检索结果-内蒙古大学图书馆

与时俱进跨越发展——上海微系统与信息技术研究所不断凝练新目标努力做出新贡献

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中国科学院院刊 2003年第3期18卷 225-227页

作者：封松林上海微系统与信息技术研究所上海200050

2001年8月,上海微系统与信息技术研究所(简称上海微系统所)正式更名,拉开了新时期跨越发展新的一幕.

关键词：上海微系统与信息技术研究所与时俱进跨越式发展发展目标发展战略科技创新

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所能源科学与技术实验室

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电源技术 2003年第2期27卷 99-99页

作者：夏保佳中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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用于射频传输线制备的YBCO薄膜工艺开发与特性研究

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物理学报 2025年第5期74卷 186-194页

作者：田清文原蒲升余慧勤汪书娜刘晓宇李凌云尤立星上海大学微电子学院上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

本文介绍了一种由超导带材机械冷剥离薄膜制备共面波导柔性传输线的工艺方法.剥离加工后的YBCO薄膜超导转变温度宽度为0.79 K,相较于原带材的转变宽度升高了0.3 K,在77 K,0 T下临界电流密度为7.7×10^(5)A/cm^(2),具有带材75%以上... 详细信息

本文介绍了一种由超导带材机械冷剥离薄膜制备共面波导柔性传输线的工艺方法.剥离加工后的YBCO薄膜超导转变温度宽度为0.79 K,相较于原带材的转变宽度升高了0.3 K,在77 K,0 T下临界电流密度为7.7×10^(5)A/cm^(2),具有带材75%以上的临界电流密度.将剥离的YBCO薄膜制成长12 cm、宽1 cm PI-YBCO-PI三层结构的传输线,测得40-4.2 K的漏热值为0.238 mW.在1 cm宽的YBCO薄膜上制备5条信号通道,仿真得相邻信号通道间的串扰小于-40 dB,每条通道在9 GHz处的插损小于-2 dB,每条信号通道的漏热值为47.6μW.

关键词： YBCO 薄膜柔性传输线跨温区互连

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用于气相色谱分离的金属有机框架固定相的研究进展

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分析化学 2025年第1期53卷 1-13页

作者：金言李文博祝雨晨赵斌李磊郑丹冯飞上海应用技术大学化学与环境工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

金属有机框架（MOFs）材料是金属离子或金属簇和有机配体通过配位作用构筑而成的多孔材料，具有比表面积大、热稳定性好和孔径可调等优点，在气相色谱分离领域具有广阔的应用前景。近年来，用于气相色谱固定相的MOFs材料主要包括ZIF、MI... 详细信息

金属有机框架（MOFs）材料是金属离子或金属簇和有机配体通过配位作用构筑而成的多孔材料，具有比表面积大、热稳定性好和孔径可调等优点，在气相色谱分离领域具有广阔的应用前景。近年来，用于气相色谱固定相的MOFs材料主要包括ZIF、MIL、UiO-66、HKUST-1和IRMOFs等。基于分子筛效应、范德华力、氢键和π-π相互作用等不同分离机制，可对MOFs固定相材料的孔径、孔道微环境、框架结构、不饱和金属位点和特殊官能团进行有针对性的设计与调控。以MOFs材料为固定相的气相色谱柱对正构烷烃及其异构体、芳香族化合物及其异构体、醇/酮/醛类及其异构体与手性化合物表现出独特的分离性能。将有机聚合物和新型纳米材料与MOFs材料进行复合，可提高MOFs固定相材料的分离性能和稳定性。因此，MOFs材料有望成为一种可应用于复杂环境气体分离的固定相材料。本文主要对近年来不同种类MOFs气相色谱固定相材料的研究进展进行了综述，讨论了其作为气相色谱固定相对混合气体的分离效果及其分离机理，并展望了其未来的发展方向。

关键词：金属有机框架气相色谱固定相色谱分离评述

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基于同步辐射的SGT MOSFET失效无损检测技术

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半导体技术 2025年第2期50卷 181-186页

作者：万荣桂郑理王丁周学通沈玲燕程新红上海理工大学材料与化学学院上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200042

屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损... 详细信息

屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损坏器件的前提下,将烧毁点定位在元胞区域的漂移区。采用开盖检测方式验证了烧毁点位置的准确性,并且通过扫描电子显微镜(SEM)表征烧毁点的微观形貌。最后,通过仿真软件模拟芯片表面的三维图形,并利用TCAD仿真揭示了UIS的失效机理,即电流集中所产生的高温致使漂移区的硅融化。失效机理与实验结果相吻合。

关键词：屏蔽栅沟槽型功率MOSFET 雪崩失效同步辐射无损检测截面拓扑

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R448A和R404A在高低温试验箱中的制冷特性研究

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制冷学报 2025年第1期46卷 116-123页

作者：刘知昊王子龙张华郜文静田子傲胡常青杨斌上海理工大学能源与动力工程学院上海200093 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 上海铂世光半导体科技有限公司上海201700

目前高低温试验箱制冷系统存在能耗高和制冷效率低的问题。为了提高系统运行效率并符合低碳环保的发展方向,搭建了高低温试验箱补气增焓系统,并选取新型制冷剂R448A和R404A进行实验研究,研究了不同制冷剂充注量和压缩机频率对制冷系统... 详细信息

目前高低温试验箱制冷系统存在能耗高和制冷效率低的问题。为了提高系统运行效率并符合低碳环保的发展方向,搭建了高低温试验箱补气增焓系统,并选取新型制冷剂R448A和R404A进行实验研究,研究了不同制冷剂充注量和压缩机频率对制冷系统性能的影响。实验结果表明:随着充注量的增加,R404A和R448A系统的制冷量和COP均先升高后减小,R448A系统的最大制冷量和COP分别比R404A系统高11.3%和10.4%;R448A系统的功耗均小于R404A系统,在充注量为2.0 kg时,R448A系统的功耗比R404A系统低7.5%。随着压缩机频率的增加,压缩机功耗和制冷量均增大,R448A制冷量的增幅比R404A高7.7%,而压缩机功耗的增幅比R404A低1.9%。

关键词：高低温试验箱补气增焓 R448A 压缩机频率制冷剂充注量

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AI们都在做什么

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科学画报 2025年第3期 38-39页

作者：鲍海飞中国科学院上海微系统与信息技术研究所

在科技飞速发展的时代,人工智能(AI)已悄然渗透到各个领域,引发了一系列令人惊叹的变革.在无影灯下,AI助力医生突破手术困境,精准判断病灶;在浩瀚星空下,AI与天文学家携手,试图破解外星生命之谜;在古老遗址,AI帮助考古学家解读神秘文字...

在科技飞速发展的时代,人工智能(AI)已悄然渗透到各个领域,引发了一系列令人惊叹的变革.在无影灯下,AI助力医生突破手术困境,精准判断病灶;在浩瀚星空下,AI与天文学家携手,试图破解外星生命之谜;在古老遗址,AI帮助考古学家解读神秘文字,探寻历史的隐秘角落.让我们跟随AI小艾、小矮和小爱,一同走进这场AI主导的科技与人文的奇妙之旅,见证AI如何重塑传统行业,开启全新的认知大门.

关键词：

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“伏羲农场”:智慧农业技术集成创新的实践探索与思考

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中国科学院院刊 2025年第2期40卷 301-309页

作者：张玉成张晓博高树琴郑聪聪张景尧文亚李禄军王卓李铁赵洪龙中国科学院计算技术研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 中国科学院可持续发展研究局北京100864 中国科学院东北地理与农业生态研究所长春130102 中国科学院沈阳自动化研究所沈阳110016 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

将人工智能技术深度融入农业生产实践,是提高农业生产效率、保障国家粮食安全的有效途径,也是给农业生产插上科技翅膀的重要举措。为了实现人工智能技术和产品落地应用,并形成智慧农业生产体系,最有效的方式是在不同类型农业生态区建立... 详细信息

将人工智能技术深度融入农业生产实践,是提高农业生产效率、保障国家粮食安全的有效途径,也是给农业生产插上科技翅膀的重要举措。为了实现人工智能技术和产品落地应用,并形成智慧农业生产体系,最有效的方式是在不同类型农业生态区建立具有一定种植规模的智慧农场示范样板,形成成套的技术体系和可复制的推广范式,这也是检验并优化人工智能赋能农业生产效果的最高效的方式。文章分析了发达国家典型智慧农场的建设经验,以及我国智慧农场发展的现状,着重探讨了我国“伏羲农场”智慧农业生产体系构建的内容、实施路径和应用实践;最后,对进一步高质量构建以“伏羲农场”为代表的我国特色智慧农场生产体系提出建议。

关键词：人工智能智慧农场大模型大数据新农人

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高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件及工艺研究

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传感器与微系统 2025年第1期44卷 76-79页

作者：赵佳姜文铮周琮泉母志强中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机... 详细信息

本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机电耦合系数(k_(eff)^(2))。研究了电感耦合等离子体刻蚀(ICP)刻蚀工艺对Mo电极斜坡角度的影响,通过调控工艺参数可以实现侧壁倾角10°~90°大范围调节。研发了Cl_(2)/BCl_(3)/Ar混合气体作为反应气体的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜ICP刻蚀工艺,刻蚀速率高达100 nm/min并获得垂直的侧壁形貌。在此基础上成功制备出Al_(0.7) Sc_(0.3) N压电薄膜HBAR谐振器,k_(eff)^(2)达到0.24%,与纯氮化铝(AlN)相比具有显著的提升效果。

关键词：掺钪氮化铝高钪掺杂压电薄膜电感耦合等离子体刻蚀高次谐波体声波谐振器

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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究

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红外与激光工程 2025年第1期54卷 120-130页

作者：张鹏程汪洋李安娜黄昊张程张家昌张永贵王栎皓刘艺晨武震宇中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 上海麦锴科技有限公司上海201899 上海微技术工业研究院上海201800

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... 详细信息

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。

关键词：压电微镜微机电系统技术激光跟踪瞄准扩角镜头伽利略光路

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