检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2005年第4期11卷 419-422页

作者：陈吉安茅昕辉赵晓昱丁文曹莹周勇上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海工程技术大学汽车工程学院上海200336

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1～40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm... 详细信息

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1～40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm、外加电场频率为25MHz时,应力阻抗效应达到-18.3%,在力敏传感器方面具有广阔的应用前景.

关键词：应力阻抗 FeSiB/Cu/FeSiB三层膜磁控溅射曲折状

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毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

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中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：陈佳品李振波唐晓宁薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微... 详细信息

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩。由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件。通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°。微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0～0.3mm。微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm。

关键词：毫米级全方位移动机器人微装配

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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究

纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究

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中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：王英杨明来张效岩蔡炳初徐东张亚非上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室保定天河电子技术有限公司上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刺蚀技术进行了纳米刘蚀研究。实验结果表明,采用纳米拉子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级... 详细信息

采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刺蚀技术进行了纳米刘蚀研究。实验结果表明,采用纳米拉子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀。

关键词： LB膜纳米粒子掩模纳米刻蚀

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UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

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中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：张晔陈迪张金娅朱军刘景全上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1。研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律。从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给... 详细信息

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1。研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律。从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶高深宽比微结构倒角

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细胞内磁热疗研究概述

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上海师范大学学报（自然科学版） 2005年第4期34卷 65-69页

作者：马勇杰古宏晨上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

热疗即加热疗法,是指通过升高肿瘤温度,利用热能杀灭癌细胞和肿瘤组织的一种物理疗法。通过在磁性纳米粒子表面进行各种修饰,提高磁性纳米粒子进入肿瘤细胞的效率及选择性,在体外交变磁场的作用下促使进入细胞内的纳米磁性粒子产热而杀... 详细信息

热疗即加热疗法,是指通过升高肿瘤温度,利用热能杀灭癌细胞和肿瘤组织的一种物理疗法。通过在磁性纳米粒子表面进行各种修饰,提高磁性纳米粒子进入肿瘤细胞的效率及选择性,在体外交变磁场的作用下促使进入细胞内的纳米磁性粒子产热而杀伤肿瘤细胞,这种方法称为细胞内磁热疗。作者就肿瘤细胞内磁热疗的研究进展作一综述。

关键词：细胞内磁热疗内吞作用纳米磁性粒子磁流体磁性脂质体

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FX2N可编程控制器温度检测与控制系统的设计

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微计算机信息 2005年第9S期21卷 61-63页

作者：陈远琪李胜勇赵堂忠张卫平广州白云山中药厂上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室中国网络通信集团公司湖北省分公司

本文介绍采用了一种FX2N可编程控制器对自动高速吸塑机发热砖模块进行温度检测与控制系统实现功能的设计。在温度控制输出过程中,采用PID控制器,对温度的采集数据进行计算,然后通过可编程控制器输出对发热砖模块间接控制,同时实现数字... 详细信息

本文介绍采用了一种FX2N可编程控制器对自动高速吸塑机发热砖模块进行温度检测与控制系统实现功能的设计。在温度控制输出过程中,采用PID控制器,对温度的采集数据进行计算,然后通过可编程控制器输出对发热砖模块间接控制,同时实现数字滤波、触发脉冲等功能。

关键词：可编程控制器温度检测控制 PID

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SU-8胶光刻工艺参数优化研究

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微细加工技术 2005年第3期 36-41,80页

作者：张晔陈迪张金娅倪智萍朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及... 详细信息

对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶高深宽比微结构

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毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

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中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：陈佳品李振波唐晓宁薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学上海200030

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成.微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性.机器人使用了4个直径3mrn电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源.基于LIGA技术制造的微齿... 详细信息

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成.微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性.机器人使用了4个直径3mrn电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源.基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩.由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件.通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°.微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0～0.3mm.微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm.

关键词：移动机器人微装配毫米级全方位

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微流控芯片金属模具制备工艺研究

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微细加工技术 2005年第4期 56-58,75页

作者：李建华陈迪刘景全朱军上海交通大学微纳技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题,提出了采用硅橡胶(PDMS)微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺。该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳模,以此为模版浇注PDMS阴模,然后在此PDMS阴... 详细信息

为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题,提出了采用硅橡胶(PDMS)微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺。该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳模,以此为模版浇注PDMS阴模,然后在此PDMS阴模上电镀金属模具。与采用SU-8光刻胶电镀金属模具相比,此方法不存在光刻胶与衬底结合力差以及去胶难等问题,所制备的金属模具侧壁垂直,表面光滑。

关键词： SU-8 UV—LIGA PDMS 金属模具微流控

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FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究

FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究

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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

作者：周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在... 详细信息

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在频率3MHz、磁场1600A/m时磁阻抗比达到最大值17.2%。磁阻抗比的最大值及负的磁阻抗比与夹心薄膜中磁各向异性轴的取向有关。另外,当磁场施加在薄膜的横向时,薄膜表现出负的磁阻抗比,在频率3MHz、磁场5600A/m时,磁阻抗比达-13.4%。

关键词： FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应磁各向异性

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