检索结果-内蒙古大学图书馆

红外与激光工程 2025年第1期54卷 120-130页

作者：张鹏程汪洋李安娜黄昊张程张家昌张永贵王栎皓刘艺晨武震宇中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 上海麦锴科技有限公司上海201899 上海微技术工业研究院上海201800

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... 详细信息

MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。

关键词：压电微镜微机电系统技术激光跟踪瞄准扩角镜头伽利略光路

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用于苯系物快速分离的微型气相色谱柱

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半导体技术 2025年第3期50卷 248-253页

作者：李文博祝雨晨李之睿马少杰曾睿赵斌冯飞中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 成都中医药大学智能医学学院成都610075

苯、甲苯、乙苯和二甲苯等苯系物(BTEX)因化学性质相似、分子结构相近,通常难以快速分离。基于微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种以SE-54为固定相的含有高密度椭圆柱阵列的微型气相色谱柱(μGCC),该μGCC表面积大、深宽比高。研究结... 详细信息

苯、甲苯、乙苯和二甲苯等苯系物(BTEX)因化学性质相似、分子结构相近,通常难以快速分离。基于微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种以SE-54为固定相的含有高密度椭圆柱阵列的微型气相色谱柱(μGCC),该μGCC表面积大、深宽比高。研究结果表明,所研制的μGCC最快能在55 s内分离苯、甲苯、对二甲苯和邻二甲苯这四种苯系物,且四种苯系物的分离度均大于1.5,实现了对苯系物的快速基线分离,且柱前压仅为8.71 psi(1 psi≈6.895 kPa),有利于将其应用于便携式气相色谱系统。该μGCC有望在苯系物现场实时检测领域获得广泛应用。

关键词：微型气相色谱柱(μGCC) 高密度椭圆柱阵列快速分离苯系物(BTEX) 微电子机械系统(MEMS)

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电子鼻在疾病呼气诊断中的最新研究进展

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传感器与微系统 2025年第4期44卷 1-7页

作者：曾睿李明强赵斌李磊冯飞成都中医药大学智能医学学院四川成都610036 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

电子鼻(eNose)可用于呼出气体中的挥发性有机化合物(VOCs)检测,由于其具有非侵入性、快速检测等优势,近年来在疾病诊断中展现出巨大潜力。本文综述了近5年电子鼻在气体传感器阵列、信号采集与处理以及模式识别等关键技术的研究现状,系... 详细信息

电子鼻(eNose)可用于呼出气体中的挥发性有机化合物(VOCs)检测,由于其具有非侵入性、快速检测等优势,近年来在疾病诊断中展现出巨大潜力。本文综述了近5年电子鼻在气体传感器阵列、信号采集与处理以及模式识别等关键技术的研究现状,系统回顾了其在呼吸系统疾病、消化系统疾病、糖尿病以及多种癌症等疾病中的应用。随着技术的不断进步,电子鼻已开始在疾病早期筛查和诊断中发挥越来越重要的作用。尽管当前仍面临传感器长期稳定性和大规模临床验证等挑战,但随着微纳传感技术和人工智能(AI)算法的迅速发展,电子鼻有望在疾病呼气诊断中得到更广泛的应用。

关键词：电子鼻呼出气体检测疾病诊断挥发性有机化合物无创检测

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SOI基光学电流传感器的设计与仿真

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光电子．激光 2006年第12期17卷 1447-1452页

作者：赵本刚刘玉菲穆参军徐静吴亚明中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论... 详细信息

将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论公式得到的结果基本一致；传感器的量程为100～3600A，对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB／A，温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0．2％。

关键词：微电子机械系统(MEMS) 光学电流传感器(OCS) 绝缘体上的Si(SOI) 扭转微镜温度补偿

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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作

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红外与毫米波学报 2004年第2期23卷 125-130页

作者：冯飞焦继伟熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 详细信息

提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热机械灵敏度、机械光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移。

关键词：徽电子机械技术法布里-泊罗微腔红外探测器列阵噪声等效温差光读出热成像机械-光灵敏度热-机械灵敏度

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基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究

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中国机械工程 2005年第z1期16卷 184-188页

作者：肖素艳车录锋李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅... 详细信息

基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃.

关键词：柔性 MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻温度传感器

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自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文)

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无机材料学报 2011年第10期26卷 1111-1115页

作者：杨天天许鹏程左国民李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化还原自发生长的方法,择优取向生长氧化亚铜(Cu2O)微晶.通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu2O晶体进行了形貌和结构表征.结果表明:合成的样品为立方结构的Cu2O晶体,且... 详细信息

使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化还原自发生长的方法,择优取向生长氧化亚铜(Cu2O)微晶.通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu2O晶体进行了形貌和结构表征.结果表明:合成的样品为立方结构的Cu2O晶体,且形貌、取向和颗粒尺寸得到了有效控制,此结果可归结为SAMs对电化学氧化还原过程的影响和结晶过程中的模板效应.利用该方法,将Cu2O晶体生长于静态式微悬臂梁的表面作为敏感层,制得了一种新型的化学传感器.基于Cu2O晶体表面的Cu(I)与DMMP(甲基膦酸二甲酯,沙林模拟剂)分子中的膦酰基团之间存在的配位作用,该传感器可对几十ppb的DMMP重复响应.

关键词：氧化亚铜择优取向电化学氧化还原自组装单分子层气体传感器

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一种基于概率判决的强纠错卫星数据存储编码

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核电子学与探测技术 2007年第6期27卷 1210-1215页

作者：陈光重徐会勤李东中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

单粒子翻转可能造成星载电子系统的损伤,甚至使之失效。本文针对解决皮卫星数据存储的可靠性问题,提出一种新的纠错编码:交叉正反码,并将之与常用的三倍冗余判决(TMR)技术进行了比较研究。

关键词：单粒子翻转纠错编码 EDAC TMR 交叉正反码

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级联长周期光栅光谱特性

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光学学报 2005年第8期25卷 1019-1024页

作者：崔丽萍吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

利用传输矩阵法分析了级联长周期光栅的光谱特性,讨论了级联处光纤的长度、位置以及包层模损耗系数对级联长周期光栅光谱的影响,并对级联长周期光栅和相移长周期光栅的光谱进行了比较。结果表明两者光谱在级联光纤长度较小或级联位置靠... 详细信息

利用传输矩阵法分析了级联长周期光栅的光谱特性,讨论了级联处光纤的长度、位置以及包层模损耗系数对级联长周期光栅光谱的影响,并对级联长周期光栅和相移长周期光栅的光谱进行了比较。结果表明两者光谱在级联光纤长度较小或级联位置靠近光栅两端时具有较强的一致性,而在级联处光纤较长并且级联位置在中间时,两者表现出截然不同的光谱特性;在不考虑其他损耗的情况下,如果只改变级联处光纤长度,级联长周期光栅总量守恒;此外,当级联长周期光栅在级联处光纤包层模损耗系数较大时,级联长周期光栅的光谱等效于两个长周期光栅光谱的非相干叠加,从而为长周期光栅增益均衡器的优化设计和制作提供了一个简便有效的方法。

关键词：导波光学级联长周期光栅非相干叠加传输矩阵损耗系数

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基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作

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光学学报 2004年第10期24卷 1375-1380页

作者：冯飞焦继伟熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完... 详细信息

提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完成了可动微镜结构、热机械、可见光读出部分设计。理论分析表明 ,对Al/SiO2 双材料体系而言 ,SiO2 厚度应大于 0 .3μm ,其最佳厚度比为 0 .5 98,相应的最大热机械灵敏度可达 10 -8m/K。采用体硅微机电系统技术 ,实验制作出了 5 0× 5 0焦平面阵列。

关键词：光读出热成像法布里-珀罗微腔微机电系统热-机械灵敏度

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