检索结果-内蒙古大学图书馆

微细加工技术 2008年第6期 19-21页

作者：王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工教育部重点实验室上海200240

首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适... 详细信息

首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变。

关键词：生物MEMS 微流体系统反应离子刻蚀 ParyleneC

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片上多机系统动态总线仲裁器设计与应用

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微处理机 2008年第6期29卷 2-4,8页

作者：王志涛王森章杨李贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机... 详细信息

通过对现在存在的仲裁器类型进行研究,设计了一种基于FIFO状态的动态仲裁器,解决了传统仲裁器对带宽响应不足的问题。同时在Altera芯片构造的片上多机系统中进行了仿真测试,证明了该设计在不影响请求响应时间的基础上,能动态调整处理机的带宽比率,满足设计要求。

关键词：仲裁策略动态优先级带宽主器件

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用X光光刻法制备亚波长抗反射结构

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微细加工技术 2008年第1期 14-16,34页

作者：李以贵杉山进上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 日本立命馆大学微系统系

为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长纳米结构,即抗反射结构。设计... 详细信息

为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长纳米结构,即抗反射结构。设计了适用于可见光波段的二维亚波长抗反射光栅,用X光光刻制作工艺在硅衬底上进行了实验制备。用此纳米加工技术获得了线宽为150 nm、高度约为450 nm(即深宽比为3.0)的PMMA减反射结构。同时还优化了曝光近接间隔、曝光剂量、显影时间等X光光刻参数。

关键词： X光光刻抗反射结构高深宽比纳米制造

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柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

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微纳电子技术 2008年第6期45卷 356-360页

作者：苏宇锋杨杰伟赵江铭刘武发陈文元郑州大学机电一体化研究所郑州450001 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家重点实验室上海200030

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采... 详细信息

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化,制作内嵌磁体阵列的硅橡胶膜,对磁体磁化后可作为双向驱动器。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,采用有限元分析工具ANSYS对微驱动器的电磁驱动力及其挠度进行分析,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%,其一阶固有频率的分析误差为16.1%。

关键词：微型驱动器电磁驱动硅橡胶数值模拟电镀

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柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

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微细加工技术 2008年第2期 43-47页

作者：吴义伯邢玉梅倪鹤南徐爱兰惠春任秋实李刚上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室上海200050

采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。

关键词：微电极阵列聚对二甲苯微加工工艺柔性基底视网膜修复

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扑翼微飞行器飞行时的数值模拟与分析(英文)

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空气动力学学报 2007年第1期25卷 125-131,136页

作者：左德参彭松林张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用数值方法求解三维非定常不可压缩的N-S方程,生成了相应的扑翼微飞行器的三维动网格;模拟了扑翼微飞行器在不同频率、不同攻角、不同振幅、不同飞行速度、不同的翅膀初始位置下的非稳态流场;计算了扑翼微飞行器在不同运动模态下的升... 详细信息

采用数值方法求解三维非定常不可压缩的N-S方程,生成了相应的扑翼微飞行器的三维动网格;模拟了扑翼微飞行器在不同频率、不同攻角、不同振幅、不同飞行速度、不同的翅膀初始位置下的非稳态流场;计算了扑翼微飞行器在不同运动模态下的升阻力系数;分析了影响扑翼微飞行器空气动力学的特性的不同因素;为扑翼微飞行器的飞行机制和建造提供了理论依据。

关键词：数值模拟扑翼微飞行器动网格低雷诺数

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高Fe_3O_4含量单分散P(St/AA)复合微球的合成与表征

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高分子学报 2007年第8期17卷 731-736页

作者：贺枰崔陇兰强伟丽徐宏古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

在表面由十一烯酸和油酸共同修饰的Fe3O4磁流体存在下,以苯乙烯(St)和丙烯酸(AA)为共聚单体,用细乳液聚合法,制备了单分散,高Fe3O4含量,且表面带有羧基的超顺磁性高分子复合微球.采用透射电镜(TEM),热重分析(TGA),物性测量系统(PPMS),Z... 详细信息

在表面由十一烯酸和油酸共同修饰的Fe3O4磁流体存在下,以苯乙烯(St)和丙烯酸(AA)为共聚单体,用细乳液聚合法,制备了单分散,高Fe3O4含量,且表面带有羧基的超顺磁性高分子复合微球.采用透射电镜(TEM),热重分析(TGA),物性测量系统(PPMS),Zeta电位以及红外光谱等手段对磁性复合微球的各项性能进行表征.结果表明,Fe3O4粒子的表面改性是影响复合微球Fe3O4含量及形貌的关键因素.在优化的实验条件下,可以制得Fe3O4含量高达77wt%,平均粒径为137·9nm,表面羧基密度0·0894mmol/g,比饱和磁化强度为44·7emu/g的单分散超顺磁性高分子复合微球.

关键词：细乳液超顺磁性复合微球羧基表面改性

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锌基碳纳米管复合材料的界面特性及增强机理

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复合材料学报 2007年第4期24卷 88-94页

作者：吴惠箐丁桂甫王裕超汪红上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

通过复合电沉积技术制备了锌基碳纳米管复合薄膜。其中,碳纳米管表面的锌沉积层平滑连续,无明显界面缺陷,与其它金属基碳纳米管复合材料相比,这种独特的界面形貌是值得注意的。在对材料变形区的观察中发现,在薄膜变形的过程中,适中的结... 详细信息

通过复合电沉积技术制备了锌基碳纳米管复合薄膜。其中,碳纳米管表面的锌沉积层平滑连续,无明显界面缺陷,与其它金属基碳纳米管复合材料相比,这种独特的界面形貌是值得注意的。在对材料变形区的观察中发现,在薄膜变形的过程中,适中的结合强度将允许碳纳米管与基体发生界面脱黏,碳纳米管被拔出基体后桥联在裂纹中。虽然界面结合受到损伤,但是仍然可以有效地传递应力。当裂纹继续扩展,碳纳米管石墨片层开裂,直至完全断裂。同时,这些桥连在裂纹中的碳纳米管趋向于向垂直于裂纹的方向滑移,它们在基体中移动时会对基体造成一定程度的损伤。这些过程都将消耗大量的破断能,从而起到对基体的增强效果。锌基碳纳米管复合薄膜的平均硬度由HV178.3上升至HV493.5。

关键词：碳纳米管纤维增强金属基复合材料界面特性增强机制

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纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能

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压电与声光 2007年第1期29卷 68-70页

作者：李敏惠春徐爱兰汪静孙建平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性... 详细信息

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。

关键词： PZT薄膜传统热处理快速热处理

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细乳液法合成单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯复合微球

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功能材料 2007年第2期38卷 272-275页

作者：强伟丽王祎龙贺枰徐宏古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用细乳液聚合法,以3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH570)表面改性的直径50nm的氧化硅粒子为核,在乳化剂、助乳化剂、引发剂存在的情况下制备了小粒径、单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。研究表明,苯乙烯的浓度、超声细... 详细信息

采用细乳液聚合法,以3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH570)表面改性的直径50nm的氧化硅粒子为核,在乳化剂、助乳化剂、引发剂存在的情况下制备了小粒径、单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。研究表明,苯乙烯的浓度、超声细乳化时间,是制备这种小粒径、单分散、单核核壳结构的氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球的关键因素。透射电镜(TEM)的观察显示,在优化的实验条件下,可以制得平均粒径95nm,壳厚20nm,粒径均一、球形规整度较好、单核核壳结构的氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。其平均粒径远低于用其它聚合方法制备的复合微球。

关键词：细乳液聚合单核核壳结构纳米复合微球氧化硅

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