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语言

  • 96 篇 中文
检索条件"机构=上海复旦大学微电子学系专用集成电路与系统国家重点实验室"
96 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于二维矿物材料的RRAM器件实现非马尔可夫链功能
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科学通报 2022年 第1期67卷 6-7页
作者: 周鹏 复旦大学微电子学院 专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433
在大数据时代,各类数据的分析与预测日益重要.结合数据历史状态以实现预测,即数据的非马尔可夫过程(the non-Markov chain),更能凸显出大数据分析的优越性.从算法上说,非马尔可夫链的下一状态不仅与当前状态相关,还与上一状态转换到当... 详细信息
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氮化镓电致发光谱及原位温度近场同测研究
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中国激光 2024年 第17期51卷 213-219页
作者: 康晓雪 陈娜 李韶颖 刘真民 刘书朋 商娅娜 黄伟 卢红亮 王廷云 上海大学特种光纤与光接入网重点实验室 上海200444 上海大学特种光纤与先进通信国际合作联合实验室 上海200444 复旦大学微电子学院专用集成电路和系统国家重点实验室 上海200433
温度及电致发光谱检测对于氮化镓(GaN)器件的可靠性表征至关重要。利用音叉原子力反馈和量子点修饰的光纤探针,对GaN材料微纳米区域的电致发光谱和原位温度进行近场同测研究。在音叉原子力反馈控制下,量子点光纤探针趋近GaN样品表面。... 详细信息
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二维磁性材料与自旋系统研究进展
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真空科学与技术学报 2021年 第9期41卷 850-864页
作者: 周秀诚 周鹏 复旦大学微电子学院专用集成电路和系统国家重点实验室 上海200433
自旋系统是一类基于电子自旋工作的器件,具有高速、低功耗等优点,其中磁存储器被认为是下一代存储器的领跑者之一。二维材料有着天然的界面性能优势,接近微缩极限的尺寸特点,以及二维结构带来的物理特性,在自旋系统中有望得到广泛运用... 详细信息
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光刻机运动台控制方法研究进展
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激光与光电子学进展 2022年 第9期59卷 35-47页
作者: 姜龙滨 丁润泽 丁晨阳 杨晓峰 徐云浪 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心 上海200433 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433
光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备,而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标,高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍,首... 详细信息
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系统工程方法及其在先进半导体装备领域的应用
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激光与光电子学进展 2022年 第9期59卷 427-437页
作者: 殳峰 许智磊 何乐 杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院 上海200433 上海交通大学清源研究院 上海200240 上海微电子装备(集团)股份有限公司 上海201203 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433
系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发,发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显... 详细信息
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钛表面氧化锌与纤连蛋白复合修饰应用于抗种植体周炎的研究
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无机材料学报 2021年 第12期36卷 1316-1322,I0003-I0006页
作者: 张大卫 朱立远 卢红亮 王佐林 同济大学口腔医学院同济大学附属口腔医院 上海牙组织修复与再生工程技术研究中心上海200072 复旦大学微电子学院 上海智能电子与系统研究院专用集成电路和系统国家重点实验室上海200433
种植体周炎会导致种植体周牙龈附着丧失、骨组织吸收,甚至种植体松动、脱落。本研究采用原子层沉积技术联合硅烷化修饰在钛表面制备氧化锌纳米薄膜和纤连蛋白复合涂层。选取种植体周炎相关致病菌伴放线聚集杆菌和牙龈卟啉单胞菌用作该... 详细信息
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不同晶向BiFeO3薄膜的表征及导电性研究
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功能材料 2020年 第10期51卷 10001-10004,10027页
作者: 刘少清 复旦大学微电子学院 专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433
采用脉冲激光沉积技术,在(110)和(100)两种晶向的钛酸锶(SrTiO3)衬底上,先后异质外延生长钌酸锶(SrRuO3)氧化物底电极和铁酸铋(BiFeO3),形成BiFeO3/SrRuO3/SrTiO3结构的铁电薄膜。用原子力显微镜、压电力显微镜和XRD对BiFeO3薄膜进行微... 详细信息
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模拟集成电路的仿真与优化方法概述
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微纳电子与智能制造 2021年 第2期3卷 80-85页
作者: 杨帆 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 上海201203 复旦大学微电子学院 上海201203
与数字集成电路不同,模拟集成电路的设计主要依靠电路仿真和人工经验来完成设计。模拟集成电路的仿真对于传统设计方法至关重要。随着机器学习和人工智能技术的发展,基于机器学习和人工智能的智能优化和自动化版图设计也逐渐发展起来。... 详细信息
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原子层淀积Si掺杂ZnO薄膜的光电性能研究
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淮北师范大学学报(自然科学版) 2022年 第4期43卷 60-64页
作者: 张远 张永兴 张金锋 牟福生 淮北师范大学物理与电子信息学院 安徽淮北235000 复旦大学微电子学院 专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433
文章对原子层淀积(ALD)Si掺杂ZnO(SZO)薄膜的结构、电学和光学性能进行研究.通过生长ZnO和SiO2叠层的方法得到不同硅(Si)掺杂浓度的SZO薄膜,XRD测量结果表明,SZO薄膜为多晶结构,AFM测量结果表明,掺杂后样品的表面粗糙度变小.随着Si掺杂... 详细信息
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TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能
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材料研究学报 2019年 第1期33卷 9-14页
作者: 王永平 丁子君 朱宝 刘文军 丁士进 专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学微电子学院 上海200433
使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜的性能与工艺条件之间的关系。结果表明,TaN薄膜主要由Ta、N和少量的C、O组... 详细信息
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