检索结果-内蒙古大学图书馆

微细加工技术 2006年第1期 32-35页

作者：唐逸杨春生马骏上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用射频磁控溅射与微细加工技术,制得Cu/BST/Pt/Ti/SiO2/Si的MIM(金属-绝缘体-金属)微电容结构。研究了不同退火时间、薄膜厚度对钛酸锶钡(BST)纳米薄膜介电常数和漏电流密度的影响,结果表明,随着退火时间的延长,BST纳米薄膜结晶度提高... 详细信息

采用射频磁控溅射与微细加工技术,制得Cu/BST/Pt/Ti/SiO2/Si的MIM(金属-绝缘体-金属)微电容结构。研究了不同退火时间、薄膜厚度对钛酸锶钡(BST)纳米薄膜介电常数和漏电流密度的影响,结果表明,随着退火时间的延长,BST纳米薄膜结晶度提高,介电常数增加,退火30 min的纳米薄膜具有最高的介电常数和较小的漏电流密度。同时还得出介电常数随薄膜厚度的减少而减少,在0.1 MV/cm下,90 nm和50 nm薄膜的漏电流密度分别为5.35×10-8A/cm2和6×10-6A/cm2。

关键词： BST 磁控溅射膜厚介电性能

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基于无机纳米粒子模板刻蚀的纳米阵列

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纳米科技 2006年第3期3卷 23-26页

作者：朱林佩王英张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室．薄膜与微细技术教育部重点实验室上海210000

阐述了利用不同的方法，如自组装、嵌段共聚物辅助等方法在基底表面形成一层均匀的无机材料纳米粒子掩模，以此作为模板进行刻蚀，可得到各种纳米图形和纳米结构。这一方法具有操作简单、成本低、可批量生产等优点，在纳米电子器件等领... 详细信息

阐述了利用不同的方法，如自组装、嵌段共聚物辅助等方法在基底表面形成一层均匀的无机材料纳米粒子掩模，以此作为模板进行刻蚀，可得到各种纳米图形和纳米结构。这一方法具有操作简单、成本低、可批量生产等优点，在纳米电子器件等领域具有广泛的应用前景。

关键词：纳米粒子模板纳米阵列刻蚀

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基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计

基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计

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2006年全国电子机械和微波结构工艺学术会议

作者：左德参冯敏华彭松林曹雯陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

介绍了一种基于8051内核的无线射频传输芯片 nRF9E5,采用该芯片制作了扑翼微型飞行器的遥控系统,对遥控系统的收发装置进行了硬件设计,并对设计出的硬件系统进行了软件编程和系统的调试,实验表明,该系统具有成本少、功耗低、尺寸小的特... 详细信息

介绍了一种基于8051内核的无线射频传输芯片 nRF9E5,采用该芯片制作了扑翼微型飞行器的遥控系统,对遥控系统的收发装置进行了硬件设计,并对设计出的硬件系统进行了软件编程和系统的调试,实验表明,该系统具有成本少、功耗低、尺寸小的特点,能以较高质量在200～300米范围内进行信号的无线传输。

关键词：扑翼微型飞行器遥控系统射频 nRF9E5

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几种纳米加工技术的原理、特点及其应用

几种纳米加工技术的原理、特点及其应用

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2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会

作者：赵保军王英张亚非上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

纳米加工技术的发展将带来现代工业和社会文明的极大进步.本文从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术,纳米掩膜刻蚀加工技术,探针直接书写式纳米加工技术,纳米复制加工技术,以及其衍生的纳米加工技术的原理、特点及其应用.

关键词：纳米加工掩膜刻蚀浸笔纳米印刷微接触印刷纳米压印半导体加工

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场发射硅锥阵列的干法制备与研究

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微细加工技术 2006年第1期 56-60页

作者：王芸徐东吴茂松王莉钱开友叶枝灿蔡炳初上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 Honey well公司上海传感器实验室上海200030

阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个均匀分布的10×12的硅锥阵列,得到了曲率半径为25 nm^35 nm且具有良好一致性的尖锥。当阵列的场发射... 详细信息

阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个均匀分布的10×12的硅锥阵列,得到了曲率半径为25 nm^35 nm且具有良好一致性的尖锥。当阵列的场发射起始电压为1.4 V/μm,场强为9.2 V/μm时,单个硅锥的发射电流达到8.3 nA,并且性能较为稳定。

关键词：硅锥干法刻蚀 RIE 场发射

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基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计

基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计

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2006年电子机械和微波结构工艺学术会议

作者：左德参冯敏华彭松林曹雯陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了一种基于8051内核的无线射频传输芯片nRF9E5,采用该芯片制作了扑翼微型飞行器的遥控系统,对遥控系统的收发装置进行了硬件设计,并对设计出的硬件系统进行了软件编程和系统的调试,实验表明,该系统具有成本少、功耗低、尺寸小的特点... 详细信息

介绍了一种基于8051内核的无线射频传输芯片nRF9E5,采用该芯片制作了扑翼微型飞行器的遥控系统,对遥控系统的收发装置进行了硬件设计,并对设计出的硬件系统进行了软件编程和系统的调试,实验表明,该系统具有成本少、功耗低、尺寸小的特点,能以较高质量在200～300米范围内进行信号的无线传输.

关键词：扑翼微型飞行器遥控系统射频 nRF9E5

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阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究

阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究

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2006全国化工应用技术开发热点研讨会

作者：杨卉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法.以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜.... 详细信息

研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法.以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜.对实验产物纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析,并探讨了氧化铝纳米线薄膜的生成机理.

关键词：阳极氧化铝阳极氧化法纳米线薄膜

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采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层

采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：顾盼刘景全陈迪孙洪文上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.本文针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法... 详细信息

摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.本文针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法制得的薄膜与自组装(SAMs)薄膜在浸润角、表面能、表面粗糙度等方面进行了对比.

关键词：反应离子刻蚀表面能微机电系统防粘连膜

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三维微弹簧型MEMS探卡的设计和制备

三维微弹簧型MEMS探卡的设计和制备

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：靖向萌陈迪张晔张保增刘景全陈翔朱军上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

随着IC器件上的I/O尺寸减小和密度增加,与之通过接触来进行电性能测试的探卡密度也要相应增加,传统手工制作的环氧树脂针形探卡难以满足使用要求,使用MEMS技术制作探卡成为发展的趋势,但是当前MEMS探卡的主要问题是不能承受和产生破坏... 详细信息

随着IC器件上的I/O尺寸减小和密度增加,与之通过接触来进行电性能测试的探卡密度也要相应增加,传统手工制作的环氧树脂针形探卡难以满足使用要求,使用MEMS技术制作探卡成为发展的趋势,但是当前MEMS探卡的主要问题是不能承受和产生破坏焊垫表面氧化层和污染层所需的应力.本文提出了一种简支梁结构、通过多次电镀工艺制作的三维弹性MEMS探卡,这种探卡可以承受更大应力,并且具有较小的自身电阻.针对间距为250 μm阵列排布的器件I/O,使用ANSYS有限元方法对弹簧型探卡进行了结构分析和设计,采用UV-LIGA工艺制备探卡,最后对探卡的力学性能进行了测试.

关键词：探卡微弹簧 MEMS IC器件

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新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展

新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展

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2006年国防光学及光电子学学术研讨会暨中国兵工学会光学专业委员会成立25周年年会

作者：刘汉玉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了新颖的纳米结构亚波长光学器件的特点,从器件的基本功能特性和工作机理两个方面详细讨论了其应用状况,并阐述了纳米制造技术对亚波长光学器件发展的重要推动作用及这一领域今后的研究热点。

关键词：亚波长光学器件纳米制造纳米结构

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