 详细信息

多径问题是影响GPS信号接收的主要干扰问题.通过研究GPS接收机的基本原理和实现方式,利用Xilinx公司的xc3s1000型号FPGA,设计一个仿真实验平台.针对多径处理的需要,使用Verilog HDL语言设计了运用反馈移位寄存器产生的C/A码序列及起始位置脉冲,移相、衰减、混合、AGC(自动增益控制)模块和码环积分相关器,解决了几个关键技术与问题,实现了数据的传送与存储.

关键词：多径 GPS接收机 AGC 相关器 FPGA

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新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极

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微纳电子技术 2010年第2期47卷 105-109页

作者：徐旻陈迪周然陈翔朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金... 详细信息

介绍了一种新型的、基于Cu牺牲层的聚酰亚胺图形化方法制备视网膜电极的MEMS工艺,并对其电化学性能进行了表征。该工艺创新性地以Cu作为衬底聚酰亚胺图形化的牺牲层,以PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为剥离层,以聚酰亚胺作为封装材料,以惰性金属作为电极保护层材料,通过电铸、牺牲层和抛光打磨工艺,制备出可以自释放的柔性视网膜电极;随后,对器件进行封装,并对器件的表面形貌和电学性能进行了表征。视网膜电极器件厚度50μm,电路线宽50μm,阻抗104～105Ω。通过该工艺制得的人造视网膜电极具有柔软无伤害、生物相容以及低成本的优点。

关键词： MEMS 生物电极牺牲层聚酰亚胺光刻

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基于GP4020的GPS接收平台的设计及实现

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微电子学与计算机 2010年第6期27卷 212-215页

作者：陈凯陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

介绍了一种基于GP4020的GPS信号处理平台的具体实现.该平台采用GP2015芯片作为GPS接收机的射频前端,使用ZARLINK公司推出的GP4020芯片进行GPS信号的基带处理,该芯片内嵌ARM7核作为微处理器,在上位机显示处理结果.具体包括了接收机外围... 详细信息

介绍了一种基于GP4020的GPS信号处理平台的具体实现.该平台采用GP2015芯片作为GPS接收机的射频前端,使用ZARLINK公司推出的GP4020芯片进行GPS信号的基带处理,该芯片内嵌ARM7核作为微处理器,在上位机显示处理结果.具体包括了接收机外围扩展电路的设计以及软件开发环境的建立和软件开发过程.该平台可用以测试不同的GPS算法,扩展性强,应用前景广泛.

关键词： GPS接收机 G94020 ARM 基带信号处理

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微型压电能量采集器的仿真、制造与测试

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压电与声光 2010年第6期32卷 981-984页

作者：孙健李以贵刘景全杨春生何丹农上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 纳米技术及应用国家工程研究中心上海200241

理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和... 详细信息

理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则。采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁。使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和电压输出的频率响应。设计一套振动能量采集器测试装置,并对器件进行测试。测试结果表明,所制得的器件固有频率为2 580 Hz,在10 m/s2的正弦加速度激励下,其输出峰-峰值电压达1.58 V,测试结果与仿真分析基本吻合。

关键词：悬臂梁压电能量采集器键合固有频率

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纳米压印中残余胶刻蚀工艺研究

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半导体技术 2010年第4期35卷 357-360页

作者：黄康李海华王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200240

压印光刻在图形转移之后,需要去除残留在凹槽底部的胶。采用RIE工艺对紫外压印胶的刻蚀速率进行了研究。结果表明,随着气压或气体流量增大,刻蚀速率均会先增加,达到一定值后又开始下降;在刻蚀气体中加入SF_6后,会减少钻蚀,但刻蚀速率会... 详细信息

压印光刻在图形转移之后,需要去除残留在凹槽底部的胶。采用RIE工艺对紫外压印胶的刻蚀速率进行了研究。结果表明,随着气压或气体流量增大,刻蚀速率均会先增加,达到一定值后又开始下降;在刻蚀气体中加入SF_6后,会减少钻蚀,但刻蚀速率会有少许下降;而在刻蚀气体中加入少量SF_6且压强及流量较大时,各部分的刻蚀速率一致性较好。由此得到了一个优化后的刻蚀条件,反应气体:O_2+SF_6,气体流量分别为40 cm^3/min和5 cm^3/min,压强9.31 Pa,RF功率20 W,此时刻胶速率可稳定在0.8μm/min左右,且均匀性较好。

关键词：纳米压印反应离子刻蚀去胶速率正交试验

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新基因NBEAL1的克隆、表达、纯化及其与胶质瘤病理分级的相关性

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中国肿瘤生物治疗杂志 2010年第1期17卷 77-81页

作者：鲍晨晨杨浩李娜刘彬宋华盛平胡国汉崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院生物纳米工程研究室微纳制造技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 第二军医大学附属长征医院脑外科上海200003

目的:构建新基因neurobeachin like1(NBEAL1)的表达载体,研究NBEAL1的表达与胶质瘤病理分级的相关性。方法:提取人脑胶质瘤细胞U251的总RNA,构建pGEX-KG/NBEAL1表达载体,转化大肠杆菌BL21,IPTG诱导NBEAL1重组蛋白的表达,GST亲和纯化,Wes... 详细信息

目的:构建新基因neurobeachin like1(NBEAL1)的表达载体,研究NBEAL1的表达与胶质瘤病理分级的相关性。方法:提取人脑胶质瘤细胞U251的总RNA,构建pGEX-KG/NBEAL1表达载体,转化大肠杆菌BL21,IPTG诱导NBEAL1重组蛋白的表达,GST亲和纯化,Western blotting鉴定重组蛋白的纯度;以免疫组化法用纯化蛋白制备的单克隆抗体分析NBEAL1表达与胶质瘤病理分级的相关性。结果:NBEAL1基因片段被成功地克隆入pGEX-KG表达载体,测序证实克隆片段序列正确。NBEAL1融合蛋白在大肠杆菌BL21包涵体中表达,表达量占菌体总蛋白的30%以上,纯化的重组蛋白纯度95%以上。Western blotting证明所纯化的蛋白含有GST标签与NBEAL1肽段。免疫组化法检测显示NBEAL1蛋白的表达在正常脑组织中较低,而在低级别的脑胶质瘤组织中表达明显上调,但随着恶性程度增加NBEAL1的表达程度降低,两者呈负相关。结论:成功地克隆、表达及纯化NBEAL1蛋白,NBEAL1蛋白在人脑胶质瘤组织中的表达与其恶性程度呈负相关。

关键词： neurobeachin like1(NBEAL1) 基因克隆基因表达脑胶质瘤

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提高微结构表面在镀液中的润湿性

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微纳电子技术 2010年第11期47卷 708-712,717页

作者：李光杨汪红谭姣姣杨卓青姚锦元丁桂甫上海交通大学微纳米科学技术研究院微/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室上海200240 江南大学信息工程学院江苏无锡214122

为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FT... 详细信息

为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。

关键词：光刻胶表面改性接触角润湿性微结构

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微型压电振动能量采集器的研究进展

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机械设计与研究 2010年第4期26卷 61-64,70页

作者：唐刚刘景全马华安柳和生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械动力系南昌330099 南昌大学机电工程学院南昌330031

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,... 详细信息

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,以及未来的发展趋势。

关键词：压电振动能量采集器微机电系统

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新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究

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微纳电子技术 2010年第3期47卷 179-182,192页

作者：李中杰林宏姜学松王庆康印杰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 化学化工学院高分子材料研究所上海200240

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完... 详细信息

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完成。实验得到光刻胶掩膜膜厚为1.21μm,结构尺寸深246nm,周期937.5nm。实验结果表明,在没有对石英模板表面进行修饰的情况下,该光刻胶依然表现出高可靠性和高图形转移分辨率,有效减少了紫外纳米压印工艺中的模板抗粘修饰的工艺步骤。

关键词：紫外纳米压印微/纳米尺寸图形硅片衬底修饰抗粘连层图案复制

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静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计

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现代电子技术 2010年第18期33卷 110-113页

作者：覃贞妮刘武陈文元崔峰张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DD... 详细信息

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DDS信号发生器,并分别采用并行和串行2种方式加载芯片控制字,均可生成多路频率相位可调的信号发生器,具有频率稳定性好,频率准确度高及频率分辨率高,相位差精准的特点。

关键词：信号发生器 DDS 同步并行加载串行加载

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