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  • 386 篇 中文
检索条件"机构=上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室"
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糖尿病呼出气体检测与分析研究进展
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化学进展 2024年 第4期36卷 601-611页
作者: 吴昊坪 李磊 曾睿 祝雨晨 赵斌 冯飞 成都中医药大学智能医学学院 成都610036 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
近年来,呼出气检测在糖尿病领域的研究引起了广泛关注。糖尿病作为一种代谢性疾病,利用现代检测分析方法,如气相色谱、质谱、光谱和传感器检测等,实现了对糖尿病患者呼出气体的检测和监测。本综述概述了糖尿病患者呼出气体中一些挥发性... 详细信息
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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究
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红外与激光工程 2025年 第1期54卷 120-130页
作者: 张鹏程 汪洋 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海麦锴科技有限公司 上海201899 上海微技术工业研究院 上海201800
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... 详细信息
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芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析
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中国惯性技术学报 2023年 第9期31卷 932-939,954页
作者: 魏雯强 鲁征浩 陈方 申冲 石云波 曹慧亮 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051 苏州大学微纳传感技术研究中心 苏州215006 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀... 详细信息
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以金属有机框架材料HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱
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分析化学 2023年 第3期51卷 429-435页
作者: 张娣 张海燕 陈泊鑫 祝雨晨 赵斌 李磊 郑丹 冯飞 上海应用技术大学化学与环境工程学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
气相色谱柱微型化有利于气相色谱系统的小型化,然而对微型气相色谱柱而言,轻烃的分离是一个挑战。本研究基于微机电系统(MEMS)技术制备了微型气相色谱柱,在温下合成了一种金属有机框架材料HKUST-1,采用动态涂敷法将HKUST-1涂敷... 详细信息
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用于细胞球状体培养的准球形底微孔阵列的快速加工方法
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分析化学 2023年 第8期51卷 1292-1301页
作者: 张郭远 吴蕾 彭熙尧 葛玉卿 刘婷 徐铁刚 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学材料科学与光电技术学院
与传统的二维单层细胞相比,细胞球状体的功能更类似于体内细胞,因此在药物筛选和生理病理学研究中受到广泛关注。在低吸附准球形微孔阵列上培养细胞球状体可以实现尺寸可控和形态一致,并具有易于实现高通量的优点。然而,目前制造准... 详细信息
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利用吸合电极实现亚微米电极间隙的可制造性设计
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传感器与微系统 2024年 第1期43卷 103-106,110页
作者: 郑超越 孙珂 钟朋 王放 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
提出一种利用吸合电极结构的可制造性设计手段,实现亚微米电极间隙的方法。利用静电力拉动可动电极位移实现超出光刻和刻蚀能力的超窄间隙,使得敏感电极间隙由1.3μm减小至300nm,通过该方法获得的亚微米电极间隙对工艺离散性不敏感,电... 详细信息
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卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展
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红外与激光工程 2023年 第9期52卷 222-234页
作者: 朱伟鸿 汪洋 王栎皓 刘艺晨 武震宇 上海大学微电子学院 上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 上海微技术工业研究院 上海201800 中国科学院大学 北京100049
快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反... 详细信息
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超声波强化换热研究进展
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工程科学学报 2022年 第12期44卷 2164-2176页
作者: 陈真真 陈洪强 黄磊 郝南京 西安交通大学化学工程与技术学院 西安710049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
随着科学技术的快速发展,微电子器件在不同领域得到越来越广泛的应用.对于高集成化和高频化的微电子器件,传统的冷却技术已很难满足高效散热的需求,因此对器件的可靠性与安全性带来严重的影响.近年来,研究者提出了多种无源换热过程强化... 详细信息
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基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
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微纳电子技术 2023年 第8期60卷 1288-1294页
作者: 殷智伟 张学林 姚镭 于海涛 李昕欣 上海大学微电子学院 上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技... 详细信息
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基于二硫化钼的电容式土壤湿度传感
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智慧农业(中英文) 2024年 第1期6卷 28-35页
作者: 李露 葛玉卿 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学材料与光电研究中心 北京100049 中国科学院大学 北京100039
[目的/意义]土壤中含水率直接影响农作物生长状态和产量。开发出一种可靠、高效的土壤湿度传感器对实施农田科学灌溉具有重要指导意义。[方法]本研究提出一种基于微加工工艺制备的二硫化钼电容式土壤湿度传感器,通过叉指电极上同一平面... 详细信息
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