检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2020年第2期39卷 18-21,25页

作者：剡笑田王明浩郭哲俊陈翔刘景全上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室

通过加权主成分分析来对峰电位进行提取特征和降维,再利用高斯混合模型聚类算法对特征进行聚类,实现峰电位分类。采用开放的仿真数据和开放的实测数据分析验证算法的可行性和分类精度,并与主成分分析提取特征的高斯混合模型(GMM)聚类和... 详细信息

通过加权主成分分析来对峰电位进行提取特征和降维,再利用高斯混合模型聚类算法对特征进行聚类,实现峰电位分类。采用开放的仿真数据和开放的实测数据分析验证算法的可行性和分类精度,并与主成分分析提取特征的高斯混合模型(GMM)聚类和加权主成分分析提取特征的K均值聚类2种方法进行了比较。仿真数据实验中,在噪声水平为0.05,0.10,0.15,0.20时,误分率分别为1.26%,1.43%,2.32%和3.37%,低于其他2种方法;实测数据实验中,恒河猴数据的平均J 3准则值为14.12,与其他2种方法相比,平均J 3准则值较大。

关键词：峰电位分类加权主成分分析高斯混合模型

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FPGA控制DDS与AGC的精密信号发生系统研究

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仪表技术与传感器 2019年第1期 55-58,63页

作者：王振瑜吴校生叔晟竹上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的频率由FPGA提... 详细信息

信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的频率由FPGA提供的频率控制字决定。信号发生源的信号幅值由AGC增益控制电压决定,FPGA通过控制DAC的输出模拟量改变增益控制电压。论文设计研究的信号发生系统频率分辨率可达0. 1 Hz,幅值分辨率达0. 1 V。

关键词：信号发生现场可编程门阵列直接数字合成自动增益控制频率分辨率幅值分辨率

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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用

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微纳电子技术 2025年第3期62卷 99-120页

作者：杨真陈靖元张朕泽祝梦娇黄家宝孙学成雷冲广西师范大学电子与信息工程学院广西桂林541004 广西师范大学广西类脑计算与智能芯片重点实验室广西桂林541004 广西师范大学广西高校集成电路与微系统重点实验室广西桂林541004 上海大学机电工程与自动化学院微电子研究与开发中心上海200444 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子系微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 详细信息

微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。

关键词：微电子机械系统(MEMS) 微型线圈磁敏传感器巨磁阻抗传感器磁通门传感器

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基于化学掺杂的碳纳米管二极管

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新型炭材料 2018年第5期33卷 476-480页

作者：宋传娟杨俊茹廖成浩刘晓东王英贺蓉董续盛钟汉清刘一剑张丽英陈长鑫山东科技大学机械电子工程学院山东青岛266590 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件... 详细信息

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。

关键词：单壁碳纳米管 p-i-n结二极管局部化学掺杂整流特性

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电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计

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半导体技术 2018年第12期43卷 912-917页

作者：沈国豪张卫平刘武魏志方邹逸飞微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传... 详细信息

微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传声器的带孔振动膜结构进行了优化。振动膜采用厚度各异的掺杂多晶硅-非掺杂多晶硅-掺杂多晶硅的特殊膜结构以得到低应力振动膜。采用特殊的防粘连结构以防止为了提高灵敏度可能带来的粘连现象。结构优化后的MEMS传声器分别采用顶部封装和底部封装两种方式进行封装,对实验样品进行测试,结果显示其灵敏度约为-41 dB,信噪比约为64 dB,参数值均符合市场行业标准,此MEMS传声器结构具有可行性。

关键词：微电子机械系统(MEMS)器件电容式传声器低应力振动膜防粘连结构顶(底)端开口封装

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一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器

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压电与声光 2018年第5期40卷 657-660页

作者：寻之宇张卫平周岁欧彬微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了... 详细信息

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。

关键词：压电驱动器一体双驱对称微机电系统悬臂梁式

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压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究

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仪表技术与传感器 2016年第9期 117-119页

作者：赵聪吴校生李国斌陈文元刘武崔峰张卫平上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海200240

文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通... 详细信息

文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通过比较有无电荷放大器作为负载接入压电谐振器的实验结果,发现带有电荷放大器的压电谐振器等效电路的谐振频率从346.119 k Hz降低至344.979 k Hz。得出结论:如果电荷放大器作用于压电谐振器负载端,应该关注它对谐振频率的影响。

关键词：压电谐振器电荷放大器电学负载谐振频率串联电阻导纳圆

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基于FPGA的压电陀螺数字化检测电路设计

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传感器与微系统 2016年第9期35卷 92-94页

作者：李国斌吴校生上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海200240

针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,... 详细信息

针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,制作的样机可以同时采集三路输出信号,并实时处理传给上位机显示。测得陀螺共振频率稳定在349.89 k Hz,上下波动范围8 Hz,参考端输出电压峰峰值的均方差为0.004 V。检测系统稳定,具有较高精度。研究的数字化检测电路能很好地应用于MEMS微陀螺检测信号的处理,提高MEMS微陀螺的稳定性和抗干扰性。

关键词：压电陀螺现场可编程门阵列数字检测 FIR滤波高精度高采样频率

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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计

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上海交通大学学报 2015年第11期49卷 1675-1679页

作者：刘军李海华王庆康上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法... 详细信息

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.

关键词：扭臂式静电驱动微执行器力矩法 Pull-in电压力电耦合分析方法

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扑翼微飞行器紫外激光加工技术

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半导体光电 2015年第4期36卷 657-660,666页

作者：张伟张卫平柯希俊邹阳柴双双叶以楠上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术... 详细信息

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3cm,最小尺寸为80μm的飞行器样机。

关键词：紫外激光非硅微加工碳纤维加工扑翼微飞行器

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