检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2012年第8期49卷 498-502+556页

作者：李翔耿会娟张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室

针对目前基于p型硅片制备的单结太阳电池进一步提高表面钝化膜生产效率,利用氮化硅(SiNx)薄膜良好的钝化效果与价格低廉的二氧化钛(TiO2)膜,降低SiNx镀膜厚度减薄对少子寿命的影响。在单晶硅片表面先用PECVD法沉积SiNx薄膜,然后用热喷... 详细信息

针对目前基于p型硅片制备的单结太阳电池进一步提高表面钝化膜生产效率,利用氮化硅(SiNx)薄膜良好的钝化效果与价格低廉的二氧化钛(TiO2)膜,降低SiNx镀膜厚度减薄对少子寿命的影响。在单晶硅片表面先用PECVD法沉积SiNx薄膜,然后用热喷涂沉积TiO2薄膜。对比测试了热喷涂沉积TiO2薄膜前后电池的性能,结果表明在SiNx膜上增加TiO2膜层后少子寿命明显提高,这可能是TiO2膜结构内存在固定正电荷所致。这种双层结构封装后的太阳电池显示出了较好的光学与电学性能,对进一步改进太阳电池性能具有重要参考价值。

关键词：太阳电池减反射钝化 TiO2 SiNx

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GMR免疫芯片的蛋白质固定及检测研究

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功能材料与器件学报 2012年第6期18卷 437-442页

作者：谭抑扬冯洁陈翔刘强雷冲周勇上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀、及剥离工艺等技术和方法,制备了多层膜结构的阵列式巨磁电阻(giant magneto resistive,GMR)传感器芯片,可同时对多指标进行检测,并研究了GMR生物传感器上蛋白质分子的固定及检测。传感器表面通过等离... 详细信息

采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀、及剥离工艺等技术和方法,制备了多层膜结构的阵列式巨磁电阻(giant magneto resistive,GMR)传感器芯片,可同时对多指标进行检测,并研究了GMR生物传感器上蛋白质分子的固定及检测。传感器表面通过等离子体与聚乙烯亚胺(polyethyleneimine,PEI)修饰后,可特异性地结合抗体分子。在蛋白质分子的固定实验中,使用人免疫球蛋白G(im-munoglobulin G,IgG)作为探针修饰在传感器表面,以捕获生物素标记的驴抗人IgG,,并通过亲和素标记过的直径300nm的超顺磁磁珠检测GMR生物传感器的信号。本实验对五种浓度的驴抗人IgG进行了检测,得到了4～164mΩ的GMR电阻变化值,且GMR信号与驴抗人IgG的浓度呈半对数关系。该阵列式GMR传感器芯片可用于定量检测生物样品中某种或某几种蛋白浓度的实验,并有望未来应用于临床检测中。

关键词： GMR 免疫芯片 PEI 蛋白质固定磁珠

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碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究

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微纳电子技术 2012年第1期49卷 45-49页

作者：陈海燕陈长鑫戴振清杨志魏良明徐东张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室

基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵... 详细信息

基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵敏开关特性的场效应晶体管(FET),该FET器件的开关比达到105。将此FET器件作为气体传感芯片用于甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体分子的检测。结果显示,当通入DMMP气体时,器件的阈值电压向负栅电压方向移动。当DMMP体积分数为5×10-6,栅压为-10 V时,器件的灵敏度达到32%,响应时间为300 s。在15 V的栅压下器件能够很快地实现气体解吸附。

关键词：碳纳米管场效应器件气体传感器解吸附 SiO2/Si

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基于GMR生物传感器的甲胎蛋白检测

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微纳电子技术 2012年第4期49卷 254-257页

作者：刘庆胜冯洁郅晓周勇上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀和剥离工艺等工艺和方法,制备了多层膜结构的巨磁阻(GMR)生物传感器件,并利用此种传感器来检测甲胎蛋白。在传感器表面通过生物处理固定甲胎蛋白单克隆抗体(McAb1)作为探针,以捕获目标抗原———甲胎蛋... 详细信息

采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀和剥离工艺等工艺和方法,制备了多层膜结构的巨磁阻(GMR)生物传感器件,并利用此种传感器来检测甲胎蛋白。在传感器表面通过生物处理固定甲胎蛋白单克隆抗体(McAb1)作为探针,以捕获目标抗原———甲胎蛋白。用直径1μm的超顺磁磁珠标记目标抗原。当传感器表面抗体将目标抗原捕获后,磁珠标记即被固定在GMR传感器的表面。垂直于传感器表面施加230 Oe(1 Am-1=4π×10-3 Oe)的磁场,即可检测到由磁珠产生的信号。本实验对质量浓度为1 ng/mL的甲胎蛋白进行了检测,得到了信号为0.29～0.34Ω的电阻变化值。此种检测方法可用于诊断原发性肝癌。

关键词：巨磁阻(GMR) 生物传感器甲胎蛋白(AFP) 微磁珠生物检测

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低压空气中直流电弧法制备单壁碳纳米管

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功能材料与器件学报 2012年第3期18卷 192-196页

作者：周鹏苏言杰赵江杨志张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文以Fe-S为催化剂、低压空气为缓冲气体采用直流电弧放电法首次大量合成低成本、高质量的单壁碳纳米管。实验结果表明在电弧放电过程中通过控制空气流量,使得电弧腔室压强保持在6～12 KPa为最优制备条件。采用扫描电子显微镜(SEM)和... 详细信息

本文以Fe-S为催化剂、低压空气为缓冲气体采用直流电弧放电法首次大量合成低成本、高质量的单壁碳纳米管。实验结果表明在电弧放电过程中通过控制空气流量,使得电弧腔室压强保持在6～12 KPa为最优制备条件。采用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对样品的形貌和结构进行表征,结果表明该方法所制备的单壁碳纳米管具有较高结晶度,管壁表面光滑、其直径为1.5～6.0 nm.采用低压空气电弧放电法有望成为低成本、大量制备高质量单壁碳纳米管的重要技术手段之一。

关键词：单壁碳纳米管电弧放电法空气气氛连续气流

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自重构移动微机器人设计与自动对接

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自动化与仪表 2012年第1期27卷 1-5页

作者：杨帆张大伟李振波陈佳品崔莉莉上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计了一种模块化的自重构移动微机器人系统。系统中的每个微机器人模块既可作为动力单元,拖动其它模块进行更远距离的探测,也可自动脱离成为无线通信节点,拓展整个系统的通信距离。通过这2种方式扩展了单个微型移动机器人的探测范围。... 详细信息

设计了一种模块化的自重构移动微机器人系统。系统中的每个微机器人模块既可作为动力单元,拖动其它模块进行更远距离的探测,也可自动脱离成为无线通信节点,拓展整个系统的通信距离。通过这2种方式扩展了单个微型移动机器人的探测范围。研制了由1个红外接收器和4个红外发射器组成的导引系统,并基于其设计了一种新型的自动对接方法。最后进行了微机器人之间的对接实验,验证了该方法具有很高的效率和可靠性。

关键词：微型移动机器人自重构自动对接红外导引

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自重构微型移动机器人红外定位与对接

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仪表技术与传感器 2012年第9期 78-80页

作者：蔡方伟张大伟李振波陈佳品上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

自动对接一直被认为是自重构机器人领域内最具有挑战性的一个研究难点,是其区别于可重构机器人的重要特征。文中给出了一种简单的基于红外传感的对接方法,用于自重构微型移动机器人。设计了由1个红外接收器和4个红外发射器组成的红外定... 详细信息

自动对接一直被认为是自重构机器人领域内最具有挑战性的一个研究难点,是其区别于可重构机器人的重要特征。文中给出了一种简单的基于红外传感的对接方法,用于自重构微型移动机器人。设计了由1个红外接收器和4个红外发射器组成的红外定位系统。通过采用红外集中对准和动态路径规划的控制方法,使微机器人之间的自动对接具有很高的效率和可靠性。通过两个微机器人之间的对接实验,验证了该方法的可行性。

关键词：自重构微型移动机器人对接红外

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一种新型电流控制CMOS振荡器电路设计

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电源技术 2012年第11期36卷 1697-1699页

作者：徐慧敏戴庆元罗超上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

设计了一种基于华虹0.35 mm BCD工艺的新型电流控制CMOS振荡器电路,中心频率为1 MHz,宽温度范围内具有占空比高稳定性。不同于传统电流控制CMOS振荡器拓扑,结构简单,通过反相器阈值电压控制电流对电容的充放电状态切换,消除了延迟时间... 详细信息

设计了一种基于华虹0.35 mm BCD工艺的新型电流控制CMOS振荡器电路,中心频率为1 MHz,宽温度范围内具有占空比高稳定性。不同于传统电流控制CMOS振荡器拓扑,结构简单,通过反相器阈值电压控制电流对电容的充放电状态切换,消除了延迟时间引起的上冲、下冲问题,具有良好的可移植性。Cadence Spectre仿真结果表明:-45～125℃范围内,振荡频率和占空比相对中心值的上下偏差分别为5.01%(-)到3.31%(+)、1.95%(-)到1.84%(+);方差分别为0.000 9、0.000 1。

关键词：振荡器电流控制占空比延迟时间开关电源

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用于电刺激的植入式铂黑微电极(英文)

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纳米技术与精密工程 2012年第2期10卷 103-107页

作者：芮岳峰刘景全杨春生上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

传统的植入式电刺激微电极表面积小,电极/组织界面阻抗高,并且电荷存储容量(CSC)小,这些都会增加植入式系统的功耗并影响电刺激效果.提出了一种在电极点电镀铂黑的方法来增加微电极的有效面积(ESA).通过在超声波浴下使用脉冲电流电镀的... 详细信息

传统的植入式电刺激微电极表面积小,电极/组织界面阻抗高,并且电荷存储容量(CSC)小,这些都会增加植入式系统的功耗并影响电刺激效果.提出了一种在电极点电镀铂黑的方法来增加微电极的有效面积(ESA).通过在超声波浴下使用脉冲电流电镀的方法,可以极大地增加微电极的ESA,降低界面阻抗并增加CSC和电荷注入容量.铂黑微电极的几何特性和电学特性分别由扫描电子显微镜(SEM)和电化学分析仪测定,并与未镀铂黑的电极特性进行了对比,对铂黑镀层的机械稳定性也做了相应的测试.实验结果表明,铂黑镀层的纳米结构使铂黑电极相比普通铂电极界面阻抗降低了1/16,CSC扩大13倍.在5 min的室温超声波衰减实验中,阴极电荷存储容量(CSCC)仅减小20%.

关键词：生物医学工程派瑞林微电极植入式铂黑

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非晶硅薄膜太阳电池的研究进展及发展方向

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太阳能学报 2012年第S1期33卷 1-6页

作者：李海华王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院"薄膜与微细技术"教育部重点实验室 "微米纳米加工技术"国家级重点实验室上海200240

介绍了非晶硅薄膜太阳电池的最新研究进展,微纳光学结构和金属表面等离子体特性引入到非晶硅薄膜太阳电池可大大降低薄膜厚度和提高光电转换效率。叠层串联的非晶硅太阳电池及非晶硅和多晶硅、单晶硅组成的异质结结构可增加宽带太阳光... 详细信息

介绍了非晶硅薄膜太阳电池的最新研究进展,微纳光学结构和金属表面等离子体特性引入到非晶硅薄膜太阳电池可大大降低薄膜厚度和提高光电转换效率。叠层串联的非晶硅太阳电池及非晶硅和多晶硅、单晶硅组成的异质结结构可增加宽带太阳光谱吸收范围,提高光电转换效率,是非晶硅薄膜电池的发展方向。

关键词：非晶硅太阳电池叠层微纳结构异质结

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