检索结果-内蒙古大学图书馆

微细加工技术 2007年第2期2卷 60-64页

作者：魏星侯中宇徐东张亚非蔡炳初上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空... 详细信息

采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空烘箱内加热至100℃,干燥1 h,最后350℃烧结40 min,所获得的碳纳米管薄膜具有较好的导电性和较平整的表面.根据测量结果,优化了工艺参数,并结合微细加工技术获得了碳纳米管MEMS微电极.

关键词：碳纳米管薄膜丝网印刷微电极 MEMS

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波导型表面等离子体共振传感器传感特性计算

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微纳电子技术 2007年第12期44卷 1063-1067页

作者：吴斌王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长。通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体... 详细信息

介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长。通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体共振吸收峰的透射谱。通过比较不同折射率被测物的透射谱,粗略确定了集成波导型表面等离子体传感器的检测范围。

关键词：表面等离子体共振传感器理论模型共振波长透射谱

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PCR温度控制技术的研究进展

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测控技术 2007年第11期26卷 20-22,26页

作者：陈实张卫平陈文元邵诗逸牛志强上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统... 详细信息

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统,得到了令人满意的温度控制效果。

关键词：聚合酶链反应温度控制 PID 模糊逻辑

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低应力Ni–W/Ni叠层微模具的制备与特性

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电镀与涂饰 2007年第8期26卷 7-9页

作者：汪红姚锦元戴旭涵王志民朱军赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

采用UV-LIGA技术和Ni–W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni–W沉积层。研究了热处理条件对低应力Ni–W电沉积层硬度的影响。考察了沉积态及热处理态的Ni–W层、Ni层的耐磨性。结果发现,热处理后Ni–W/Ni叠层微模具界面结合... 详细信息

采用UV-LIGA技术和Ni–W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni–W沉积层。研究了热处理条件对低应力Ni–W电沉积层硬度的影响。考察了沉积态及热处理态的Ni–W层、Ni层的耐磨性。结果发现,热处理后Ni–W/Ni叠层微模具界面结合良好,在干摩擦条件下,经过热处理的Ni–W层的耐磨性是Ni层的6倍;在550°C、2h真空热处理条件下,Ni–W电沉积层应力最低,为230MPa,硬度大于950HV。

关键词：微模具喷嘴电沉积 Ni-W合金 UV-LIGA(紫外-光刻、电铸、复写技术) 低应力耐磨性

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移动网格路由协议MMRP的研究与模拟

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微处理机 2007年第5期28卷 38-40,44页

作者：于慰李振波唐晓宁陈佳品薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验... 详细信息

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验结果表明:MMRP是一种健壮的、有效的移动Ad Hoc路由协议。

关键词： Ad Hoc网络 MMRP协议 UDP套接字周期性 LSP数据报

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NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会

作者：牛永波冯洁上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待... 详细信息

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待测生物分子的标记物,借助 GMR 传感器来检测磁微球发出的微小磁场,以此达到定性及定量检测被标记生物分子的目的。要在生物传感器中得到应用,对 GMR 材料通常有如下的特性要求：低场下取得大的 GMR 效应, 饱和场低,磁滞小等。针对以上的要求,我们采用直流磁控溅射法,制备了 NiFeCo/Cu 多层膜,其具体结构如下：NiFeCo（缓冲层）/[NiFeCo/Cu]× /NiFeCo/Ta。研究了室温下 NiFeCo/Cu 多层膜的 GMR 效应对缓冲层（NiFeCo）厚度、间隔层（Cu）厚度、以及铁磁层（NiFeCo）厚度等三个参数的依赖关系。通过优化制备条件,得到了最大 GMR 值为8．8％,且饱和场较低、磁滞小的多层膜样品,其各结构参数为：缓冲层（NiFeCo）5nm,间隔层（Cu）2．4nm,铁磁层（NiFeCo）1．6nm。本研究还对部分多层膜样品进行了真空下的磁场退火处理, 并对比了退火前后的 GMR 特性,结果表明：一定条件下的退火处理可以降低磁滞,改善多层膜样品的特性,但是退火后样品的饱和场增大,而且部分样品在退火后,磁场灵敏度也会降低。因此我们认为：对于本研究所制备的多层膜,可以不进行退火处理。本研究所制备的沉积态 NiFeCo/Cu多层膜的 GMR 特性符合磁性生物传感器的应用要求。

关键词：多层膜 GMR 生物分子巨磁电阻 NiFeCo/Cu

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基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试

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2007年上海市电子电镀学术年会

作者：杨卓青丁(火圭)甫蔡豪刚赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后... 详细信息

0 UV-LIGA 工艺的金属封装壳,采用叠层电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g 加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms。将测试后的器件打开后发现,封装壳内没有任何灌封聚合物残留,证实了设计并制作的封装壳完全满足器件实际工作要求。

关键词： UV-LIGA 工艺封装落锤实验

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人造视网膜生物电极阵列研究

人造视网膜生物电极阵列研究

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2007中国生物医学工程联合学术年会

作者：刘舒维陈迪张保增陈翔刘景全朱军柴新禹任秋实上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学微纳科学技术研究院上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学生命科学技术学院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而... 详细信息

采用MEMS技术,在聚酰亚胺柔性村底上制备出了具有生物兼容性的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物兼容性;采用PDMS作为基底,在器件的释放中不仅简易而且无毒,对器件也无损害。

关键词：生物电极生物兼容性 MEMS技术

来源：评论

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夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究

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功能材料 2006年第2期37卷 194-196,199页

作者：商干兵周勇余先育丁文周志敏曹莹上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hex... 详细信息

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hext为0．8kA／m时巨磁阻抗效应最大值达到32．06％。另外，夹心结构多层膜表现出较大的负巨磁阻抗效应，在频率5MHz，Hext=9．6kA／m时，负最大巨磁阻抗效应可达-24．50％。

关键词：巨磁阻抗效应夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术

来源：评论

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基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析

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传感技术学报 2006年第3期19卷 637-641页

作者：董明惠春徐爱兰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理,耦合场分析原理以及ANSYS软件在压电分析中的具体应用。以压电式四臂加速度计为例,使用ANSYS软件对其进行了静态,模态等分析,得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的影响。在模态分... 详细信息

介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理,耦合场分析原理以及ANSYS软件在压电分析中的具体应用。以压电式四臂加速度计为例,使用ANSYS软件对其进行了静态,模态等分析,得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的影响。在模态分析中得出了加速度计的前三阶固有频率和与之对应的振动形态。本文的结果可以直接应用到加速度计结构的优化设计。

关键词： MEMS 微加速度计耦合场 ANSYS

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